ข้อกำหนดการออกแบบห้องสะอาดแบบอิเล็กทรอนิกส์

นอกเหนือจากการควบคุมอนุภาคอย่างเข้มงวดแล้ว ห้องสะอาดอิเล็กทรอนิกส์ที่นำเสนอโดยเวิร์กช็อปการผลิตชิป เวิร์กช็อปไร้ฝุ่นในวงจรรวม และเวิร์กช็อปการผลิตดิสก์ ยังมีข้อกำหนดที่เข้มงวดมากขึ้นสำหรับการควบคุมอุณหภูมิและความชื้น ไฟส่องสว่าง และไมโครช็อก ขจัดผลกระทบของไฟฟ้าสถิตต่อผลิตภัณฑ์การผลิตอย่างเคร่งครัด เพื่อให้สภาพแวดล้อมสามารถตอบสนองข้อกำหนดกระบวนการผลิตของผลิตภัณฑ์อิเล็กทรอนิกส์ในสภาพแวดล้อมที่สะอาด

ควรกำหนดอุณหภูมิและความชื้นของห้องคลีนรูมอิเล็กทรอนิกส์ตามข้อกำหนดของกระบวนการผลิต เมื่อไม่มีข้อกำหนดเฉพาะสำหรับกระบวนการผลิต อุณหภูมิอาจอยู่ที่ 20-26°C และความชื้นสัมพัทธ์อยู่ที่ 30%-70% อุณหภูมิของห้องทำความสะอาดบุคลากรและห้องนั่งเล่นสามารถอยู่ที่ 16-28 ℃ ตามมาตรฐานแห่งชาติจีน GB-50073 ซึ่งสอดคล้องกับมาตรฐาน ISO สากล ระดับความสะอาดของห้องคลีนรูมประเภทนี้คือ 1-9 ในประเภทที่ 1-5 รูปแบบการไหลของอากาศเป็นแบบไหลทิศทางเดียวหรือแบบผสม รูปแบบการไหลของอากาศคลาส 6 เป็นการไหลแบบไม่มีทิศทางเดียวและการเปลี่ยนแปลงของอากาศคือ 50-60 ครั้ง/ชม. ประเภทการไหลของอากาศคลาส 7 เป็นการไหลแบบไม่มีทิศทางเดียว และการเปลี่ยนแปลงของอากาศคือ 15-25 ครั้ง/ชม. ประเภทการไหลของอากาศคลาส 8-9 เป็นแบบไหลไม่ทิศทางเดียว การเปลี่ยนแปลงของอากาศคือ 10-15 ครั้ง/ชม.

ตามข้อกำหนดปัจจุบัน ระดับเสียงภายในห้องสะอาดอิเล็กทรอนิกส์คลาส 10,000 ไม่ควรเกิน 65dB(A)

1. อัตราส่วนเต็มของห้องสะอาดไหลแนวตั้งในห้องสะอาดอิเล็กทรอนิกส์ไม่ควรน้อยกว่า 60% และห้องสะอาดไหลทิศทางเดียวในแนวนอนไม่ควรน้อยกว่า 40% มิฉะนั้นจะเป็นการไหลทิศทางเดียวบางส่วน

2. ความแตกต่างของแรงดันสถิตระหว่างห้องคลีนรูมแบบอิเล็กทรอนิกส์และภายนอกไม่ควรน้อยกว่า 10Pa และความแตกต่างของแรงดันสถิตระหว่างพื้นที่สะอาดและพื้นที่ที่ไม่สะอาดที่มีความสะอาดของอากาศที่แตกต่างกันไม่ควรน้อยกว่า 5Pa

3. ปริมาณอากาศบริสุทธิ์ในห้องสะอาดอิเล็กทรอนิกส์คลาส 10000 ควรคำนึงถึงมูลค่าของสองรายการต่อไปนี้

4. ชดเชยผลรวมของปริมาตรอากาศเสียภายในอาคารและปริมาตรอากาศบริสุทธิ์ที่จำเป็นเพื่อรักษาค่าความดันบวกภายในอาคาร

5. ตรวจสอบให้แน่ใจว่าปริมาณอากาศบริสุทธิ์ที่จ่ายให้กับห้องที่สะอาดต่อคนต่อชั่วโมงไม่น้อยกว่า 40 ตารางเมตร