ข้อกำหนดและข้อควรระวังในการออกแบบห้องสะอาด

1. นโยบายและแนวปฏิบัติที่เกี่ยวข้องสำหรับการออกแบบห้องคลีนรูม

การออกแบบห้องปลอดเชื้อต้องใช้นโยบายและแนวปฏิบัติระดับชาติที่เกี่ยวข้อง และต้องเป็นไปตามข้อกำหนด เช่น ความก้าวหน้าทางเทคโนโลยี ความสมเหตุสมผลทางเศรษฐกิจ ความปลอดภัยและการใช้งาน การประกันคุณภาพ การอนุรักษ์ และการคุ้มครองสิ่งแวดล้อม การออกแบบห้องสะอาดควรสร้างเงื่อนไขที่จำเป็นสำหรับการก่อสร้าง การติดตั้ง การทดสอบ การจัดการการบำรุงรักษา และการทำงานที่ปลอดภัย และควรปฏิบัติตามข้อกำหนดที่เกี่ยวข้องของมาตรฐานและข้อกำหนดเฉพาะของประเทศในปัจจุบัน

2. การออกแบบห้องสะอาดโดยรวม

(1) ตำแหน่งของห้องคลีนรูมควรพิจารณาตามความต้องการ ความประหยัด ฯลฯ ควรอยู่ในพื้นที่ที่มีความเข้มข้นของฝุ่นในบรรยากาศต่ำกว่าและมีสภาพแวดล้อมทางธรรมชาติที่ดีกว่า ควรอยู่ห่างจากทางรถไฟ ท่าเรือ สนามบิน เส้นทางคมนาคม และพื้นที่ที่มีมลพิษทางอากาศรุนแรง การสั่นสะเทือน หรือเสียงรบกวน เช่น โรงงานและโกดังที่ปล่อยฝุ่นและก๊าซอันตรายจำนวนมาก ควรตั้งอยู่ในพื้นที่ของโรงงาน ที่ที่สภาพแวดล้อมสะอาด และที่ที่การไหลเวียนของผู้คนและสินค้าไม่หรือแทบไม่ข้าม (อ้างอิงเฉพาะ: แผนการออกแบบห้องปลอดเชื้อ)

(2) เมื่อมีปล่องไฟทางด้านลมของห้องคลีนรูมที่มีความถี่ลมสูงสุด ระยะห่างแนวนอนระหว่างห้องคลีนรูมกับปล่องไฟไม่ควรน้อยกว่า 12 เท่าของความสูงของปล่องไฟ และระยะห่างระหว่างห้องคลีนรูมกับ ถนนสัญจรหลักไม่ควรน้อยกว่า 50 เมตร

(3). ควรดำเนินการกรีนนิ่งรอบๆ อาคารห้องคลีนรูม สามารถปลูกสนามหญ้าได้ ต้นไม้ที่ไม่ส่งผลเสียต่อความเข้มข้นของฝุ่นในบรรยากาศสามารถปลูกได้ และสามารถสร้างพื้นที่สีเขียวได้ อย่างไรก็ตาม จะต้องไม่ขัดขวางการดำเนินการดับเพลิง

3. ระดับเสียงในห้องสะอาดควรเป็นไปตามข้อกำหนดต่อไปนี้:

(1) ในระหว่างการทดสอบแบบไดนามิก ระดับเสียงในเวิร์คช็อปที่สะอาดไม่ควรเกิน 65 dB(A)

(2) ในระหว่างการทดสอบสภาวะอากาศ ระดับเสียงของห้องสะอาดที่มีการไหลเชี่ยวไม่ควรเกิน 58 dB(A) และระดับเสียงของห้องสะอาดที่มีการไหลแบบราบเรียบไม่ควรเกิน 60 dB(A)

(3.) รูปแบบแนวนอนและหน้าตัดของห้องคลีนรูมควรคำนึงถึงข้อกำหนดในการควบคุมเสียงรบกวน โครงสร้างตู้ควรมีประสิทธิภาพฉนวนกันเสียงที่ดีและปริมาณฉนวนกันเสียงของแต่ละส่วนควรใกล้เคียงกัน ควรใช้ผลิตภัณฑ์ที่มีเสียงรบกวนต่ำกับอุปกรณ์ต่างๆ ในห้องคลีนรูม สำหรับอุปกรณ์ที่มีสัญญาณรบกวนที่แผ่ออกมาเกินค่าที่อนุญาตของห้องคลีนรูม ควรติดตั้งอุปกรณ์ฉนวนกันเสียงพิเศษ (เช่น ห้องฉนวนกันเสียง ฝาครอบฉนวนกันเสียง ฯลฯ )

