IS0 14644-5 กำหนดให้การติดตั้งอุปกรณ์คงที่ในห้องคลีนรูมควรขึ้นอยู่กับการออกแบบและฟังก์ชันของห้องคลีนรูม รายละเอียดต่อไปนี้จะแนะนำด้านล่าง
1. วิธีการติดตั้งอุปกรณ์: วิธีที่ดีที่สุดคือการปิดห้องคลีนรูมระหว่างระยะเวลาการติดตั้งอุปกรณ์และมีประตูที่สามารถตอบสนองมุมมองของอุปกรณ์หรือจองช่องบนบอร์ดเพื่อให้อุปกรณ์ใหม่ผ่านเข้ามาทำความสะอาดได้ ห้องเพื่อป้องกันไม่ให้ห้องสะอาดใกล้ระยะเวลาการติดตั้งเกิดการปนเปื้อน ควรใช้มาตรการป้องกันเพื่อให้แน่ใจว่าห้องสะอาดยังคงเป็นไปตามข้อกำหนดด้านความสะอาดและงานที่จำเป็นในภายหลัง
2. หากไม่สามารถหยุดงานในห้องคลีนรูมได้ในแต่ละระยะเวลาการติดตั้ง หรือมีโครงสร้างที่ต้องรื้อถอน ห้องคลีนรูมที่ทำงานอยู่จะต้องถูกแยกออกจากพื้นที่ทำงานอย่างมีประสิทธิภาพ โดยสามารถใช้ผนังหรือฉากกั้นชั่วคราวได้ เพื่อไม่ให้เป็นอุปสรรคต่องานติดตั้งควรมีพื้นที่รอบๆ อุปกรณ์เพียงพอ หากเงื่อนไขเอื้ออำนวย การเข้าถึงพื้นที่แยกสามารถทำได้ผ่านช่องทางบริการหรือพื้นที่ที่ไม่สำคัญอื่นๆ หากไม่สามารถทำได้ ควรดำเนินมาตรการเพื่อลดผลกระทบด้านมลพิษที่เกิดจากงานติดตั้งให้เหลือน้อยที่สุด พื้นที่แยกควรรักษาแรงดันหรือแรงดันลบให้เท่ากัน ควรตัดการจ่ายอากาศสะอาดในบริเวณอาคารสูงเพื่อหลีกเลี่ยงแรงดันเชิงบวกต่อห้องสะอาดโดยรอบ หากการเข้าถึงพื้นที่แยกทำได้ผ่านห้องสะอาดที่อยู่ติดกันเท่านั้น ควรใช้แผ่นเหนียวเพื่อขจัดสิ่งสกปรกออกจากรองเท้า
3. หลังจากเข้าสู่พื้นที่สูง สามารถใช้รองเท้าบูทหรือรองเท้าหุ้มส้นแบบใช้แล้วทิ้งและชุดทำงานแบบชิ้นเดียวเพื่อหลีกเลี่ยงการปนเปื้อนกับเสื้อผ้าที่สะอาด ควรนำสิ่งของที่ใช้แล้วทิ้งเหล่านี้ออกก่อนออกจากพื้นที่กักกัน ควรพัฒนาวิธีการตรวจสอบพื้นที่รอบๆ พื้นที่แยกระหว่างขั้นตอนการติดตั้งอุปกรณ์ และควรกำหนดความถี่ของการตรวจสอบเพื่อให้แน่ใจว่าตรวจพบการปนเปื้อนที่อาจรั่วไหลเข้าไปในห้องสะอาดที่อยู่ติดกัน หลังจากกำหนดมาตรการแยกกักกันแล้ว ก็สามารถตั้งค่าสิ่งอำนวยความสะดวกสาธารณะที่จำเป็นต่างๆ ได้ เช่น ไฟฟ้า น้ำ แก๊ส สุญญากาศ ท่อลมอัด และท่อน้ำเสีย ควรให้ความสำคัญกับการควบคุมและแยกควันและเศษซากที่เกิดจากการปฏิบัติงานให้มากที่สุด เพื่อหลีกเลี่ยงการแพร่กระจายไปยังห้องสะอาดโดยรอบโดยไม่ได้ตั้งใจ นอกจากนี้ยังควรอำนวยความสะดวกในการทำความสะอาดอย่างมีประสิทธิภาพก่อนที่จะถอดแผงกั้นแยกออก หลังจากที่สถานบริการสาธารณะเป็นไปตามข้อกำหนดการใช้งานแล้ว ควรทำความสะอาดและกำจัดการปนเปื้อนในพื้นที่แยกทั้งหมดตามขั้นตอนการทำความสะอาดที่กำหนด พื้นผิวทั้งหมด รวมถึงผนัง อุปกรณ์ (แบบตายตัวและแบบเคลื่อนย้ายได้) และพื้น ควรทำความสะอาดด้วยเครื่องดูดฝุ่น เช็ด และถู โดยให้ความสนใจเป็นพิเศษกับพื้นที่ทำความสะอาดด้านหลังการ์ดป้องกันอุปกรณ์และใต้อุปกรณ์
