ข้อกำหนดพื้นฐานของการว่าจ้างห้องสะอาด

การทดลองเดินระบบปรับอากาศและระบายอากาศ (HVAC) สำหรับห้องคลีนรูมประกอบด้วยการทดสอบการทำงานแบบยูนิตเดียว การทดสอบการเชื่อมต่อระบบ และการทดลองเดินระบบ ซึ่งการทดลองเดินระบบควรเป็นไปตามข้อกำหนดของการออกแบบทางวิศวกรรมและสัญญาระหว่างซัพพลายเออร์และผู้ซื้อ ด้วยเหตุนี้ การทดลองเดินระบบควรปฏิบัติตามมาตรฐานที่เกี่ยวข้องอย่างเคร่งครัด เช่น "มาตรฐานการก่อสร้างและการยอมรับคุณภาพห้องคลีนรูม" (GB 51110) "มาตรฐานการก่อสร้างและการยอมรับคุณภาพโครงการระบายอากาศและปรับอากาศ (G1B50213)" และข้อกำหนดที่ตกลงกันไว้ในสัญญา ในมาตรฐาน GB 51110 การทดลองเดินระบบปรับอากาศและระบายอากาศ (HVAC) สำหรับห้องคลีนรูมมีข้อกำหนดหลักดังต่อไปนี้: "ประสิทธิภาพและความแม่นยำของเครื่องมือและมาตรวัดที่ใช้ในการทดลองเดินระบบควรเป็นไปตามข้อกำหนดการทดสอบ และควรอยู่ในระยะเวลาที่ใบรับรองการสอบเทียบมีผลบังคับใช้" การทดลองใช้งานระบบปรับอากาศและระบายอากาศในห้องคลีนรูมแบบเชื่อมโยง ก่อนการทดสอบระบบ เงื่อนไขที่ควรปฏิบัติตามมีดังนี้: อุปกรณ์ต่างๆ ในระบบต้องผ่านการทดสอบและผ่านการตรวจสอบรับรองแล้ว; ระบบแหล่งความเย็น (ความร้อน) ที่เกี่ยวข้องที่จำเป็นสำหรับการทำความเย็นและทำความร้อนต้องทำงานและทดสอบระบบและผ่านการตรวจสอบรับรองแล้ว; การตกแต่งห้องคลีนรูม การเดินท่อและสายไฟในห้องคลีนรูม (พื้นที่) เสร็จสมบูรณ์และผ่านการตรวจสอบรับรองแล้ว; ทำความสะอาดและเช็ดทำความสะอาดห้องคลีนรูม (พื้นที่) เรียบร้อย รวมถึงการเข้า-ออกของบุคลากรและวัสดุอุปกรณ์ตามขั้นตอนมาตรฐานความสะอาด; ทำความสะอาดระบบปรับอากาศและระบายอากาศในห้องคลีนรูมอย่างละเอียด และทดสอบการทำงานนานกว่า 24 ชั่วโมงเพื่อให้ระบบทำงานได้อย่างเสถียร; ติดตั้งแผ่นกรอง HEPA และผ่านการทดสอบการรั่วไหลแล้ว

