ข้อกำหนดในการติดตั้งอุปกรณ์กระบวนการทำความสะอาดห้อง

การติดตั้งอุปกรณ์กระบวนการในห้องคลีนรูมควรขึ้นอยู่กับการออกแบบและการทำงานของห้องคลีนรูม เราจะแนะนำรายละเอียดต่อไปนี้

1. วิธีการติดตั้งอุปกรณ์: วิธีที่ดีที่สุดคือการปิดห้องคลีนรูมระหว่างระยะเวลาการติดตั้งอุปกรณ์ และมีประตูที่สามารถตอบสนองมุมมองของอุปกรณ์ได้ หรือจองช่องทางให้อุปกรณ์ใหม่ผ่านเข้าห้องคลีนรูมได้ตามลำดับ เพื่อป้องกันไม่ให้ห้องคลีนรูมใกล้ระยะเวลาการติดตั้งเกิดการปนเปื้อน ควรใช้มาตรการป้องกันเพื่อให้แน่ใจว่าห้องคลีนรูมยังคงเป็นไปตามข้อกำหนดด้านความสะอาดและงานที่จำเป็นในภายหลัง

2. หากไม่สามารถหยุดงานในห้องคลีนรูมได้ในแต่ละระยะเวลาการติดตั้ง หรือมีโครงสร้างที่ต้องรื้อถอน ห้องคลีนรูมที่ทำงานอยู่จะต้องถูกแยกออกจากพื้นที่ทำงานอย่างมีประสิทธิภาพ สามารถใช้ผนังหรือฉากกั้นแยกชั่วคราวได้ เพื่อไม่ให้เป็นอุปสรรคต่องานติดตั้งควรมีพื้นที่รอบๆ อุปกรณ์เพียงพอ หากเงื่อนไขเอื้ออำนวย การเข้าถึงพื้นที่แยกสามารถทำได้ผ่านช่องทางบริการหรือพื้นที่ที่ไม่สำคัญอื่นๆ หากไม่สามารถทำได้ ควรดำเนินมาตรการเพื่อลดผลกระทบด้านมลพิษที่เกิดจากงานติดตั้งให้เหลือน้อยที่สุด พื้นที่แยกควรรักษาแรงดันหรือแรงดันลบให้เท่ากัน ควรตัดการจ่ายอากาศสะอาดในบริเวณอาคารสูงเพื่อหลีกเลี่ยงแรงดันเชิงบวกต่อห้องสะอาดโดยรอบ หากการเข้าถึงพื้นที่แยกทำได้ผ่านห้องสะอาดที่อยู่ติดกันเท่านั้น ควรใช้แผ่นเหนียวเพื่อขจัดสิ่งสกปรกที่ติดอยู่บนรองเท้า

3. หลังจากเข้าสู่พื้นที่สูง สามารถใช้รองเท้าบูทหรือรองเท้าหุ้มส้นแบบใช้แล้วทิ้งและชุดทำงานแบบชิ้นเดียวเพื่อหลีกเลี่ยงการปนเปื้อนในห้องสะอาด ควรนำสิ่งของที่ใช้แล้วทิ้งเหล่านี้ออกก่อนออกจากพื้นที่กักกัน ควรพัฒนาวิธีการตรวจสอบพื้นที่รอบๆ พื้นที่แยกระหว่างขั้นตอนการติดตั้งอุปกรณ์ และควรกำหนดความถี่ของการตรวจสอบเพื่อให้แน่ใจว่าตรวจพบการปนเปื้อนที่อาจรั่วไหลเข้าไปในห้องสะอาดที่อยู่ติดกัน หลังจากกำหนดมาตรการแยกแล้ว ก็สามารถจัดตั้งบริการสาธารณะที่จำเป็นต่างๆ ได้ เช่น ไฟฟ้า น้ำ แก๊ส สุญญากาศ ท่อลมอัด และท่อน้ำเสีย โดยควรให้ความสำคัญกับการควบคุมและแยกควันและเศษซากที่เกิดจากการปฏิบัติงาน ให้มากที่สุดเพื่อหลีกเลี่ยงการแพร่กระจายไปยังห้องสะอาดโดยรอบโดยไม่ได้ตั้งใจ นอกจากนี้ยังควรอำนวยความสะดวกในการทำความสะอาดอย่างมีประสิทธิภาพก่อนที่จะถอดแผงกั้นแยกออก หลังจากที่สถานบริการสาธารณะเป็นไปตามข้อกำหนดการใช้งานแล้ว ควรทำความสะอาดและกำจัดการปนเปื้อนในพื้นที่แยกทั้งหมดตามขั้นตอนการทำความสะอาดที่กำหนด พื้นผิวทั้งหมด รวมถึงผนัง อุปกรณ์ (แบบตายตัวและแบบเคลื่อนย้ายได้) และพื้น ควรทำความสะอาดด้วยเครื่องดูดฝุ่น เช็ด และถู โดยให้ความสนใจเป็นพิเศษกับพื้นที่ทำความสะอาดด้านหลังการ์ดป้องกันอุปกรณ์และใต้อุปกรณ์