(4) เมื่อเสียงของระบบปรับอากาศบริสุทธิ์เกินค่าที่อนุญาต ควรใช้มาตรการควบคุม เช่น ฉนวนกันเสียง การกำจัดเสียงรบกวน และการแยกเสียงสั่นสะเทือน นอกจากไอเสียจากอุบัติเหตุแล้ว ระบบไอเสียในศูนย์บริการที่สะอาดควรได้รับการออกแบบเพื่อลดเสียงรบกวน การออกแบบการควบคุมเสียงรบกวนของห้องคลีนรูมจะต้องคำนึงถึงข้อกำหนดด้านความสะอาดของอากาศของสภาพแวดล้อมการผลิต และเงื่อนไขการทำให้บริสุทธิ์ของห้องคลีนรูมจะต้องไม่ได้รับผลกระทบจากการควบคุมเสียงรบกวน

4. การควบคุมการสั่นสะเทือนในห้องสะอาด

(1) ควรใช้มาตรการแยกการสั่นสะเทือนแบบแอคทีฟสำหรับอุปกรณ์ (รวมถึงปั๊มน้ำ ฯลฯ) ที่มีการสั่นสะเทือนที่รุนแรงในห้องปลอดเชื้อและสถานีเสริมโดยรอบ และท่อที่นำไปสู่ห้องปลอดเชื้อ

(2) แหล่งที่มาของการสั่นสะเทือนต่างๆ ภายในและภายนอกห้องคลีนรูมควรได้รับการวัดเพื่อให้ทราบถึงผลกระทบจากการสั่นสะเทือนที่ครอบคลุมต่อห้องคลีนรูม หากถูกจำกัดด้วยเงื่อนไข ก็สามารถประเมินผลกระทบจากแรงสั่นสะเทือนที่ครอบคลุมตามประสบการณ์ได้เช่นกัน ควรเปรียบเทียบกับค่าการสั่นสะเทือนด้านสิ่งแวดล้อมที่อนุญาตของอุปกรณ์ที่มีความแม่นยำและเครื่องมือที่มีความแม่นยำ เพื่อกำหนดมาตรการแยกการสั่นสะเทือนที่จำเป็น มาตรการแยกการสั่นสะเทือนสำหรับอุปกรณ์ที่มีความแม่นยำและเครื่องมือที่มีความแม่นยำควรพิจารณาข้อกำหนดต่างๆ เช่น การลดปริมาณการสั่นสะเทือน และการรักษาโครงสร้างการไหลของอากาศที่เหมาะสมในห้องสะอาด เมื่อใช้แท่นแยกแรงสั่นสะเทือนของสปริงลม แหล่งอากาศควรได้รับการประมวลผลเพื่อให้ถึงระดับความสะอาดของอากาศในห้องสะอาด

5. ข้อกำหนดการก่อสร้างห้องสะอาด

(1) แผนผังอาคารและผังพื้นที่ของห้องคลีนรูมควรมีความยืดหยุ่นที่เหมาะสม โครงสร้างหลักของห้องคลีนรูมไม่ควรใช้การรับน้ำหนักที่ผนังภายใน ความสูงของห้องคลีนรูมควบคุมโดยความสูงสุทธิซึ่งควรยึดตามโมดูลัสพื้นฐาน 100 มิลลิเมตร ความทนทานของโครงสร้างหลักของห้องคลีนรูมนั้นสอดคล้องกับระดับของอุปกรณ์ภายในอาคารและการตกแต่ง และควรมีการป้องกันอัคคีภัย การควบคุมการเปลี่ยนรูปของอุณหภูมิ และคุณสมบัติการทรุดตัวที่ไม่สม่ำเสมอ (พื้นที่แผ่นดินไหวควรเป็นไปตามกฎระเบียบการออกแบบแผ่นดินไหว)

(2) ข้อต่อเสียรูปในอาคารโรงงานควรหลีกเลี่ยงการผ่านห้องคลีนรูม เมื่อจำเป็นต้องปิดบังท่ออากาศกลับและท่ออื่น ๆ ควรติดตั้งชั้นลอยทางเทคนิค อุโมงค์ทางเทคนิค หรือร่องลึก เมื่อจำเป็นต้องซ่อนท่อแนวตั้งที่ผ่านชั้นสุดขั้วควรติดตั้งเพลาทางเทคนิค สำหรับโรงงานแบบครบวงจรที่มีทั้งการผลิตทั่วไปและการผลิตที่สะอาด การออกแบบและโครงสร้างของอาคารควรหลีกเลี่ยงผลกระทบที่ไม่พึงประสงค์ต่อการผลิตที่สะอาดในแง่ของการสัญจรของผู้คน การขนส่งลอจิสติกส์ และการป้องกันอัคคีภัย

