FFU มีชื่อเต็มว่า Fan Filter Unit ชุดกรองพัดลมสามารถเชื่อมต่อแบบแยกส่วนได้ ซึ่งใช้กันอย่างแพร่หลายในห้องคลีนรูม คลีนบูธ สายการผลิตคลีนรูม ห้องคลีนรูมแบบประกอบ และห้องคลีนรูมระดับ 100 ในพื้นที่ เป็นต้น FFU มีระบบกรองสองระดับ ได้แก่ แผ่นกรองเบื้องต้นและแผ่นกรอง HEPA พัดลมดูดอากาศจากด้านบนของ FFU และกรองผ่านแผ่นกรองหลักและแผ่นกรองประสิทธิภาพสูง อากาศสะอาดจะถูกส่งออกด้วยความเร็วคงที่ 0.45 เมตร/วินาที ±20% บนพื้นผิวทางออกทั้งหมด เหมาะสำหรับการทำความสะอาดอากาศในสภาพแวดล้อมต่างๆ ให้อากาศสะอาดคุณภาพสูงสำหรับห้องคลีนรูมและสภาพแวดล้อมขนาดเล็กที่มีขนาดและระดับความสะอาดแตกต่างกัน ในการปรับปรุงห้องคลีนรูมและอาคารโรงงานคลีนรูมใหม่ สามารถเพิ่มระดับความสะอาด ลดเสียงรบกวนและการสั่นสะเทือน และลดต้นทุนได้อย่างมาก ติดตั้งและบำรุงรักษาง่าย จึงเป็นอุปกรณ์ทำความสะอาดที่เหมาะสำหรับห้องคลีนรูมที่ปราศจากฝุ่น
เหตุใดจึงต้องใช้ระบบ FFU?
ข้อดีของระบบ FFU ต่อไปนี้ทำให้สามารถนำไปประยุกต์ใช้ได้รวดเร็ว:
1. มีความยืดหยุ่นและง่ายต่อการเปลี่ยน ติดตั้ง และเคลื่อนย้าย
FFU เป็นระบบมอเตอร์และโมดูลาร์แบบแยกส่วน เข้ากันได้กับตัวกรองที่เปลี่ยนง่าย จึงไม่มีข้อจำกัดตามภูมิภาค ในเวิร์กช็อปที่สะอาด สามารถควบคุมแยกกันในพื้นที่พาร์ติชั่นตามต้องการ และเปลี่ยนหรือเคลื่อนย้ายตามต้องการได้
2. การระบายอากาศแบบแรงดันบวก
นี่คือคุณสมบัติเฉพาะของ FFU ด้วยความสามารถในการสร้างแรงดันสถิตย์ ห้องคลีนรูมจึงมีแรงดันเป็นบวกเมื่อเทียบกับสภาพแวดล้อมภายนอก อนุภาคจากภายนอกจะไม่รั่วไหลเข้าสู่พื้นที่สะอาด ทำให้การปิดผนึกเป็นเรื่องง่ายและปลอดภัย
3. ลดระยะเวลาการก่อสร้าง
การใช้ FFU ช่วยประหยัดการผลิตและการติดตั้งท่ออากาศและลดระยะเวลาการก่อสร้าง
4. ลดต้นทุนการดำเนินงาน
แม้ว่าการลงทุนเริ่มต้นในการใช้ระบบ FFU จะสูงกว่าการใช้ระบบท่อลม แต่ก็เน้นถึงคุณสมบัติการประหยัดพลังงานและไม่ต้องบำรุงรักษาในการใช้งานในภายหลัง
5. ประหยัดพื้นที่
เมื่อเทียบกับระบบอื่น ระบบ FFU จะใช้พื้นที่ใต้กล่องแรงดันคงที่ของอากาศจ่ายน้อยกว่า และโดยพื้นฐานแล้วจะไม่กินพื้นที่ภายในห้องคลีนรูม
การสมัคร FFU
โดยทั่วไประบบห้องคลีนรูมจะประกอบไปด้วยระบบท่ออากาศ ระบบ FFU เป็นต้น
ข้อดีเมื่อเทียบกับระบบท่อลม:
①ความยืดหยุ่น ②การนำกลับมาใช้ใหม่ ③การระบายอากาศแรงดันบวก ④ระยะเวลาการก่อสร้างสั้น ⑤ลดต้นทุนการดำเนินงาน ⑥ประหยัดพื้นที่
ห้องคลีนรูมที่มีระดับความสะอาดคลาส 1000 (มาตรฐาน FS209E) หรือ ISO6 ขึ้นไป มักใช้ระบบ FFU และสภาพแวดล้อมที่สะอาด เช่น ตู้เสื้อผ้าสะอาด บูธสะอาด ฯลฯ มักใช้ระบบ FFU เพื่อให้บรรลุข้อกำหนดด้านความสะอาด