4. การทดสอบประสิทธิภาพของอุปกรณ์เบื้องต้นสามารถดำเนินการได้ตามเงื่อนไขที่แท้จริงของห้องคลีนรูมและอุปกรณ์ที่ติดตั้ง แต่ควรทำการทดสอบการยอมรับในภายหลังเมื่อตรงตามเงื่อนไขสภาพแวดล้อมที่สะอาดครบถ้วน ขึ้นอยู่กับเงื่อนไข ณ สถานที่ติดตั้ง คุณสามารถเริ่มรื้อผนังแยกออกอย่างระมัดระวัง หากปิดระบบจ่ายอากาศบริสุทธิ์แล้ว ให้รีสตาร์ทใหม่ ควรเลือกเวลาสำหรับขั้นตอนการทำงานนี้อย่างระมัดระวังเพื่อลดการรบกวนกับการทำงานปกติของห้องคลีนรูม ในเวลานี้อาจจำเป็นต้องวัดว่าความเข้มข้นของอนุภาคในอากาศตรงตามข้อกำหนดที่ระบุหรือไม่
5. การทำความสะอาดและการเตรียมภายในอุปกรณ์และห้องกระบวนการสำคัญควรดำเนินการภายใต้สภาพห้องสะอาดปกติ ช่องภายในทั้งหมดและพื้นผิวทั้งหมดที่สัมผัสกับผลิตภัณฑ์หรือเกี่ยวข้องกับการขนส่งผลิตภัณฑ์จะต้องเช็ดให้สะอาดจนถึงระดับที่ต้องการ ลำดับการทำความสะอาดอุปกรณ์ควรเริ่มจากบนลงล่าง หากมีการแพร่กระจายของอนุภาค อนุภาคขนาดใหญ่จะตกลงไปที่ด้านล่างของอุปกรณ์หรือพื้นเนื่องจากแรงโน้มถ่วง ทำความสะอาดพื้นผิวด้านนอกของอุปกรณ์จากบนลงล่าง เมื่อจำเป็น การตรวจจับอนุภาคบนพื้นผิวควรดำเนินการในพื้นที่ที่ข้อกำหนดของผลิตภัณฑ์หรือกระบวนการผลิตมีความสำคัญ
6. เมื่อพิจารณาถึงลักษณะของห้องคลีนรูม โดยเฉพาะพื้นที่ขนาดใหญ่ การลงทุนสูง ผลผลิตสูง และข้อกำหนดด้านความสะอาดที่เข้มงวดมากของห้องคลีนรูมที่มีเทคโนโลยีสูง การติดตั้งอุปกรณ์กระบวนการผลิตในโรงงานสะอาดประเภทนี้จะคล้ายกันมากกว่า ของห้องสะอาดธรรมดา ด้วยเหตุนี้ มาตรฐานแห่งชาติ "รหัสสำหรับการก่อสร้างโรงงานที่สะอาดและการยอมรับคุณภาพ" ที่เผยแพร่ในปี 2015 จึงได้กำหนดข้อกำหนดบางประการสำหรับการติดตั้งอุปกรณ์ในกระบวนการผลิตในโรงงานที่สะอาด โดยมีเนื้อหาหลักๆ ดังต่อไปนี้
1. เพื่อป้องกันการปนเปื้อนหรือความเสียหายต่อห้องคลีนรูมที่ได้รับการยอมรับ "ว่างเปล่า" ในระหว่างขั้นตอนการติดตั้งอุปกรณ์ในกระบวนการผลิต กระบวนการติดตั้งอุปกรณ์จะต้องไม่มีการสั่นสะเทือนหรือเอียงมากเกินไป และต้องไม่แบ่งแยกและทำให้อุปกรณ์ปนเปื้อน พื้นผิว
②. เพื่อให้การติดตั้งอุปกรณ์กระบวนการผลิตในห้องสะอาดเป็นระเบียบเรียบร้อยและไม่มีหรือมีที่นั่งน้อย และเพื่อให้เป็นไปตามระบบการจัดการการผลิตที่สะอาดในโรงงานที่สะอาด ตรวจสอบให้แน่ใจว่ากระบวนการติดตั้งอุปกรณ์การผลิตได้รับการคุ้มครองตามข้อกำหนดต่างๆ " ผลิตภัณฑ์สำเร็จรูป" และ "ผลิตภัณฑ์กึ่งสำเร็จรูป" ที่ยอมรับใน "สภาวะว่างเปล่า" วัสดุ เครื่องจักร ฯลฯ ที่ต้องใช้ในกระบวนการติดตั้งจะต้องไม่ปล่อยหรืออาจผลิตได้ (รวมทั้งในการทำงานปกติของห้องคลีนรูมเป็นเวลานาน) เวลา) มลพิษที่เป็นอันตรายต่อ ผลิตภัณฑ์ที่ผลิต ควรใช้วัสดุที่สะอาด ไร้ฝุ่น ไร้สนิม ไร้จาระบี และไม่ก่อให้เกิดฝุ่นระหว่างการใช้งาน
