ความต้องการการออกแบบห้องคลีนรูมอิเล็กทรอนิกส์

นอกจากการควบคุมอนุภาคอย่างเข้มงวดแล้ว ห้องปลอดฝุ่นอิเล็กทรอนิกส์ซึ่งประกอบไปด้วยโรงงานผลิตชิป โรงงานผลิตวงจรรวมปลอดฝุ่น และโรงงานผลิตดิสก์ ยังมีข้อกำหนดที่เข้มงวดยิ่งขึ้นเกี่ยวกับการควบคุมอุณหภูมิและความชื้น แสงสว่าง และไมโครช็อค กำจัดผลกระทบจากไฟฟ้าสถิตต่อผลิตภัณฑ์การผลิตอย่างเข้มงวด เพื่อให้สภาพแวดล้อมเป็นไปตามข้อกำหนดของกระบวนการผลิตผลิตภัณฑ์อิเล็กทรอนิกส์ในสภาพแวดล้อมที่สะอาด

อุณหภูมิและความชื้นของห้องคลีนรูมอิเล็กทรอนิกส์ควรพิจารณาตามข้อกำหนดของกระบวนการผลิต หากไม่มีข้อกำหนดเฉพาะสำหรับกระบวนการผลิต อุณหภูมิอาจอยู่ที่ 20-26°C และความชื้นสัมพัทธ์อยู่ที่ 30%-70% อุณหภูมิของห้องคลีนรูมบุคลากรและห้องนั่งเล่นอาจอยู่ที่ 16-28°C ตามมาตรฐานแห่งชาติจีน GB-50073 ซึ่งสอดคล้องกับมาตรฐาน ISO สากล ระดับความสะอาดของห้องคลีนรูมประเภทนี้อยู่ที่ 1-9 ในกลุ่มนี้ Class 1-5 รูปแบบการไหลของอากาศเป็นการไหลแบบทิศทางเดียวหรือแบบผสม Class 6 รูปแบบการไหลของอากาศแบบไม่ทิศทางเดียวและการเปลี่ยนแปลงของอากาศอยู่ที่ 50-60 ครั้งต่อชั่วโมง Class 7 ประเภทการไหลของอากาศแบบไม่ทิศทางเดียวและการเปลี่ยนแปลงของอากาศอยู่ที่ 15-25 ครั้งต่อชั่วโมง Class 8-9 ประเภทการไหลของอากาศแบบไม่ทิศทางเดียวและการเปลี่ยนแปลงของอากาศอยู่ที่ 10-15 ครั้งต่อชั่วโมง

ตามข้อกำหนดปัจจุบัน ระดับเสียงภายในห้องคลีนรูมอิเล็กทรอนิกส์คลาส 10,000 ไม่ควรเกิน 65dB(A)

1. อัตราส่วนเต็มของห้องคลีนรูมที่มีการไหลแนวตั้งในห้องคลีนรูมอิเล็กทรอนิกส์ไม่ควรน้อยกว่า 60% และห้องคลีนรูมที่มีการไหลทิศทางเดียวแนวนอนไม่ควรน้อยกว่า 40% มิฉะนั้น จะเป็นการไหลทิศทางเดียวบางส่วน

2. ความแตกต่างของแรงดันสถิตระหว่างห้องคลีนรูมอิเล็กทรอนิกส์และภายนอกอาคารไม่ควรน้อยกว่า 10Pa และความแตกต่างของแรงดันสถิตระหว่างพื้นที่สะอาดและพื้นที่ไม่สะอาดที่มีความสะอาดของอากาศต่างกันไม่ควรน้อยกว่า 5Pa

3. ปริมาณอากาศบริสุทธิ์ในห้องคลีนรูมอิเล็กทรอนิกส์ระดับ 10,000 ควรมีค่าเท่ากับ 2 รายการต่อไปนี้

4. ชดเชยผลรวมของปริมาตรอากาศเสียภายในอาคารและปริมาตรอากาศบริสุทธิ์ที่จำเป็นเพื่อรักษาค่าความดันบวกภายในอาคาร

5. ให้มีปริมาณอากาศบริสุทธิ์ที่จ่ายเข้าสู่ห้องสะอาดต่อคนต่อชั่วโมงไม่น้อยกว่า 40 ตารางเมตร