ห้าส่วนของระบบห้องสะอาด

ห้องสะอาดเป็นอาคารปิดพิเศษที่สร้างขึ้นเพื่อควบคุมอนุภาคในอากาศในอวกาศ โดยทั่วไปแล้ว ห้องคลีนรูมจะควบคุมปัจจัยด้านสิ่งแวดล้อม เช่น อุณหภูมิและความชื้น รูปแบบการเคลื่อนไหวของลม การสั่นสะเทือนและเสียงรบกวน แล้วคลีนรูมประกอบด้วยอะไรบ้าง? เราจะช่วยคุณแยกแยะห้าส่วน:

1. ช่องใส่ของ

ช่องห้องคลีนรูมแบ่งออกเป็นสามส่วน ได้แก่ ห้องเปลี่ยน พื้นที่สะอาดคลาส 1000 และพื้นที่สะอาดคลาส 100 ห้องเปลี่ยนเสื้อผ้าและพื้นที่ทำความสะอาดคลาส 1,000 มีฝักบัวแบบเป่าลม ห้องพักสะอาดและพื้นที่กลางแจ้งมีฝักบัวแบบเป่าลม Pass box ใช้สำหรับสิ่งของเข้าและออกจากห้องคลีนรูม เมื่อผู้คนเข้าไปในห้องคลีนรูม พวกเขาจะต้องผ่านฝักบัวลมก่อนเพื่อเป่าฝุ่นที่ร่างกายมนุษย์พาออกไป และลดฝุ่นที่บุคลากรนำเข้ามาในห้องสะอาด กล่อง Pass เป่าฝุ่นออกจากสิ่งของเพื่อให้ได้ผลในการกำจัดฝุ่น

2. แผนภูมิการไหลของระบบอากาศ

ระบบใช้แอร์ใหม่+ระบบFFU:

(1) โครงสร้างกล่องเครื่องปรับอากาศบริสุทธิ์

(2) หน่วยกรองพัดลม FFU

ตัวกรองในห้องคลีนรูมคลาส 1000 ใช้ HEPA โดยมีประสิทธิภาพการกรอง 99.997% และตัวกรองในห้องคลีนรูมคลาส 100 ใช้ ULPA โดยมีประสิทธิภาพการกรอง 99.9995%

3. แผนภูมิการไหลของระบบน้ำ

ระบบน้ำแบ่งเป็นฝั่งหลักและฝั่งรอง

อุณหภูมิของน้ำในด้านหลักคือ 7-12°C ซึ่งจ่ายให้กับกล่องเครื่องปรับอากาศและชุดคอยล์พัดลม และอุณหภูมิของน้ำในด้านที่สองคือ 12-17°C ซึ่งจ่ายให้กับระบบคอยล์แห้ง น้ำที่ด้านหลักและด้านรองเป็นสองวงจรที่แตกต่างกัน เชื่อมต่อกันด้วยเครื่องแลกเปลี่ยนความร้อนแบบแผ่น

หลักการแลกเปลี่ยนความร้อนแบบแผ่น

คอยล์แห้ง: คอยล์ไม่ควบแน่น เนื่องจากอุณหภูมิในโรงงานฟอกอากาศอยู่ที่ 22°C และจุดน้ำค้างอยู่ที่ประมาณ 12°C น้ำที่มีอุณหภูมิ 7°C จึงไม่สามารถเข้าถึงห้องสะอาดได้โดยตรง ดังนั้นอุณหภูมิของน้ำที่เข้าคอยล์แห้งจึงอยู่ระหว่าง 12-14°C

4. ระบบควบคุมอุณหภูมิ (DDC): ระบบควบคุมคอยล์แห้ง

ความชื้น: เครื่องปรับอากาศจะควบคุมปริมาณน้ำเข้าของคอยล์เครื่องปรับอากาศโดยควบคุมการเปิดวาล์วสามทางผ่านสัญญาณที่ตรวจจับได้

แรงดันบวก: การปรับเครื่องปรับอากาศตามสัญญาณการตรวจจับแรงดันคงที่ จะปรับความถี่ของมอเตอร์อินเวอร์เตอร์ของเครื่องปรับอากาศโดยอัตโนมัติ ซึ่งจะเป็นการปรับปริมาณอากาศบริสุทธิ์ที่เข้าสู่ห้องสะอาด

5.ระบบอื่นๆ

ไม่เพียงแต่ระบบปรับอากาศเท่านั้น ระบบคลีนรูม ยังรวมถึง สุญญากาศ ความดันอากาศ ไนโตรเจน น้ำบริสุทธิ์ น้ำเสีย ระบบคาร์บอนไดออกไซด์ ระบบไอเสียจากกระบวนการ และมาตรฐานการทดสอบ:

(1) การทดสอบความเร็วการไหลของอากาศและความสม่ำเสมอ การทดสอบนี้เป็นข้อกำหนดเบื้องต้นสำหรับผลการทดสอบอื่นๆ ของห้องคลีนรูม วัตถุประสงค์ของการทดสอบนี้คือเพื่อชี้แจงการไหลของอากาศโดยเฉลี่ยและความสม่ำเสมอของพื้นที่ทำงานที่มีการไหลทิศทางเดียวในห้องคลีนรูม

(2) การตรวจจับปริมาณอากาศของระบบหรือห้อง

(3). การตรวจจับความสะอาดภายในอาคาร การตรวจจับความสะอาดคือการกำหนดระดับความสะอาดของอากาศที่สามารถทำได้ในห้องคลีนรูม และใช้เครื่องนับอนุภาคเพื่อตรวจจับได้

(4) การตรวจจับเวลาในการทำความสะอาดตัวเอง ด้วยการกำหนดเวลาในการทำความสะอาดตัวเอง จึงสามารถยืนยันความสามารถในการคืนความสะอาดเดิมของห้องสะอาดเมื่อมีการปนเปื้อนเกิดขึ้นภายในห้องสะอาดได้

(5) การตรวจจับรูปแบบการไหลของอากาศ

(6) การตรวจจับเสียงรบกวน

(7) การตรวจจับแสงสว่าง วัตถุประสงค์ของการทดสอบการส่องสว่างคือเพื่อกำหนดระดับการส่องสว่างและความสม่ำเสมอของการส่องสว่างของห้องคลีนรูม

(8) การตรวจจับการสั่นสะเทือน วัตถุประสงค์ของการตรวจจับการสั่นสะเทือนคือเพื่อกำหนดแอมพลิจูดการสั่นสะเทือนของจอแสดงผลแต่ละจอในห้องคลีนรูม

(9) การตรวจจับอุณหภูมิและความชื้น วัตถุประสงค์ของการตรวจจับอุณหภูมิและความชื้นคือความสามารถในการปรับอุณหภูมิและความชื้นภายในขีดจำกัดที่กำหนด เนื้อหาประกอบด้วยการตรวจจับอุณหภูมิอากาศจ่ายของห้องคลีนรูม การตรวจจับอุณหภูมิอากาศที่จุดตรวจวัดตัวแทน การตรวจจับอุณหภูมิอากาศที่จุดศูนย์กลางของห้องคลีนรูม การตรวจจับอุณหภูมิอากาศที่ส่วนประกอบที่ละเอียดอ่อน การตรวจจับอุณหภูมิสัมพัทธ์ของอากาศภายในอาคาร และการตรวจจับ อุณหภูมิอากาศกลับ

(10) การตรวจจับปริมาณอากาศทั้งหมดและปริมาณอากาศบริสุทธิ์