6. การทำให้บริสุทธิ์บุคลากรในห้องสะอาดและสิ่งอำนวยความสะดวกการทำให้บริสุทธิ์วัสดุ

(1) ห้องและสิ่งอำนวยความสะดวกสำหรับการฟอกบุคลากรและการทำให้วัสดุบริสุทธิ์ควรจัดไว้ในห้องสะอาด และควรจัดห้องนั่งเล่นและห้องอื่นๆ ตามความจำเป็น ห้องฟอกบุคลากรควรประกอบด้วย ห้องเก็บอุปกรณ์กันฝน ห้องบริหาร ห้องเปลี่ยนรองเท้า ห้องเก็บเสื้อโค้ท ห้องสุขา ห้องเสื้อผ้าทำงานที่สะอาด และห้องอาบน้าเป่าลม ห้องนั่งเล่น เช่น ห้องน้ำ ห้องอาบน้ำ ห้องนั่งเล่น รวมถึงห้องอื่นๆ เช่น ห้องซักเสื้อผ้าและห้องตากผ้าก็สามารถติดตั้งได้ตามต้องการ

(2) ทางเข้าและออกอุปกรณ์และวัสดุของห้องสะอาดควรติดตั้งห้องฟอกวัสดุและสิ่งอำนวยความสะดวกตามลักษณะและรูปร่างของอุปกรณ์และวัสดุ แผนผังของห้องฟอกวัสดุควรป้องกันไม่ให้วัสดุบริสุทธิ์ปนเปื้อนในระหว่างกระบวนการถ่ายโอน

7. การป้องกันและอพยพหนีไฟในห้องสะอาด

(1) เกรดการทนไฟของห้องคลีนรูมไม่ควรต่ำกว่าระดับ 2 วัสดุฝ้าเพดานควรไม่ติดไฟ และขีดจำกัดการทนไฟไม่ควรน้อยกว่า 0.25 ชั่วโมง อันตรายจากไฟไหม้ของการประชุมเชิงปฏิบัติการการผลิตทั่วไปในห้องคลีนรูมสามารถจำแนกได้

(2) ห้องสะอาดควรใช้โรงงานชั้นเดียว พื้นที่สูงสุดที่อนุญาตของห้องไฟร์วอลล์คือ 3,000 ตารางเมตรสำหรับอาคารโรงงานชั้นเดียว และ 2,000 ตารางเมตรสำหรับอาคารโรงงานหลายชั้น เพดานและผนัง (รวมทั้งวัสดุอุดภายใน) จะต้องไม่ติดไฟ

(3). ในอาคารโรงงานแบบครบวงจรในพื้นที่ป้องกันอัคคีภัย ควรสร้างผนังกั้นที่ไม่ติดไฟเพื่อปิดผนึกพื้นที่ระหว่างพื้นที่การผลิตที่สะอาดและพื้นที่การผลิตทั่วไป ขีดจำกัดการทนไฟของผนังกั้นและหลังคาที่สอดคล้องกันจะต้องไม่น้อยกว่า 1 ชั่วโมง และขีดจำกัดการทนไฟของประตูและหน้าต่างบนผนังพาร์ติชันจะต้องไม่น้อยกว่า 0.6 ชั่วโมง ช่องว่างรอบท่อที่ผ่านผนังหรือเพดานพาร์ติชั่นควรบรรจุให้แน่นด้วยวัสดุที่ไม่ติดไฟ

(4) ผนังของเพลาทางเทคนิคควรไม่ติดไฟ และขีดจำกัดการทนไฟไม่ควรน้อยกว่า 1 ชั่วโมง ขีดจำกัดการทนไฟของประตูตรวจสอบบนผนังเพลาไม่ควรน้อยกว่า 0.6 ชั่วโมง ในปล่องในแต่ละชั้นหรือแยกจากกันหนึ่งชั้นควรใช้วัตถุที่ไม่ติดไฟเทียบเท่ากับขีดจำกัดการทนไฟของพื้นเป็นเครื่องแยกไฟในแนวนอน รอบท่อส่งผ่านแนวแยกไฟ ควรเติมช่องว่างให้แน่นด้วยวัสดุที่ไม่ติดไฟ

(5) จำนวนทางออกด้านความปลอดภัยสำหรับแต่ละชั้นการผลิต แต่ละโซนป้องกันอัคคีภัย หรือแต่ละพื้นที่สะอาดในห้องคลีนรูม ไม่ควรน้อยกว่า 2 สีในห้องสะอาดควรเป็นสีอ่อนและนุ่มนวล ค่าสัมประสิทธิ์การสะท้อนแสงของวัสดุพื้นผิวภายในอาคารแต่ละชนิดควรอยู่ที่ 0.6-0.8 สำหรับเพดานและผนัง 0.15-0.35 สำหรับพื้น