ข้อกำหนดในการติดตั้งอุปกรณ์กระบวนการห้องคลีนรูม

การติดตั้งอุปกรณ์กระบวนการในห้องคลีนรูมควรพิจารณาจากการออกแบบและการใช้งานของห้องคลีนรูม รายละเอียดต่อไปนี้จะอธิบาย

1. วิธีการติดตั้งอุปกรณ์: วิธีที่ดีที่สุดคือการปิดห้องคลีนรูมในระหว่างช่วงเวลาการติดตั้งอุปกรณ์ และมีประตูที่สามารถรองรับมุมมองของอุปกรณ์ได้ หรือสำรองทางเดินเพื่อให้อุปกรณ์ใหม่ผ่านเข้ามาในห้องคลีนรูมได้ เพื่อป้องกันไม่ให้ห้องคลีนรูมใกล้ช่วงเวลาการติดตั้งปนเปื้อน ควรใช้มาตรการป้องกันเพื่อให้แน่ใจว่าห้องคลีนรูมยังคงเป็นไปตามข้อกำหนดด้านความสะอาดและงานที่จำเป็นต่อไป

2. หากไม่สามารถหยุดงานในห้องคลีนรูมได้ในระหว่างการติดตั้งแต่ละครั้ง หรือหากมีโครงสร้างที่ต้องรื้อถอน ห้องคลีนรูมที่กำลังทำงานต้องแยกออกจากพื้นที่ทำงานอย่างมีประสิทธิภาพ โดยสามารถใช้ผนังกั้นหรือผนังกั้นชั่วคราวได้ เพื่อไม่ให้เป็นอุปสรรคต่อการติดตั้ง ควรมีพื้นที่รอบอุปกรณ์เพียงพอ หากสภาพเอื้ออำนวย สามารถเข้าถึงพื้นที่คลีนรูมได้ผ่านช่องทางบริการหรือพื้นที่อื่นๆ ที่ไม่สำคัญ หากไม่สามารถทำได้ ควรมีมาตรการเพื่อลดผลกระทบจากมลพิษที่เกิดจากการติดตั้ง พื้นที่คลีนรูมควรรักษาแรงดันให้เท่ากันหรือแรงดันลบ ควรตัดการจ่ายอากาศสะอาดในพื้นที่สูงเพื่อหลีกเลี่ยงแรงดันบวกในห้องคลีนรูมโดยรอบ หากสามารถเข้าถึงพื้นที่คลีนรูมได้ผ่านห้องคลีนรูมที่อยู่ติดกันเท่านั้น ควรใช้แผ่นกาวเพื่อขจัดคราบสกปรกที่ติดอยู่บนรองเท้า

3. หลังจากเข้าสู่พื้นที่สูงแล้ว สามารถใช้รองเท้าบูทหรือรองเท้าหุ้มส้นแบบใช้แล้วทิ้งและชุดทำงานแบบชิ้นเดียวเพื่อป้องกันการปนเปื้อนในห้องสะอาด ควรนำสิ่งของใช้แล้วทิ้งเหล่านี้ออกก่อนออกจากพื้นที่กักกัน ควรพัฒนาวิธีการตรวจสอบพื้นที่โดยรอบพื้นที่กักกันในระหว่างกระบวนการติดตั้งอุปกรณ์ และกำหนดความถี่ในการตรวจสอบเพื่อให้แน่ใจว่าตรวจพบการปนเปื้อนใดๆ ที่อาจรั่วไหลเข้าไปในห้องสะอาดที่อยู่ติดกัน หลังจากกำหนดมาตรการกักกันแล้ว สามารถจัดตั้งสิ่งอำนวยความสะดวกสาธารณะต่างๆ ที่จำเป็น เช่น ไฟฟ้า น้ำประปา แก๊ส สุญญากาศ อากาศอัด และท่อน้ำเสีย ควรให้ความสำคัญกับการควบคุมและแยกควันและเศษซากที่เกิดจากการปฏิบัติงานให้มากที่สุดเท่าที่จะทำได้ เพื่อป้องกันไม่ให้แพร่กระจายไปยังห้องสะอาดโดยรอบโดยไม่ตั้งใจ นอกจากนี้ยังควรทำความสะอาดอย่างมีประสิทธิภาพก่อนนำแผงกั้นออก หลังจากที่สิ่งอำนวยความสะดวกสาธารณะเป็นไปตามข้อกำหนดการใช้งานแล้ว ควรทำความสะอาดและกำจัดสิ่งปนเปื้อนทั้งหมดตามขั้นตอนการทำความสะอาดที่กำหนด ทุกพื้นผิว รวมถึงผนังทั้งหมด อุปกรณ์ (ทั้งแบบติดตั้งและเคลื่อนย้ายได้) และพื้น ควรได้รับการดูดฝุ่น เช็ด และถู โดยให้ความสำคัญเป็นพิเศษกับบริเวณทำความสะอาดด้านหลังตัวป้องกันอุปกรณ์และใต้ตัวอุปกรณ์