ประเภท FFU
1. จำแนกตามขนาดโดยรวม
ตามระยะห่างจากเส้นกึ่งกลางของกระดูกงูเพดานแขวนที่ใช้ในการติดตั้งชุด ขนาดของโมดูลเคสจะแบ่งออกเป็น 1,200*1,200 มม. 1,200*900 มม. 1,200*600 มม. 600*600 มม. ขนาดที่ไม่ได้มาตรฐานควรปรับแต่งโดยลูกค้า
2. แบ่งตามวัสดุเคสที่แตกต่างกัน
หากจำแนกตามวัสดุตัวเรือนต่างๆ จะแบ่งเป็น แผ่นเหล็กอาบสังกะสีเคลือบอลูมิเนียมมาตรฐาน แผ่นเหล็กสแตนเลส และแผ่นเหล็กเคลือบไฟฟ้า เป็นต้น
3. จำแนกตามประเภทมอเตอร์
หากแบ่งตามประเภทมอเตอร์สามารถแบ่งได้เป็นมอเตอร์ AC และมอเตอร์ EC แบบไม่มีแปรงถ่าน
4.จำแนกตามวิธีการควบคุมที่แตกต่างกัน
ตามวิธีการควบคุม FFU แบบ AC สามารถควบคุมได้ด้วยสวิตช์ควบคุมแบบ 3 เกียร์ และ FFU แบบ EC สามารถเชื่อมต่อได้ด้วยการควบคุมความเร็วแบบไม่มีขั้นตอน และยังสามารถควบคุมได้ด้วยตัวควบคุม FFU แบบหน้าจอสัมผัสอีกด้วย
5. จำแนกตามแรงดันสถิตที่แตกต่างกัน
แบ่งตามแรงดันสถิตย์ที่แตกต่างกันเป็นประเภทแรงดันสถิตย์มาตรฐานและประเภทแรงดันสถิตย์สูง
6. จำแนกตามคลาสของตัวกรอง
ตามตัวกรองที่ตัวเครื่องพกพา สามารถแบ่งได้เป็นตัวกรอง HEPA และตัวกรอง ULPA โดยตัวกรอง HEPA และ ULPA สามารถจับคู่กับแผ่นกรองอากาศเบื้องต้นที่ทางเข้าอากาศได้
เอฟเอฟยูโครงสร้าง
1. รูปลักษณ์ภายนอก
แบบแยกส่วน: ทำให้การเปลี่ยนตัวกรองสะดวกและลดความเข้มข้นของแรงงานในระหว่างการติดตั้ง
ประเภทแบบบูรณาการ: เพิ่มประสิทธิภาพการปิดผนึกของ FFU ป้องกันการรั่วไหลได้อย่างมีประสิทธิภาพ มีประโยชน์ในการลดเสียงและการสั่นสะเทือน
2. โครงสร้างพื้นฐานของกรณี FFU
FFU ประกอบด้วย 5 ส่วนหลักๆ คือ
1) กรณี
วัสดุที่นิยมใช้กันทั่วไปคือแผ่นเหล็กชุบสังกะสีเคลือบอลูมิเนียม สแตนเลส และแผ่นเหล็กเคลือบผง หน้าที่แรกคือรองรับพัดลมและวงแหวนนำลม และหน้าที่ที่สองคือรองรับแผ่นนำลม
2) แผ่นนำลม
อุปกรณ์ปรับสมดุลการไหลเวียนของอากาศ ติดตั้งอยู่ภายในตัวเครื่องโดยรอบใต้พัดลม
3) พัดลม
พัดลมมี 2 ประเภท คือ พัดลม AC และ พัดลม EC
4) ตัวกรอง
แผ่นกรองเบื้องต้น: ใช้สำหรับกรองอนุภาคฝุ่นขนาดใหญ่ ประกอบด้วยวัสดุกรองผ้าไม่ทอและกรอบกรองกระดาษแข็ง แผ่นกรองประสิทธิภาพสูง: HEPA/ULPA ตัวอย่าง: H14 ประสิทธิภาพการกรอง 99.999% ที่ 0.3um แผ่นกรองเคมี: สำหรับการกำจัดแอมโมเนีย โบรอน ก๊าซอินทรีย์ ฯลฯ โดยทั่วไปจะติดตั้งไว้ที่ทางเข้าอากาศโดยใช้วิธีการติดตั้งแบบเดียวกับแผ่นกรองเบื้องต้น
5) ส่วนประกอบการควบคุม
สำหรับ AC FFU มักใช้สวิตช์ควบคุมความเร็ว 3 ระดับ สำหรับ EC FFU ชิปควบคุมจะฝังอยู่ภายในมอเตอร์ และการควบคุมระยะไกลจะทำได้โดยใช้ซอฟต์แวร์ควบคุมเฉพาะทาง คอมพิวเตอร์ เกตเวย์ควบคุม และวงจรเครือข่าย