4. การทดสอบประสิทธิภาพของอุปกรณ์เบื้องต้นสามารถดำเนินการได้ตามเงื่อนไขที่แท้จริงของห้องคลีนรูมและอุปกรณ์ที่ติดตั้ง แต่ควรทำการทดสอบการยอมรับในภายหลังเมื่อตรงตามเงื่อนไขสภาพแวดล้อมที่สะอาดครบถ้วน ขึ้นอยู่กับเงื่อนไข ณ สถานที่ติดตั้ง คุณสามารถเริ่มรื้อผนังแยกออกอย่างระมัดระวัง หากปิดระบบจ่ายอากาศบริสุทธิ์แล้ว ให้รีสตาร์ทใหม่ ควรเลือกเวลาสำหรับขั้นตอนการทำงานนี้อย่างระมัดระวังเพื่อลดการรบกวนการทำงานปกติของห้องคลีนรูม ในเวลานี้อาจจำเป็นต้องวัดว่าความเข้มข้นของอนุภาคในอากาศตรงตามข้อกำหนดที่ระบุหรือไม่

5. การทำความสะอาดและการเตรียมภายในอุปกรณ์และห้องกระบวนการสำคัญควรดำเนินการภายใต้สภาพห้องสะอาดปกติ ช่องภายในทั้งหมดและพื้นผิวทั้งหมดที่สัมผัสกับผลิตภัณฑ์หรือเกี่ยวข้องกับการขนส่งผลิตภัณฑ์จะต้องเช็ดให้สะอาดจนถึงระดับที่ต้องการ ลำดับการทำความสะอาดอุปกรณ์ควรเริ่มจากบนลงล่าง หากมีการแพร่กระจายของอนุภาค อนุภาคขนาดใหญ่จะตกลงไปที่ด้านล่างของอุปกรณ์หรือพื้นเนื่องจากแรงโน้มถ่วง ทำความสะอาดพื้นผิวด้านนอกของอุปกรณ์จากบนลงล่าง เมื่อจำเป็น การตรวจจับอนุภาคบนพื้นผิวควรดำเนินการในพื้นที่ที่ข้อกำหนดของผลิตภัณฑ์หรือกระบวนการผลิตมีความสำคัญ

6. เมื่อพิจารณาถึงลักษณะของห้องคลีนรูม โดยเฉพาะพื้นที่ขนาดใหญ่ การลงทุนสูง ผลผลิตสูง และข้อกำหนดด้านความสะอาดที่เข้มงวดมากของห้องคลีนรูมที่มีเทคโนโลยีสูง การติดตั้งอุปกรณ์กระบวนการผลิตในห้องคลีนรูมประเภทนี้จะคล้ายกันมากกว่า ของห้องคลีนรูมธรรมดา ไม่มีข้อกำหนดเฉพาะ ด้วยเหตุนี้ มาตรฐานระดับชาติ "รหัสสำหรับการก่อสร้างห้องคลีนรูมและการยอมรับคุณภาพ" จึงออกข้อกำหนดบางประการสำหรับการติดตั้งอุปกรณ์ในกระบวนการผลิตในห้องคลีนรูม โดยส่วนใหญ่รวมถึงสิ่งต่อไปนี้

ก. เพื่อป้องกันการปนเปื้อนหรือความเสียหายต่อห้องคลีนรูม (พื้นที่) ที่ได้รับการยอมรับ "ว่างเปล่า" ในระหว่างขั้นตอนการติดตั้งอุปกรณ์ในกระบวนการผลิต กระบวนการติดตั้งอุปกรณ์จะต้องไม่มีการสั่นสะเทือนหรือเอียงมากเกินไป และจะต้องไม่ แบ่งและปนเปื้อนพื้นผิวอุปกรณ์

B. เพื่อให้การติดตั้งอุปกรณ์กระบวนการผลิตในห้องคลีนรูม (พื้นที่) เป็นระเบียบเรียบร้อยและไม่มีหรือมีที่นั่งน้อย และเพื่อให้เป็นไปตามระบบการจัดการการผลิตที่สะอาดในห้องคลีนรูม ต้องแน่ใจว่ากระบวนการติดตั้งอุปกรณ์การผลิตได้รับการคุ้มครองตาม ไปจนถึง "ผลิตภัณฑ์สำเร็จรูป" และ "ผลิตภัณฑ์กึ่งสำเร็จรูป" ต่างๆ ที่ยอมรับใน "สภาวะว่างเปล่า" วัสดุ เครื่องจักร ฯลฯ ที่ต้องใช้ในกระบวนการติดตั้งจะต้องไม่ปล่อยหรืออาจผลิตได้ (รวมถึงในการทำงานปกติของการทำความสะอาด) ห้องเป็นเวลานาน) มลพิษ ที่เป็นอันตรายต่อผลิตภัณฑ์ที่ผลิต ควรใช้วัสดุห้องสะอาดที่ปราศจากฝุ่น ปราศจากสนิม ปราศจากจาระบี และไม่ก่อให้เกิดฝุ่นระหว่างการใช้งาน