1. ระยะเวลาการทดสอบระบบเชื่อมต่อที่เสถียรของระบบปรับอากาศและระบายอากาศในห้องคลีนรูม (HVAC) ที่มีแหล่งกำเนิดความเย็น (ความร้อน) ต้องไม่น้อยกว่า 8 ชั่วโมง และต้องดำเนินการภายใต้สภาวะการทำงาน "ว่างเปล่า" GB 50243 กำหนดข้อกำหนดต่อไปนี้สำหรับการทดสอบการทำงานของอุปกรณ์แต่ละเครื่อง ได้แก่ เครื่องช่วยหายใจและพัดลมในหน่วยจัดการอากาศ ทิศทางการหมุนของใบพัดต้องถูกต้อง การทำงานต้องเสถียร ไม่มีการสั่นสะเทือนและเสียงผิดปกติ และกำลังการทำงานของมอเตอร์ต้องเป็นไปตามข้อกำหนดของเอกสารทางเทคนิคของอุปกรณ์ หลังจากการทำงานต่อเนื่อง 2 ชั่วโมงที่ความเร็วที่กำหนด อุณหภูมิสูงสุดของเปลือกตลับลูกปืนเลื่อนต้องไม่เกิน 70° และอุณหภูมิสูงสุดของตลับลูกปืนกลิ้งต้องไม่เกิน 80° ทิศทางการหมุนของใบพัดปั๊มต้องถูกต้อง ไม่มีการสั่นสะเทือนและเสียงผิดปกติ ไม่มีการหลวมของชิ้นส่วนเชื่อมต่อที่ยึด และกำลังการทำงานของมอเตอร์ต้องเป็นไปตามข้อกำหนดของเอกสารทางเทคนิคของอุปกรณ์ หลังจากปั๊มน้ำทำงานอย่างต่อเนื่องเป็นเวลา 21 วัน อุณหภูมิสูงสุดของเปลือกลูกปืนเลื่อนต้องไม่เกิน 70° และลูกปืนกลิ้งต้องไม่เกิน 75° การทดลองการทำงานของพัดลมหอหล่อเย็นและระบบหมุนเวียนน้ำหล่อเย็นต้องไม่น้อยกว่า 2 ชั่วโมง และการทำงานต้องเป็นไปตามปกติ ตัวเรือนหอหล่อเย็นต้องมั่นคงและไม่มีการสั่นสะเทือนที่ผิดปกติ การทดลองการทำงานของพัดลมหอหล่อเย็นต้องเป็นไปตามมาตรฐานที่เกี่ยวข้อง

2. นอกเหนือจากข้อกำหนดที่เกี่ยวข้องในเอกสารทางเทคนิคของอุปกรณ์และมาตรฐานแห่งชาติปัจจุบัน "ข้อกำหนดเกี่ยวกับการติดตั้งอุปกรณ์ทำความเย็น อุปกรณ์แยกอากาศ วิศวกรรมการก่อสร้าง และการยอมรับ" (GB50274) แล้ว การใช้งานเครื่องทำความเย็นแบบทดลองควรเป็นไปตามข้อกำหนดต่อไปนี้: เครื่องควรทำงานได้อย่างราบรื่น ไม่ควรมีการสั่นสะเทือนและเสียงที่ผิดปกติ: ไม่ควรมีรอยหลวม การรั่วไหลของอากาศ การรั่วไหลของน้ำมัน ฯลฯ ในส่วนเชื่อมต่อและซีล ความดันและอุณหภูมิของช่องดูดและช่องระบายควรอยู่ในช่วงการทำงานปกติ การทำงานของอุปกรณ์ควบคุมพลังงาน รีเลย์ป้องกันต่างๆ และอุปกรณ์นิรภัยควรถูกต้อง แม่นยำ และเชื่อถือได้ การทำงานปกติไม่ควรน้อยกว่า 8 ชั่วโมง

3. หลังจากการทดลองใช้งานระบบปรับอากาศและระบายอากาศในห้องคลีนรูมร่วมกัน พารามิเตอร์ประสิทธิภาพและพารามิเตอร์ทางเทคนิคต่างๆ ควรเป็นไปตามมาตรฐาน ข้อกำหนด และข้อกำหนดที่เกี่ยวข้องของสัญญา มีข้อกำหนดดังต่อไปนี้ใน GB 51110: ปริมาณอากาศควรอยู่ภายใน 5% ของปริมาณอากาศออกแบบ และค่าเบี่ยงเบนมาตรฐานสัมพัทธ์ไม่ควรเกิน 15% ไม่เกิน 15% ผลการทดสอบปริมาณอากาศที่จ่ายของห้องคลีนรูมแบบไหลแบบไม่ทิศทางเดียวควรอยู่ภายใน 5% ของปริมาณอากาศออกแบบ และค่าเบี่ยงเบนมาตรฐานสัมพัทธ์ (ความไม่สม่ำเสมอ) ของปริมาณอากาศในแต่ละท่อไม่ควรเกิน 15% ผลการทดสอบปริมาณอากาศบริสุทธิ์ต้องไม่น้อยกว่าค่าที่ออกแบบ และต้องไม่เกิน 10% ของค่าที่ออกแบบ

