ข้อกำหนดและข้อควรระวังในการออกแบบห้องคลีนรูม

1. นโยบายและแนวทางที่เกี่ยวข้องในการออกแบบห้องคลีนรูม

การออกแบบห้องคลีนรูมต้องปฏิบัติตามนโยบายและแนวทางปฏิบัติระดับชาติที่เกี่ยวข้อง และต้องเป็นไปตามข้อกำหนดต่างๆ เช่น ความก้าวหน้าทางเทคโนโลยี ความสมเหตุสมผลทางเศรษฐกิจ ความปลอดภัยและการใช้งาน การประกันคุณภาพ การอนุรักษ์ และการปกป้องสิ่งแวดล้อม การออกแบบห้องคลีนรูมควรสร้างเงื่อนไขที่จำเป็นสำหรับการก่อสร้าง การติดตั้ง การทดสอบ การจัดการการบำรุงรักษา และการดำเนินงานอย่างปลอดภัย และควรสอดคล้องกับข้อกำหนดที่เกี่ยวข้องของมาตรฐานและข้อกำหนดระดับชาติในปัจจุบัน

2. การออกแบบห้องโดยรวมที่สะอาด

(1) ตำแหน่งของห้องสะอาดควรพิจารณาจากความต้องการ เศรษฐกิจ ฯลฯ ควรอยู่ในพื้นที่ที่มีความเข้มข้นของฝุ่นละอองในบรรยากาศต่ำและมีสภาพแวดล้อมทางธรรมชาติที่ดีกว่า ควรอยู่ห่างจากทางรถไฟ ท่าเรือ สนามบิน เส้นทางคมนาคม และพื้นที่ที่มีมลพิษทางอากาศ แรงสั่นสะเทือน หรือเสียงรบกวนสูง เช่น โรงงานและคลังสินค้าที่มีการปล่อยฝุ่นละอองและก๊าซอันตรายจำนวนมาก ควรอยู่ในบริเวณโรงงานที่มีสภาพแวดล้อมที่สะอาดและมีการสัญจรไปมาระหว่างผู้คนและสินค้าน้อยมากหรือน้อยครั้ง (อ้างอิงเฉพาะ: แบบแปลนห้องสะอาด)

(2) เมื่อมีปล่องไฟอยู่ทางด้านลมของห้องสะอาดซึ่งมีความถี่ลมสูงสุด ระยะห่างแนวนอนระหว่างห้องสะอาดและปล่องไฟไม่ควรน้อยกว่า 12 เท่าของความสูงของปล่องไฟ และระยะห่างระหว่างห้องสะอาดและถนนจราจรหลักไม่ควรน้อยกว่า 50 เมตร

(3) ควรปรับปรุงพื้นที่สีเขียวรอบอาคารห้องสะอาด สามารถปลูกหญ้า ปลูกต้นไม้ที่ไม่ก่อให้เกิดผลกระทบต่อความเข้มข้นของฝุ่นละอองในบรรยากาศ และสร้างพื้นที่สีเขียวได้ อย่างไรก็ตาม การดำเนินงานดับเพลิงต้องไม่สะดุด

3. ระดับเสียงในห้องคลีนรูมควรเป็นไปตามข้อกำหนดต่อไปนี้:

(1) ในระหว่างการทดสอบแบบไดนามิก ระดับเสียงในเวิร์กช็อปที่สะอาดไม่ควรเกิน 65 dB(A)

(2) ในระหว่างการทดสอบสภาวะอากาศ ระดับเสียงของห้องคลีนรูมแบบไหลปั่นป่วนไม่ควรเกิน 58 dB(A) และระดับเสียงของห้องคลีนรูมแบบไหลลามินาร์ไม่ควรเกิน 60 dB(A)

(3.) การจัดวางแนวนอนและหน้าตัดของห้องคลีนรูมควรคำนึงถึงข้อกำหนดในการควบคุมเสียงรบกวน โครงสร้างห้องควรมีประสิทธิภาพในการป้องกันเสียงที่ดี และปริมาณการป้องกันเสียงของแต่ละส่วนควรใกล้เคียงกัน ควรใช้ผลิตภัณฑ์ที่มีเสียงรบกวนต่ำสำหรับอุปกรณ์ต่างๆ ในห้องคลีนรูม สำหรับอุปกรณ์ที่มีเสียงรบกวนที่แผ่ออกมาเกินค่าที่อนุญาตของห้องคลีนรูม ควรติดตั้งอุปกรณ์ป้องกันเสียงพิเศษ (เช่น ห้องป้องกันเสียง ฝาครอบป้องกันเสียง ฯลฯ)

