ระบบป้องกันอัคคีภัยและระบบจ่ายน้ำในห้องสะอาด

สิ่งอำนวยความสะดวกด้านการป้องกันอัคคีภัยเป็นส่วนสำคัญของห้องสะอาด ความสำคัญไม่ได้อยู่ที่อุปกรณ์และโครงการก่อสร้างที่มีราคาแพงเพียงอย่างเดียว แต่ยังเป็นเพราะห้องสะอาดเป็นอาคารที่ค่อนข้างปิด และบางแห่งเป็นห้องปฏิบัติงานที่ไม่มีหน้าต่าง ทางเดินภายในห้องสะอาดแคบและคดเคี้ยว ทำให้การอพยพบุคลากรและการสอนดับเพลิงเป็นเรื่องยาก เพื่อความปลอดภัยในชีวิตและทรัพย์สินของผู้คน ควรนำนโยบายการป้องกันอัคคีภัย "การป้องกันก่อน การผสมผสานการป้องกันและการเกิดเพลิงไหม้" มาใช้ในการออกแบบ นอกจากการใช้มาตรการป้องกันอัคคีภัยที่มีประสิทธิภาพในการออกแบบห้องสะอาดแล้ว ยังต้องจัดให้มีสิ่งอำนวยความสะดวกด้านการป้องกันอัคคีภัยที่จำเป็นอีกด้วย ลักษณะเฉพาะของการผลิตห้องสะอาดมีดังนี้:

(1) มีอุปกรณ์และเครื่องมือที่มีความแม่นยำมากมาย และมีการใช้ก๊าซและของเหลวที่ติดไฟ ระเบิด กัดกร่อน และเป็นพิษหลากหลายชนิด อันตรายจากไฟไหม้ของชิ้นส่วนการผลิตบางชิ้นจัดอยู่ในประเภท C (เช่น การแพร่กระจายของออกซิเดชัน การพิมพ์หินด้วยแสง การฝังไอออน การพิมพ์และบรรจุภัณฑ์ ฯลฯ) และบางชิ้นจัดอยู่ในประเภท A (เช่น การดึงผลึกเดี่ยว การเคลือบด้วยอิพิแทกซี การสะสมไอเคมี ฯลฯ)

(2) ห้องสะอาดมีอากาศถ่ายเทได้สะดวก เมื่อเกิดเพลิงไหม้ การอพยพบุคลากรและดับไฟจะทำได้ยาก

(3) ต้นทุนการก่อสร้างห้องสะอาดสูง และอุปกรณ์และเครื่องมือต่างๆ มีราคาแพง เมื่อเกิดเพลิงไหม้ ความเสียหายทางเศรษฐกิจจะมหาศาล

จากลักษณะเฉพาะที่กล่าวมาข้างต้น ห้องคลีนรูมมีข้อกำหนดด้านการป้องกันอัคคีภัยที่สูงมาก นอกจากระบบป้องกันอัคคีภัยและระบบจ่ายน้ำแล้ว ควรติดตั้งอุปกรณ์ดับเพลิงแบบติดตั้งถาวรด้วย โดยเฉพาะอย่างยิ่งอุปกรณ์และเครื่องมือที่มีค่าในห้องคลีนรูมต้องได้รับการตรวจสอบอย่างรอบคอบ