4. ผลการวัดจริงของอุณหภูมิและความชื้นสัมพัทธ์ภายในห้องสะอาด (พื้นที่) ควรเป็นไปตามข้อกำหนดการออกแบบ ค่าเฉลี่ยของผลการวัดจริงตามจุดตรวจสอบที่กำหนด และค่าเบี่ยงเบนควรมากกว่า 90% ของจุดวัดภายในช่วงความแม่นยำที่กำหนดตามการออกแบบ ผลการทดสอบความแตกต่างของแรงดันสถิตระหว่างห้องสะอาด (พื้นที่) กับห้องข้างเคียงและภายนอกอาคารควรเป็นไปตามข้อกำหนดการออกแบบ และโดยทั่วไปควรมากกว่าหรือเท่ากับ 5Pa

5. การทดสอบรูปแบบการไหลของอากาศในห้องคลีนรูมควรตรวจสอบให้แน่ใจว่ารูปแบบการไหลของอากาศประเภทต่างๆ ได้แก่ การไหลแบบทิศทางเดียว การไหลแบบไม่ทิศทางเดียว การไหลแบบโคลน และการไหลที่ไหลมาบรรจบกัน ควรเป็นไปตามข้อกำหนดการออกแบบและข้อกำหนดทางเทคนิคที่ตกลงกันไว้ในสัญญา สำหรับห้องคลีนรูมที่มีการไหลแบบทิศทางเดียวและการไหลแบบผสม ควรทดสอบรูปแบบการไหลของอากาศโดยใช้วิธีการติดตามหรือวิธีการฉีดสารติดตาม และผลลัพธ์ควรเป็นไปตามข้อกำหนดการออกแบบ ใน GB 50243 มีข้อกำหนดสำหรับการทดสอบการเชื่อมต่อดังต่อไปนี้: ปริมาณอากาศแปรผัน เมื่อระบบปรับอากาศได้รับการติดตั้งร่วมกัน ชุดจัดการอากาศจะต้องทำการแปลงความถี่และควบคุมความเร็วของพัดลมให้อยู่ในช่วงพารามิเตอร์การออกแบบ ชุดจัดการอากาศจะต้องเป็นไปตามข้อกำหนดของปริมาณอากาศทั้งหมดของระบบภายใต้เงื่อนไขการออกแบบของความดันตกค้างภายนอกเครื่อง และค่าเบี่ยงเบนที่ยอมรับได้ของปริมาณอากาศบริสุทธิ์ควรอยู่ที่ 0 ถึง 10% ผลการแก้ไขข้อบกพร่องปริมาณอากาศสูงสุดของอุปกรณ์ปลายทางปริมาณอากาศแปรผันและค่าเบี่ยงเบนที่ยอมรับได้ของปริมาณอากาศที่ออกแบบควรอยู่ที่ ~15% เมื่อเปลี่ยนแปลงสภาวะการทำงานหรือพารามิเตอร์การตั้งค่าอุณหภูมิภายในของแต่ละพื้นที่ปรับอากาศ การทำงาน (การทำงาน) ของเครือข่ายลม (พัดลม) ของอุปกรณ์ปลายทางปริมาณลมแปรผันในพื้นที่นั้นควรถูกต้อง เมื่อเปลี่ยนแปลงพารามิเตอร์การตั้งค่าอุณหภูมิภายในหรือปิดอุปกรณ์ปลายทางเครื่องปรับอากาศบางเครื่อง ชุดจัดการอากาศควรเปลี่ยนแปลงปริมาณลมโดยอัตโนมัติและถูกต้อง พารามิเตอร์สถานะของระบบควรแสดงอย่างถูกต้อง ความเบี่ยงเบนระหว่างอัตราการไหลรวมของระบบน้ำเย็น (น้ำร้อน) และระบบน้ำหล่อเย็นของเครื่องปรับอากาศและอัตราการไหลที่ออกแบบไว้ไม่ควรเกิน 10%