เอฟเอฟยู บีพารามิเตอร์ ASICและการคัดเลือก
ข้อมูลจำเพาะทั่วไปมีดังนี้:
ขนาด: ตรงกับขนาดเพดาน;
วัสดุ: ข้อกำหนดด้านสิ่งแวดล้อม การพิจารณาต้นทุน
ความเร็วลมผิวน้ำ: 0.35-0.45m/s โดยมีความแตกต่างอย่างมีนัยสำคัญในด้านการใช้พลังงาน
แรงดันคงที่: เอาชนะความต้องการความต้านทานอากาศ
แผ่นกรอง: ตามความต้องการระดับความสะอาด;
มอเตอร์: ลักษณะกำลัง, กำลัง, อายุการใช้งานของตลับลูกปืน;
เสียงรบกวน: ตอบสนองข้อกำหนดด้านเสียงรบกวนของห้องคลีนรูม
1. พารามิเตอร์พื้นฐาน
1) ความเร็วลมผิวน้ำ
โดยทั่วไปจะอยู่ระหว่าง 0 ถึง 0.6 เมตร/วินาที สำหรับการควบคุมความเร็ว 3 ระดับ ความเร็วลมที่สอดคล้องกันสำหรับแต่ละเกียร์จะอยู่ที่ประมาณ 0.36-0.45-0.54 เมตร/วินาที ในขณะที่การควบคุมความเร็วแบบไม่มีขั้นตอนจะอยู่ที่ประมาณ 0 ถึง 0.6 เมตร/วินาที
2) การใช้พลังงาน
โดยทั่วไประบบ AC จะมีกำลังไฟฟ้าอยู่ระหว่าง 100-300 วัตต์ ส่วนระบบ EC จะมีกำลังไฟฟ้าอยู่ระหว่าง 50-220 วัตต์ การใช้พลังงานของระบบ EC ต่ำกว่าระบบ AC ประมาณ 30-50%
3) ความสม่ำเสมอของความเร็วลม
หมายถึงความสม่ำเสมอของความเร็วลมพื้นผิวของ FFU ซึ่งเข้มงวดเป็นพิเศษในห้องคลีนรูมระดับสูง มิฉะนั้นอาจทำให้เกิดความปั่นป่วนได้ง่าย การออกแบบที่ยอดเยี่ยมและระดับกระบวนการของพัดลม ตัวกรอง และตัวกระจายลมเป็นตัวกำหนดคุณภาพของพารามิเตอร์นี้ เมื่อทดสอบพารามิเตอร์นี้ จะมีการเลือก 6-12 จุดอย่างเท่าเทียมกันตามขนาดของพื้นผิวทางออกของ FFU เพื่อทดสอบความเร็วลม ค่าสูงสุดและต่ำสุดไม่ควรเกิน ± 20% เมื่อเทียบกับค่าเฉลี่ย
4) แรงดันสถิตภายนอก
พารามิเตอร์นี้เรียกอีกอย่างว่าความดันตกค้าง ซึ่งสัมพันธ์กับอายุการใช้งานของ FFU และสัมพันธ์อย่างใกล้ชิดกับพัดลม โดยทั่วไป ความดันสถิตภายนอกของพัดลมจะต้องไม่น้อยกว่า 90 ปาสกาล เมื่อความเร็วลมผิวดินอยู่ที่ 0.45 เมตร/วินาที
5) แรงดันสถิตรวม
หรือที่รู้จักกันในชื่อความดันรวม ซึ่งหมายถึงค่าความดันสถิตที่ FFU สามารถให้ได้ขณะกำลังสูงสุดและความเร็วลมเป็นศูนย์ โดยทั่วไป ค่าความดันสถิตของ AC FFU จะอยู่ที่ประมาณ 300Pa และ EC FFU จะอยู่ระหว่าง 500-800Pa ภายใต้ความเร็วลมที่กำหนด สามารถคำนวณได้ดังนี้: ความดันสถิตรวม (TSP) = ความดันสถิตภายนอก (ESP คือความดันสถิตที่ FFU สร้างขึ้นเพื่อเอาชนะความต้านทานของท่อส่งลมภายนอกและท่อลมกลับ) + การสูญเสียความดันของตัวกรอง (ค่าความต้านทานของตัวกรองที่ความเร็วลมนี้)
6)เสียงรบกวน
ระดับเสียงโดยทั่วไปอยู่ระหว่าง 42 ถึง 56 เดซิเบลเอ ขณะใช้งาน ควรคำนึงถึงระดับเสียงที่ความเร็วลมผิวดิน 0.45 เมตร/วินาที และแรงดันสถิตภายนอก 100 ปาสกาล สำหรับ FFU ที่มีขนาดและคุณสมบัติเดียวกัน ค่า EC FFU จะต่ำกว่า AC FFU 1-2 เดซิเบลเอ