๓. พื้นผิวการตกแต่งอาคารของห้องคลีนรูมควรได้รับการปกป้องด้วยแผ่น ฟิล์ม และวัสดุอื่น ๆ ที่สะอาดปราศจากฝุ่น แผ่นรองอุปกรณ์ควรทำตามข้อกำหนดการออกแบบหรือเอกสารทางเทคนิคของอุปกรณ์ หากไม่มีข้อกำหนด ควรใช้แผ่นสแตนเลสหรือแผ่นพลาสติก โปรไฟล์เหล็กกล้าคาร์บอนที่ใช้สำหรับฐานรากอิสระและการเสริมแรงพื้นควรได้รับการป้องกันการกัดกร่อนและพื้นผิวควรเรียบและเรียบ วัสดุปิดผนึกแบบยืดหยุ่นที่ใช้สำหรับอุดรูรั่ว
④. วัสดุควรมีการทำเครื่องหมายด้วยส่วนผสม พันธุ์ วันที่ผลิต ระยะเวลาการเก็บรักษา คำแนะนำวิธีการก่อสร้าง และใบรับรองคุณสมบัติผลิตภัณฑ์ เครื่องจักรและเครื่องมือที่ใช้ในห้องคลีนรูมจะต้องไม่เคลื่อนย้ายไปยังห้องที่ไม่สะอาดเพื่อใช้งาน จะต้องไม่เคลื่อนย้ายเครื่องจักรและเครื่องมือไปที่ห้องคลีนรูมเพื่อใช้งาน เครื่องจักรและเครื่องมือที่ใช้ในพื้นที่สะอาดควรตรวจสอบให้แน่ใจว่าส่วนที่สัมผัสของเครื่องไม่ก่อให้เกิดฝุ่นหรือใช้มาตรการป้องกันฝุ่นไม่ให้ก่อให้เกิดมลพิษต่อสิ่งแวดล้อม เครื่องจักรและเครื่องมือที่ใช้กันทั่วไปควรทำความสะอาดในแอร์ล็อคก่อนเคลื่อนย้ายไปยังบริเวณที่สะอาด ควรเป็นไปตามข้อกำหนดว่าปราศจากน้ำมัน ปราศจากสิ่งสกปรก ปราศจากฝุ่น และปราศจากสนิม และควรเคลื่อนย้ายหลังจากผ่านการตรวจสอบและติดป้าย "Clean" หรือ "Clean Area Only"
⑤. อุปกรณ์ในกระบวนการผลิตในห้องคลีนรูมจำเป็นต้องติดตั้งบน "พื้นเฉพาะ" เช่น พื้นยกสูง โดยทั่วไปควรวางรากฐานของอุปกรณ์ไว้บนพื้นชั้นลอยทางเทคนิคด้านล่างหรือบนแผ่นซีเมนต์ที่มีรูพรุน กิจกรรมที่ต้องรื้อเพื่อติดตั้งฐานราก ควรเสริมโครงสร้างของพื้นหลังจากตัดด้วยเลื่อยไฟฟ้าแบบมือถือ และความสามารถในการรับน้ำหนักไม่ควรต่ำกว่าความสามารถในการรับน้ำหนักเดิม เมื่อใช้รากฐานที่เป็นอิสระของโครงสร้างโครงเหล็ก ควรทำจากวัสดุสังกะสีหรือสแตนเลส และพื้นผิวที่สัมผัสควรเรียบและเรียบ
⑥. เมื่อขั้นตอนการติดตั้งอุปกรณ์ในกระบวนการผลิตในห้องคลีนรูมต้องมีการเจาะรูในแผ่นผนัง เพดานแบบแขวน และพื้นยกสูง การเจาะจะต้องไม่แบ่งหรือปนเปื้อนพื้นผิวของแผ่นผนังและฝ้าเพดานแบบแขวนที่ต้องเก็บรักษาไว้ หลังจากการเปิดพื้นยกสูงเมื่อไม่สามารถติดตั้งฐานรากได้ทันเวลา ควรติดตั้งราวกั้นความปลอดภัยและป้ายอันตราย หลังจากติดตั้งอุปกรณ์การผลิตแล้ว ควรปิดผนึกช่องว่างรอบ ๆ รู และอุปกรณ์และส่วนประกอบการปิดผนึกควรมีการสัมผัสที่ยืดหยุ่น และการเชื่อมต่อระหว่างส่วนประกอบการปิดผนึกและแผ่นผนังควรแน่นและมั่นคง พื้นผิวซีลด้านหนึ่งของห้องทำงานควรเรียบและเรียบ
เวลาโพสต์: Sep-06-2023