ข้อกำหนดการออกแบบห้องสะอาดอิเล็กทรอนิกส์

นอกเหนือจากการควบคุมอนุภาคอย่างเข้มงวดแล้วห้องทำความสะอาดแบบอิเล็กทรอนิกส์ที่แสดงโดยเวิร์กช็อปการผลิตชิป, เวิร์กช็อปที่ปราศจากฝุ่นและการประชุมเชิงปฏิบัติการการผลิตดิสก์ยังมีข้อกำหนดที่เข้มงวดสำหรับการควบคุมอุณหภูมิและความชื้นการส่องสว่างและไมโครช็อต ลบผลกระทบของกระแสไฟฟ้าแบบคงที่ต่อผลิตภัณฑ์การผลิตอย่างเคร่งครัดเพื่อให้สิ่งแวดล้อมสามารถตอบสนองความต้องการกระบวนการผลิตของผลิตภัณฑ์อิเล็กทรอนิกส์ในสภาพแวดล้อมที่สะอาด

ควรกำหนดอุณหภูมิและความชื้นของห้องทำความสะอาดอิเล็กทรอนิกส์ตามข้อกำหนดของกระบวนการผลิต เมื่อไม่มีข้อกำหนดเฉพาะสำหรับกระบวนการผลิตอุณหภูมิสามารถ 20-26 ° C และความชื้นสัมพัทธ์คือ 30%-70% อุณหภูมิของบุคลากรห้องทำความสะอาดและห้องนั่งเล่นสามารถอยู่ที่ 16-28 ℃ ตามมาตรฐานของประเทศจีน GB-50073 ซึ่งสอดคล้องกับมาตรฐาน ISO ระดับนานาชาติระดับความสะอาดของห้องสะอาดประเภทนี้คือ 1-9 ในหมู่พวกเขาคลาส 1-5 รูปแบบการไหลของอากาศคือการไหลของทิศทางเดียวหรือการไหลแบบผสม รูปแบบการไหลของอากาศคลาส 6 คือการไหลแบบไม่ทิศทางและการเปลี่ยนแปลงอากาศคือ 50-60 เท่า/ชม.; ประเภทการไหลของอากาศระดับ 7 คือการไหลแบบไม่ผ่านทิศทางและการเปลี่ยนแปลงของอากาศคือ 15-25 ครั้ง/ชม. ประเภทการไหลของอากาศระดับ 8-9 คือการไหลแบบไม่ทิศทางการเปลี่ยนแปลงของอากาศคือ 10-15 ครั้ง/ชม.

ตามข้อกำหนดปัจจุบันระดับเสียงภายในห้องพักระดับ 10,000 ห้องทำความสะอาดอิเล็กทรอนิกส์ไม่ควรมากกว่า 65dB (A)

1. อัตราส่วนเต็มของห้องพักสะอาดในแนวตั้งในห้องสะอาดอิเล็กทรอนิกส์ไม่ควรน้อยกว่า 60%และห้องสะอาดทิศทางเดียวในแนวนอนไม่ควรน้อยกว่า 40%มิฉะนั้นจะเป็นการไหลทางเดียวบางส่วน

2. ความแตกต่างของแรงดันคงที่ระหว่างห้องสะอาดอิเล็กทรอนิกส์และกิจกรรมกลางแจ้งไม่ควรน้อยกว่า 10pa และความแตกต่างของแรงดันคงที่ระหว่างพื้นที่สะอาดและพื้นที่ที่ไม่สะอาดด้วยความสะอาดอากาศที่แตกต่างกันไม่ควรน้อยกว่า 5pa

3. ปริมาณของอากาศบริสุทธิ์ในห้องสะอาดขนาด 10,000 ห้องอิเล็กทรอนิกส์ควรใช้ค่าของสองรายการต่อไปนี้

4. ชดเชยผลรวมของปริมาณอากาศไอเสียในร่มและปริมาณอากาศบริสุทธิ์ที่จำเป็นในการรักษาค่าความดันบวกในร่ม

5. ตรวจสอบให้แน่ใจว่าปริมาณของอากาศบริสุทธิ์ที่จ่ายให้กับห้องทำความสะอาดต่อคนต่อชั่วโมงไม่น้อยกว่า 40 ตารางเมตร