7) อัตราการสั่นสะเทือน: โดยทั่วไปน้อยกว่า 1.0 มม./วินาที
8) ขนาดพื้นฐานของ FFU
| โมดูลพื้นฐาน (ระยะกึ่งกลางระหว่างกระดูกงูเพดาน) | ขนาดรวม FFU(มม.) | ขนาดตัวกรอง(มม.) | |
| หน่วยเมตริก (มม.) | หน่วยภาษาอังกฤษ (ฟุต) | ||
| 1200*1200 | 4*4 | 1175*1175 | 1170*1170 |
| 1200*900 | 4*3 | 1175*875 | 1170*870 |
| 1200*600 | 4*2 | 1175*575 | 1170*570 |
| 900*600 | 3*2 | 875*575 | 870*570 |
| 600*600 | 2*2 | 575*575 | 570*570 |
หมายเหตุ:
① ขนาดความกว้างและความยาวข้างต้นได้รับการใช้กันอย่างแพร่หลายโดยผู้ผลิตต่างๆ ทั้งในและต่างประเทศ และความหนาจะแตกต่างกันไปตามผู้ผลิต
② นอกเหนือจากขนาดพื้นฐานที่กล่าวข้างต้นแล้ว ยังสามารถกำหนดข้อมูลจำเพาะที่ไม่ได้มาตรฐานได้ แต่การใช้ข้อมูลจำเพาะมาตรฐานในแง่ของเวลาจัดส่งหรือราคาไม่เหมาะสม
9) รุ่นตัวกรอง HEPA/ULPA
| สหภาพยุโรป EN1822 | สหรัฐอเมริกา IEST | ISO14644 | FS209E |
| เอช13 | 99.99%@0.3um | ISO 5 หรือต่ำกว่า | ชั้น 100 หรือต่ำกว่า |
| เอช14 | 99.999%@0.3um | ไอเอสโอ 5-6 | ชั้น 100-1000 |
| ยู15 | 99.9995%@0.3um | ไอเอสโอ 4-5 | ชั้น 10-100 |
| ยู16 | 99.99995%@0.3um | ไอเอสโอ 4 | ชั้นปีที่ 10 |
| ยู17 | 99.999995%@0.3um | ไอเอสโอ 1-3 | ชั้นประถมศึกษาปีที่ 1 |
หมายเหตุ:
① ระดับของห้องคลีนรูมมีความสัมพันธ์กับสองปัจจัย: ประสิทธิภาพของตัวกรองและการเปลี่ยนแปลงอากาศ (ปริมาณอากาศที่จ่าย) การใช้ตัวกรองประสิทธิภาพสูงไม่สามารถบรรลุระดับที่เกี่ยวข้องได้ แม้ว่าปริมาณอากาศจะต่ำเกินไปก็ตาม
②EN1822 ข้างต้นเป็นมาตรฐานที่ใช้กันทั่วไปในยุโรปและอเมริกาในปัจจุบัน
2. การเลือก FFU
พัดลม FFU สามารถเลือกได้จากพัดลม AC และพัดลม EC
1) การเลือกพัดลม AC
AC FFU ใช้การควบคุมสวิตช์แบบแมนนวล เนื่องจากการลงทุนเริ่มต้นค่อนข้างน้อย มักใช้ในห้องคลีนรูมที่มี FFU น้อยกว่า 200 เครื่อง
2) การเลือกพัดลม EC
EC FFU เหมาะสำหรับห้องคลีนรูมที่มี FFU จำนวนมาก ระบบนี้ใช้ซอฟต์แวร์คอมพิวเตอร์เพื่อควบคุมสถานะการทำงานและความผิดพลาดของ FFU แต่ละชุดอย่างชาญฉลาด ช่วยประหยัดค่าใช้จ่ายในการบำรุงรักษา ชุดซอฟต์แวร์แต่ละชุดสามารถควบคุมเกตเวย์หลักได้หลายตัว และแต่ละเกตเวย์สามารถควบคุม FFU ได้ 7935 ตัว
EC FFU สามารถประหยัดพลังงานได้มากกว่า 30% เมื่อเทียบกับ AC FFU ซึ่งถือเป็นการประหยัดพลังงานประจำปีที่สำคัญสำหรับระบบ FFU จำนวนมาก นอกจากนี้ EC FFU ยังมีคุณสมบัติเสียงรบกวนต่ำอีกด้วย
เวลาโพสต์: 18 พฤษภาคม 2566