4. การทดสอบประสิทธิภาพเบื้องต้นสามารถทำได้โดยพิจารณาจากสภาพจริงของห้องคลีนรูมและอุปกรณ์ที่ติดตั้ง แต่ควรทำการทดสอบเพื่อยืนยันผลหลังจากผ่านเงื่อนไขสภาพแวดล้อมที่สะอาดแล้ว ขึ้นอยู่กับสภาพพื้นที่ติดตั้ง คุณสามารถเริ่มรื้อผนังกั้นอย่างระมัดระวังได้ หากปิดระบบจ่ายอากาศสะอาดแล้ว ให้เปิดระบบใหม่อีกครั้ง ควรเลือกเวลาสำหรับขั้นตอนนี้อย่างระมัดระวังเพื่อลดการรบกวนการทำงานปกติของห้องคลีนรูม ในขั้นตอนนี้อาจจำเป็นต้องวัดความเข้มข้นของอนุภาคในอากาศว่าตรงตามข้อกำหนดหรือไม่

5. การทำความสะอาดและเตรียมพื้นผิวภายในอุปกรณ์และห้องควบคุมกระบวนการหลักควรดำเนินการภายใต้สภาวะห้องสะอาดปกติ ห้องควบคุมภายในทั้งหมดและพื้นผิวทั้งหมดที่สัมผัสกับผลิตภัณฑ์หรือเกี่ยวข้องกับการขนย้ายผลิตภัณฑ์ต้องได้รับการเช็ดทำความสะอาดให้อยู่ในระดับความสะอาดที่ต้องการ ลำดับการทำความสะอาดอุปกรณ์ควรเริ่มจากบนลงล่าง หากอนุภาคกระจายตัว อนุภาคขนาดใหญ่จะตกลงสู่ก้นอุปกรณ์หรือพื้นเนื่องจากแรงโน้มถ่วง ทำความสะอาดพื้นผิวด้านนอกของอุปกรณ์จากบนลงล่าง หากจำเป็น ควรดำเนินการตรวจจับอนุภาคบนพื้นผิวในพื้นที่ที่ข้อกำหนดของผลิตภัณฑ์หรือกระบวนการผลิตมีความสำคัญอย่างยิ่ง

6. ด้วยคุณสมบัติของห้องคลีนรูม โดยเฉพาะอย่างยิ่งพื้นที่ขนาดใหญ่ การลงทุนสูง ผลผลิตสูง และข้อกำหนดด้านความสะอาดที่เข้มงวดของห้องคลีนรูมไฮเทค การติดตั้งอุปกรณ์กระบวนการผลิตในห้องคลีนรูมประเภทนี้จึงมีความคล้ายคลึงกับห้องคลีนรูมทั่วไป โดยไม่มีข้อกำหนดเฉพาะใดๆ ด้วยเหตุนี้ มาตรฐานแห่งชาติ "รหัสสำหรับการก่อสร้างห้องคลีนรูมและการยอมรับคุณภาพ" ที่ออกจึงได้กำหนดข้อกำหนดบางประการสำหรับการติดตั้งอุปกรณ์กระบวนการผลิตในห้องคลีนรูม ซึ่งประกอบด้วยหัวข้อหลักๆ ดังต่อไปนี้

ก. เพื่อป้องกันการปนเปื้อนหรือแม้แต่ความเสียหายต่อห้องสะอาด (พื้นที่) ที่ผ่านการยอมรับให้ "ว่างเปล่า" ในระหว่างขั้นตอนการติดตั้งอุปกรณ์กระบวนการผลิต ขั้นตอนการติดตั้งอุปกรณ์จะต้องไม่มีการสั่นสะเทือนหรือการเอียงมากเกินไป และจะต้องไม่แบ่งแยกและปนเปื้อนพื้นผิวของอุปกรณ์

ข. เพื่อให้การติดตั้งอุปกรณ์กระบวนการผลิตในห้องคลีนรูม (พื้นที่) เป็นไปอย่างเป็นระเบียบเรียบร้อย ปราศจากหรือมีการนั่งทำงานน้อยลง และเพื่อให้เป็นไปตามระบบการจัดการการผลิตที่สะอาดในห้องคลีนรูม ต้องมั่นใจว่ากระบวนการติดตั้งอุปกรณ์การผลิตได้รับการปกป้องตาม "ผลิตภัณฑ์สำเร็จรูป" และ "ผลิตภัณฑ์กึ่งสำเร็จรูป" ต่างๆ ที่ยอมรับใน "สภาวะว่าง" วัสดุ เครื่องจักร ฯลฯ ที่ต้องใช้ในกระบวนการติดตั้งต้องไม่ปล่อยหรืออาจก่อให้เกิด (รวมถึงการทำงานปกติของห้องคลีนรูมเป็นเวลานาน) มลพิษที่เป็นอันตรายต่อผลิตภัณฑ์ที่ผลิต ควรใช้วัสดุห้องคลีนรูมที่ปราศจากฝุ่น ปราศจากสนิม ปราศจากไขมัน และไม่ก่อให้เกิดฝุ่นระหว่างการใช้งาน

