ข้อมูลจำเพาะการออกแบบห้องคลีนรูม

การกำหนดระดับความสะอาดของอากาศในห้องคลีนรูมแต่ละห้องควรเป็นไปตามข้อกำหนดต่อไปนี้:

1. เมื่อมีกระบวนการหลายอย่างในห้องคลีนรูม ควรใช้ระดับความสะอาดของอากาศที่แตกต่างกันตามความต้องการที่แตกต่างกันของแต่ละกระบวนการ

1. โดยยึดหลักการตอบสนองความต้องการของกระบวนการผลิต การกระจายอากาศและระดับความสะอาดของห้องคลีนรูมควรใช้การผสมผสานระหว่างการฟอกอากาศในพื้นที่ทำงานและการฟอกอากาศทั้งห้อง

(1) ห้องคลีนรูมแบบไหลลามินาร์ ห้องคลีนรูมแบบไหลปั่นป่วน และห้องคลีนรูมที่มีกะการทำงานและเวลาใช้งานที่แตกต่างกัน ควรมีระบบปรับอากาศบริสุทธิ์แยกจากกัน

(2) อุณหภูมิและความชื้นสัมพัทธ์ที่คำนวณได้ในห้องคลีนรูมควรเป็นไปตามข้อกำหนดต่อไปนี้:

① ตอบสนองความต้องการกระบวนการผลิต

② เมื่อไม่มีข้อกำหนดด้านอุณหภูมิหรือความชื้นสำหรับกระบวนการผลิต อุณหภูมิห้องคลีนรูมจะอยู่ที่ 20-26℃ และความชื้นสัมพัทธ์อยู่ที่ 70%

1. ควรมีอากาศบริสุทธิ์เข้าไปในห้องสะอาดในปริมาณที่เหมาะสม และควรคำนึงถึงค่าสูงสุดของปริมาณอากาศต่อไปนี้

(1) 10% ถึง 30% ของปริมาณอากาศทั้งหมดในห้องคลีนรูมที่มีการไหลปั่นป่วน และ 2-4% ของปริมาณอากาศทั้งหมดในห้องคลีนรูมที่มีการไหลแบบลามินาร์

(2) ปริมาณอากาศบริสุทธิ์ที่จำเป็นในการชดเชยอากาศเสียภายในอาคารและรักษาค่าความดันบวกภายในอาคาร

(3) ให้มีปริมาณอากาศบริสุทธิ์ภายในอาคารต่อคนต่อชั่วโมงไม่น้อยกว่า 40 ลูกบาศก์เมตร

1. การควบคุมแรงดันบวกในห้องคลีนรูม

ห้องคลีนรูมต้องรักษาแรงดันบวกให้อยู่ในระดับที่กำหนด ความแตกต่างของแรงดันสถิตระหว่างห้องคลีนรูมที่มีระดับต่างกัน และระหว่างพื้นที่คลีนรูมและพื้นที่ไม่คลีนรูมไม่ควรน้อยกว่า 5 ปาสกาล และความแตกต่างของแรงดันสถิตระหว่างพื้นที่คลีนรูมและพื้นที่กลางแจ้งไม่ควรน้อยกว่า 10 ปาสกาล