(4) เมื่อเสียงรบกวนจากระบบปรับอากาศที่ผ่านการกรองแล้วมีค่าเกินค่าที่อนุญาต ควรใช้มาตรการควบคุม เช่น การป้องกันเสียง การกำจัดเสียง และการแยกเสียงสั่นสะเทือน นอกจากระบบระบายอากาศจากอุบัติเหตุแล้ว ระบบระบายอากาศในโรงงานสะอาดควรได้รับการออกแบบให้ลดเสียงรบกวน การออกแบบระบบควบคุมเสียงในห้องสะอาดต้องคำนึงถึงข้อกำหนดด้านความสะอาดของอากาศในสภาพแวดล้อมการผลิต และต้องไม่ส่งผลกระทบต่อสภาพการฟอกอากาศในห้องสะอาดจากการควบคุมเสียง

4. การควบคุมการสั่นสะเทือนในห้องคลีนรูม

(1) ควรใช้มาตรการแยกการสั่นสะเทือนเชิงรุกสำหรับอุปกรณ์ (รวมถึงปั๊มน้ำ ฯลฯ) ที่มีการสั่นสะเทือนรุนแรงในห้องคลีนรูมและสถานีเสริมโดยรอบและท่อที่นำไปสู่ห้องคลีนรูม

(2) ควรวัดแหล่งกำเนิดการสั่นสะเทือนต่างๆ ทั้งภายในและภายนอกห้องคลีนรูม เพื่อประเมินผลกระทบจากการสั่นสะเทือนที่มีต่อห้องคลีนรูมอย่างครอบคลุม หากข้อจำกัดด้านสภาพแวดล้อม ก็สามารถประเมินผลกระทบจากการสั่นสะเทือนโดยรวมได้จากประสบการณ์เช่นกัน ควรเปรียบเทียบกับค่าการสั่นสะเทือนที่ยอมรับได้ของอุปกรณ์และเครื่องมือวัดความเที่ยงตรง เพื่อกำหนดมาตรการแยกการสั่นสะเทือนที่จำเป็น มาตรการแยกการสั่นสะเทือนสำหรับอุปกรณ์และเครื่องมือวัดความเที่ยงตรงควรพิจารณาข้อกำหนดต่างๆ เช่น การลดปริมาณการสั่นสะเทือนและการรักษาระบบไหลเวียนอากาศที่เหมาะสมในห้องคลีนรูม เมื่อใช้ฐานรองรับสปริงลม ควรปรับแหล่งกำเนิดการสั่นสะเทือนให้อยู่ในระดับความสะอาดของอากาศในห้องคลีนรูม

5. ข้อกำหนดการก่อสร้างห้องคลีนรูม

(1) ผังอาคารและผังพื้นที่ของห้องคลีนรูมควรมีความยืดหยุ่นที่เหมาะสม โครงสร้างหลักของห้องคลีนรูมไม่ควรใช้ผนังรับน้ำหนักภายใน ความสูงของห้องคลีนรูมควบคุมด้วยความสูงสุทธิ ซึ่งควรอิงตามโมดูลัสพื้นฐาน 100 มิลลิเมตร ความทนทานของโครงสร้างหลักของห้องคลีนรูมควรสอดคล้องกับระดับของอุปกรณ์และการตกแต่งภายใน และควรมีคุณสมบัติป้องกันอัคคีภัย การควบคุมการเสียรูปของอุณหภูมิ และการทรุดตัวที่ไม่สม่ำเสมอ (พื้นที่ที่เกิดแผ่นดินไหวควรเป็นไปตามข้อกำหนดการออกแบบเพื่อรับมือกับแผ่นดินไหว)

(2) รอยต่อที่ผิดรูปในอาคารโรงงานควรหลีกเลี่ยงการผ่านห้องปลอดเชื้อ เมื่อจำเป็นต้องวางท่อส่งลมกลับและท่ออื่นๆ แบบซ่อน ควรติดตั้งชั้นลอยทางเทคนิค อุโมงค์ทางเทคนิค หรือร่องลึก หากจำเป็นต้องวางท่อแนวตั้งที่ผ่านชั้นปลายสุดแบบซ่อน ควรติดตั้งปล่องทางเทคนิค สำหรับโรงงานแบบครบวงจรที่มีทั้งการผลิตทั่วไปและการผลิตแบบสะอาด การออกแบบและโครงสร้างของอาคารควรหลีกเลี่ยงผลกระทบด้านลบต่อการผลิตแบบสะอาด ทั้งในแง่ของการเคลื่อนย้ายคน การขนส่งโลจิสติกส์ และการป้องกันอัคคีภัย

