ข้อกำหนดการออกแบบห้องปลอดฝุ่นอิเล็กทรอนิกส์

นอกจากการควบคุมอนุภาคอย่างเข้มงวดแล้ว ห้องคลีนรูมอิเล็กทรอนิกส์ เช่น โรงงานผลิตชิป โรงงานปลอดฝุ่นสำหรับวงจรรวม และโรงงานผลิตแผ่นดิสก์ ยังมีข้อกำหนดที่เข้มงวดกว่าสำหรับการควบคุมอุณหภูมิและความชื้น แสงสว่าง และการเกิดไฟฟ้าสถิตขนาดเล็ก เพื่อขจัดผลกระทบของไฟฟ้าสถิตต่อผลิตภัณฑ์อย่างเข้มงวด เพื่อให้สภาพแวดล้อมเป็นไปตามข้อกำหนดของกระบวนการผลิตผลิตภัณฑ์อิเล็กทรอนิกส์ในสภาพแวดล้อมที่สะอาด

อุณหภูมิและความชื้นของห้องคลีนรูมสำหรับอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ควรได้รับการกำหนดตามข้อกำหนดของกระบวนการผลิต หากไม่มีข้อกำหนดเฉพาะสำหรับกระบวนการผลิต อุณหภูมิสามารถอยู่ที่ 20-26°C และความชื้นสัมพัทธ์อยู่ที่ 30%-70% ส่วนอุณหภูมิของห้องคลีนรูมสำหรับบุคลากรและห้องพักอาศัยสามารถอยู่ที่ 16-28°C ตามมาตรฐานแห่งชาติของจีน GB-50073 ซึ่งสอดคล้องกับมาตรฐานสากล ISO ระดับความสะอาดของห้องคลีนรูมประเภทนี้คือ 1-9 โดยในระดับ 1-5 รูปแบบการไหลของอากาศเป็นแบบทิศทางเดียวหรือแบบผสม ระดับ 6 รูปแบบการไหลของอากาศเป็นแบบหลายทิศทางและการเปลี่ยนอากาศอยู่ที่ 50-60 ครั้ง/ชั่วโมง ระดับ 7 รูปแบบการไหลของอากาศเป็นแบบหลายทิศทางและการเปลี่ยนอากาศอยู่ที่ 15-25 ครั้ง/ชั่วโมง และระดับ 8-9 รูปแบบการไหลของอากาศเป็นแบบหลายทิศทางและการเปลี่ยนอากาศอยู่ที่ 10-15 ครั้ง/ชั่วโมง

ตามข้อกำหนดปัจจุบัน ระดับเสียงภายในห้องปลอดฝุ่นอิเล็กทรอนิกส์ระดับ 10,000 ไม่ควรเกิน 65 เดซิเบล (เอ)

1. อัตราส่วนโดยรวมของห้องคลีนรูมแบบไหลเวียนแนวตั้งในห้องคลีนรูมอิเล็กทรอนิกส์ต้องไม่น้อยกว่า 60% และห้องคลีนรูมแบบไหลเวียนทิศทางเดียวในแนวนอนต้องไม่น้อยกว่า 40% มิฉะนั้นจะเป็นการไหลเวียนทิศทางเดียวแบบไม่สมบูรณ์

2. ความแตกต่างของความดันสถิตระหว่างห้องปลอดฝุ่นอิเล็กทรอนิกส์กับภายนอกอาคารต้องไม่น้อยกว่า 10 Pa และความแตกต่างของความดันสถิตระหว่างพื้นที่สะอาดและพื้นที่ไม่สะอาดที่มีความสะอาดของอากาศแตกต่างกันต้องไม่น้อยกว่า 5 Pa

3. ปริมาณอากาศบริสุทธิ์ในห้องปลอดฝุ่นอิเล็กทรอนิกส์ระดับ 10000 ควรคำนึงถึงค่าของสองรายการต่อไปนี้

4. ชดเชยปริมาณอากาศเสียภายในอาคารและปริมาณอากาศบริสุทธิ์ที่จำเป็นในการรักษาระดับความดันบวกภายในอาคาร

5. ตรวจสอบให้แน่ใจว่าปริมาณอากาศบริสุทธิ์ที่ส่งไปยังห้องปลอดเชื้อต่อคนต่อชั่วโมงไม่น้อยกว่า 40 ตารางเมตร