C. พื้นผิวตกแต่งอาคารของห้องสะอาด (พื้นที่) ควรได้รับการปกป้องด้วยแผ่นฟิล์ม ห้องสะอาด และวัสดุอื่นๆ แผ่นรองหลังอุปกรณ์ควรทำตามแบบหรือเอกสารทางเทคนิคของอุปกรณ์ หากไม่มีข้อกำหนด ควรใช้แผ่นสแตนเลสหรือแผ่นพลาสติก โปรไฟล์เหล็กกล้าคาร์บอนที่ใช้สำหรับฐานรากอิสระและการเสริมแรงพื้นควรเคลือบสารป้องกันการกัดกร่อน และพื้นผิวควรเรียบและเรียบ ควรใช้วัสดุปิดผนึกแบบยืดหยุ่นสำหรับการยาแนว

ง. วัสดุต่างๆ ควรมีการทำเครื่องหมายส่วนผสม ชนิด วันที่ผลิต ระยะเวลาเก็บรักษา คำแนะนำวิธีการผลิต และใบรับรองผลิตภัณฑ์ ห้ามเคลื่อนย้ายเครื่องจักรและเครื่องมือที่ใช้ในห้องสะอาดไปยังห้องที่ไม่สะอาดเพื่อใช้งาน ห้ามเคลื่อนย้ายเครื่องจักรและเครื่องมือไปยังห้องสะอาดเพื่อใช้งาน เครื่องจักรและเครื่องมือที่ใช้ในพื้นที่สะอาดควรตรวจสอบให้แน่ใจว่าชิ้นส่วนที่สัมผัสกับเครื่องจักรไม่ก่อให้เกิดฝุ่นละออง หรือมีมาตรการป้องกันฝุ่นละอองไม่ให้ก่อมลพิษต่อสิ่งแวดล้อม ควรทำความสะอาดเครื่องจักรและเครื่องมือที่ใช้บ่อยในแอร์ล็อกก่อนเคลื่อนย้ายไปยังพื้นที่สะอาด และต้องเป็นไปตามข้อกำหนดว่าต้องปราศจากน้ำมัน ปราศจากสิ่งสกปรก ปราศจากฝุ่น และปราศจากสนิม และควรเคลื่อนย้ายหลังจากผ่านการตรวจสอบและติดป้าย "สะอาด" หรือ "เฉพาะพื้นที่สะอาด"

E. อุปกรณ์กระบวนการผลิตในห้องสะอาด (พื้นที่) จำเป็นต้องติดตั้งบน "พื้นเฉพาะ" เช่น พื้นยกสูง โดยทั่วไปควรติดตั้งฐานรากของอุปกรณ์บนพื้นลอยทางเทคนิคชั้นล่างหรือบนแผ่นซีเมนต์พรุน ซึ่งเป็นกิจกรรมที่ต้องรื้อถอนเพื่อติดตั้งฐานราก โครงสร้างของพื้นหลังจากตัดด้วยเลื่อยไฟฟ้ามือถือแล้ว ควรเสริมความแข็งแรง และความสามารถในการรับน้ำหนักไม่ควรต่ำกว่าความสามารถในการรับน้ำหนักเดิม เมื่อใช้ฐานรากอิสระที่ทำจากโครงเหล็ก ควรทำจากวัสดุชุบสังกะสีหรือสแตนเลส และพื้นผิวที่สัมผัสต้องเรียบและเรียบ

ฉ. เมื่อกระบวนการติดตั้งอุปกรณ์กระบวนการผลิตในห้องสะอาด (พื้นที่) จำเป็นต้องมีรูเปิดบนแผงผนัง ฝ้าเพดานแขวน และพื้นยกสูง การเจาะต้องไม่ทำให้พื้นผิวของแผงผนังและฝ้าเพดานแขวนที่จำเป็นต้องคงสภาพไว้แตกหรือปนเปื้อน หลังจากเปิดพื้นยกสูงแล้ว หากไม่สามารถติดตั้งฐานรากได้ทันเวลา ควรติดตั้งราวกันตกและป้ายเตือนอันตราย หลังจากติดตั้งอุปกรณ์การผลิตแล้ว ควรปิดช่องว่างรอบรู และให้อุปกรณ์และส่วนประกอบของซีลสัมผัสกันอย่างยืดหยุ่น การเชื่อมต่อระหว่างส่วนประกอบซีลกับแผงผนังควรแน่นหนาและมั่นคง พื้นผิวซีลด้านหนึ่งของห้องทำงานควรเรียบและเรียบ