C. พื้นผิวการตกแต่งอาคารของห้องคลีนรูม (พื้นที่) ควรได้รับการปกป้องด้วยแผงคลีนรูม ฟิล์ม และวัสดุอื่น ๆ แผ่นรองอุปกรณ์ควรทำตามข้อกำหนดการออกแบบหรือเอกสารทางเทคนิคของอุปกรณ์ หากไม่มีข้อกำหนด ควรใช้แผ่นสแตนเลสหรือแผ่นพลาสติก โปรไฟล์เหล็กกล้าคาร์บอนที่ใช้สำหรับฐานรากอิสระและการเสริมแรงพื้นควรได้รับการป้องกันการกัดกร่อนและพื้นผิวควรเรียบและเรียบ ควรใช้วัสดุปิดผนึกแบบยืดหยุ่นสำหรับอุดรูรั่ว

ง. วัสดุควรมีการทำเครื่องหมายด้วยส่วนผสม พันธุ์ วันที่ผลิต ระยะเวลาการเก็บรักษา คำแนะนำวิธีการก่อสร้าง และใบรับรองผลิตภัณฑ์ เครื่องจักรและเครื่องมือที่ใช้ในห้องสะอาด (พื้นที่) จะต้องไม่เคลื่อนย้ายไปยังห้องที่ไม่สะอาด (พื้นที่) เพื่อใช้งาน จะต้องไม่เคลื่อนย้ายเครื่องจักรและเครื่องมือไปยังห้องสะอาด (พื้นที่) เพื่อใช้งาน เครื่องจักรและเครื่องมือที่ใช้ในพื้นที่สะอาดควรตรวจสอบให้แน่ใจว่าส่วนที่สัมผัสของเครื่องไม่ก่อให้เกิดฝุ่นหรือใช้มาตรการป้องกันฝุ่นไม่ให้ก่อให้เกิดมลพิษต่อสิ่งแวดล้อม เครื่องจักรและเครื่องมือที่ใช้กันทั่วไปควรทำความสะอาดแบบแอร์ล็อคก่อนเคลื่อนย้ายไปยังบริเวณที่ทำความสะอาด และควรเป็นไปตามข้อกำหนด ไร้น้ำมัน ไร้สิ่งสกปรก ไร้ฝุ่น ไร้สนิม และควรเคลื่อนย้ายหลังจากผ่านการตรวจสอบและติดแล้ว ป้าย "สะอาด" หรือ "พื้นที่สะอาดเท่านั้น"

E. จำเป็นต้องติดตั้งอุปกรณ์ในกระบวนการผลิตในห้องคลีนรูม (พื้นที่) บน "พื้นเฉพาะ" เช่น พื้นยก โดยทั่วไปควรวางรากฐานของอุปกรณ์ไว้บนพื้นชั้นลอยทางเทคนิคด้านล่างหรือบนแผ่นซีเมนต์ที่มีรูพรุน กิจกรรมที่ต้องรื้อเพื่อติดตั้งฐานราก ควรเสริมโครงสร้างของพื้นหลังจากตัดด้วยเลื่อยไฟฟ้าแบบมือถือและความสามารถในการรับน้ำหนักไม่ควรต่ำกว่าความสามารถในการรับน้ำหนักเดิม เมื่อใช้รากฐานที่เป็นอิสระของโครงสร้างโครงเหล็ก ควรทำจากวัสดุสังกะสีหรือสแตนเลส และพื้นผิวที่สัมผัสควรเรียบและเรียบ

ฉ. เมื่อขั้นตอนการติดตั้งอุปกรณ์กระบวนการผลิตในห้องคลีนรูม (พื้นที่) ต้องมีรูเปิดในแผ่นผนัง เพดานแบบแขวน และพื้นยก การขุดเจาะจะต้องไม่แบ่งหรือปนเปื้อนพื้นผิวของแผ่นผนังและฝ้าเพดานแบบแขวนที่จำเป็นต้องมี เก็บไว้ หลังจากการเปิดพื้นยกสูงเมื่อไม่สามารถติดตั้งฐานรากได้ทันเวลา ควรติดตั้งราวกั้นความปลอดภัยและป้ายอันตราย หลังจากติดตั้งอุปกรณ์การผลิตแล้ว ควรปิดผนึกช่องว่างรอบ ๆ รู และอุปกรณ์และส่วนประกอบการปิดผนึกควรมีการสัมผัสที่ยืดหยุ่น และการเชื่อมต่อระหว่างส่วนประกอบการปิดผนึกและแผงผนังควรแน่นและมั่นคง พื้นผิวซีลด้านหนึ่งของห้องทำงานควรเรียบและเรียบ