6. สิ่งอำนวยความสะดวกในการทำความสะอาดบุคลากรในห้องสะอาดและทำความสะอาดวัสดุ

(1) ควรจัดห้องและสิ่งอำนวยความสะดวกสำหรับการชำระล้างร่างกายและทำความสะอาดวัสดุให้สะอาดภายในห้องสะอาด และควรจัดห้องนั่งเล่นและห้องอื่นๆ ตามความจำเป็น ห้องสำหรับการชำระล้างร่างกายควรประกอบด้วยห้องเก็บชุดกันฝน ห้องผู้บริหาร ห้องเปลี่ยนรองเท้า ห้องเก็บเสื้อโค้ท ห้องน้ำ ห้องเก็บเสื้อผ้าทำงาน และห้องอาบน้ำแบบเป่าลม ห้องนั่งเล่น เช่น ห้องสุขา ห้องอาบน้ำ และห้องพักผ่อน รวมถึงห้องอื่นๆ เช่น ห้องซักเสื้อผ้าทำงานและห้องอบผ้า สามารถจัดได้ตามความจำเป็น

(2) ทางเข้าและทางออกของอุปกรณ์และวัสดุของห้องสะอาดควรมีห้องและอุปกรณ์ฟอกวัสดุให้บริสุทธิ์ตามลักษณะและรูปร่างของอุปกรณ์และวัสดุ การจัดวางห้องฟอกวัสดุควรป้องกันไม่ให้วัสดุที่ผ่านการฟอกแล้วปนเปื้อนระหว่างกระบวนการถ่ายโอน

7. การป้องกันอัคคีภัยและการอพยพในห้องสะอาด

(1) ระดับความทนไฟของห้องสะอาดไม่ควรต่ำกว่าระดับ 2 วัสดุฝ้าเพดานควรไม่ติดไฟ และขีดจำกัดความทนไฟไม่ควรน้อยกว่า 0.25 ชั่วโมง อันตรายจากไฟไหม้ในโรงงานการผลิตทั่วไปในห้องสะอาดสามารถจำแนกได้

(2) ห้องสะอาดควรใช้โรงงานชั้นเดียว พื้นที่สูงสุดของห้องไฟร์วอลล์ที่อนุญาตคือ 3,000 ตารางเมตรสำหรับอาคารโรงงานชั้นเดียว และ 2,000 ตารางเมตรสำหรับอาคารโรงงานหลายชั้น เพดานและแผงผนัง (รวมถึงวัสดุอุดภายใน) จะต้องไม่ติดไฟ

(3) ในอาคารโรงงานขนาดใหญ่ในพื้นที่ป้องกันอัคคีภัย ควรติดตั้งผนังกั้นห้องที่ไม่ติดไฟเพื่อปิดช่องว่างระหว่างพื้นที่ผลิตที่สะอาดและพื้นที่ผลิตทั่วไป ขีดจำกัดความทนไฟของผนังกั้นห้องและหลังคาที่เกี่ยวข้องต้องไม่น้อยกว่า 1 ชั่วโมง และขีดจำกัดความทนไฟของประตูและหน้าต่างบนผนังกั้นห้องต้องไม่น้อยกว่า 0.6 ชั่วโมง ช่องว่างรอบท่อที่ผ่านผนังกั้นห้องหรือเพดานควรปิดให้แน่นด้วยวัสดุที่ไม่ติดไฟ

(4) ผนังปล่องเทคนิคต้องไม่ติดไฟ และขีดจำกัดความทนไฟต้องไม่น้อยกว่า 1 ชั่วโมง ขีดจำกัดความทนไฟของประตูตรวจสอบบนผนังปล่องต้องไม่น้อยกว่า 0.6 ชั่วโมง ในแต่ละชั้นหรือแต่ละชั้น ควรใช้วัสดุที่ไม่ติดไฟเทียบเท่ากับขีดจำกัดความทนไฟของพื้นเป็นแนวกั้นไฟในแนวนอน รอบๆ ท่อที่ผ่านแนวกั้นไฟในแนวนอน ควรอุดช่องว่างด้วยวัสดุที่ไม่ติดไฟให้แน่น

(5) จำนวนทางออกฉุกเฉินสำหรับแต่ละพื้นที่ผลิต แต่ละโซนป้องกันอัคคีภัย หรือแต่ละพื้นที่สะอาดในห้องสะอาด ไม่ควรน้อยกว่าสองแห่ง สีของห้องสะอาดควรเป็นสีอ่อนและนุ่มนวล ค่าสัมประสิทธิ์การสะท้อนแสงของวัสดุพื้นผิวภายในแต่ละชนิดควรอยู่ที่ 0.6-0.8 สำหรับเพดานและผนัง และ 0.15-0.35 สำหรับพื้น