ห้าส่วนประกอบของระบบห้องคลีนรูม

ห้องคลีนรูมคืออาคารปิดพิเศษที่สร้างขึ้นเพื่อควบคุมอนุภาคในอากาศในอวกาศ โดยทั่วไปแล้วห้องคลีนรูมจะควบคุมปัจจัยแวดล้อมต่างๆ เช่น อุณหภูมิและความชื้น รูปแบบการไหลของอากาศ การสั่นสะเทือนและเสียงรบกวน แล้วห้องคลีนรูมประกอบด้วยอะไรบ้าง? เราจะช่วยคุณแยกแยะองค์ประกอบทั้งห้านี้:

1. ช่องเก็บของ

ห้องคลีนรูมแบ่งออกเป็นสามส่วน ได้แก่ ห้องเปลี่ยนเสื้อผ้า พื้นที่คลีนรูมระดับ 1000 และพื้นที่คลีนรูมระดับ 1000 ห้องเปลี่ยนเสื้อผ้าและพื้นที่คลีนรูมระดับ 1000 มีฝักบัวลมติดตั้งไว้ ส่วนห้องคลีนรูมและพื้นที่กลางแจ้งมีฝักบัวลมติดตั้งไว้ ช่องผ่าน (Pass Box) ใช้สำหรับเป่าฝุ่นที่ร่างกายนำพาออกมาก่อน และลดปริมาณฝุ่นที่บุคลากรนำเข้ามาในห้องคลีนรูม ช่องผ่านจะเป่าฝุ่นออกจากเสื้อผ้าเพื่อกำจัดฝุ่น

2. แผนภูมิการไหลของระบบอากาศ

ระบบใช้แอร์ใหม่ + ระบบ FFU :

(1). โครงสร้างกล่องปรับอากาศบริสุทธิ์

(2). ชุดกรองพัดลม FFU

ตัวกรองในห้องคลีนรูมคลาส 1000 ใช้ HEPA ซึ่งมีประสิทธิภาพการกรอง 99.997% และตัวกรองในห้องคลีนรูมคลาส 100 ใช้ ULPA ซึ่งมีประสิทธิภาพการกรอง 99.9995%

3. ผังการไหลของระบบน้ำ

ระบบน้ำจะแบ่งเป็นฝั่งน้ำปฐมภูมิและฝั่งน้ำทุติยภูมิ

อุณหภูมิน้ำด้านปฐมภูมิอยู่ที่ 7-12 องศาเซลเซียส ซึ่งจ่ายไปยังกล่องปรับอากาศและชุดคอยล์พัดลม ส่วนอุณหภูมิน้ำด้านทุติยภูมิอยู่ที่ 12-17 องศาเซลเซียส ซึ่งจ่ายไปยังระบบคอยล์แห้ง น้ำด้านปฐมภูมิและด้านทุติยภูมิเป็นวงจรสองวงจรที่เชื่อมต่อกันด้วยแผ่นแลกเปลี่ยนความร้อน

หลักการของเครื่องแลกเปลี่ยนความร้อนแบบแผ่น

คอยล์แห้ง: คอยล์แบบไม่ควบแน่น เนื่องจากอุณหภูมิในโรงงานฟอกอากาศอยู่ที่ 22 องศาเซลเซียส และอุณหภูมิจุดน้ำค้างอยู่ที่ประมาณ 12 องศาเซลเซียส น้ำที่มีอุณหภูมิ 7 องศาเซลเซียสจึงไม่สามารถไหลเข้าห้องสะอาดได้โดยตรง ดังนั้น อุณหภูมิของน้ำที่ไหลเข้าคอยล์แห้งจึงอยู่ระหว่าง 12-14 องศาเซลเซียส

4. ระบบควบคุม (DDC) อุณหภูมิ: การควบคุมระบบคอยล์แห้ง

ความชื้น: เครื่องปรับอากาศจะควบคุมปริมาตรน้ำที่เข้าคอยล์ของเครื่องปรับอากาศโดยควบคุมการเปิดวาล์วสามทางผ่านสัญญาณที่ตรวจจับได้

แรงดันบวก: การปรับเครื่องปรับอากาศตามสัญญาณการตรวจจับแรงดันคงที่ จะปรับความถี่ของอินเวอร์เตอร์มอเตอร์เครื่องปรับอากาศโดยอัตโนมัติ จึงปรับปริมาณอากาศบริสุทธิ์ที่เข้ามาในห้องคลีนรูมได้

5. ระบบอื่นๆ

ไม่เพียงแต่ระบบปรับอากาศเท่านั้น ระบบห้องคลีนรูมยังรวมถึงระบบสุญญากาศ ความดันอากาศ ไนโตรเจน น้ำบริสุทธิ์ น้ำเสีย ระบบคาร์บอนไดออกไซด์ ระบบไอเสียจากกระบวนการ และมาตรฐานการทดสอบอีกด้วย:

(1) การทดสอบความเร็วลมและความสม่ำเสมอของการไหลของอากาศ การทดสอบนี้เป็นสิ่งจำเป็นเบื้องต้นสำหรับผลการทดสอบอื่นๆ ของห้องคลีนรูม วัตถุประสงค์ของการทดสอบนี้คือเพื่อชี้แจงค่าเฉลี่ยของการไหลของอากาศและความสม่ำเสมอของพื้นที่ทำงานแบบทิศทางเดียวในห้องคลีนรูม

(2). การตรวจจับปริมาณอากาศของระบบหรือห้อง

(3) การตรวจจับความสะอาดภายในอาคาร การตรวจจับความสะอาดคือการกำหนดระดับความสะอาดของอากาศที่สามารถทำได้ในห้องสะอาด และสามารถใช้เครื่องนับอนุภาคเพื่อตรวจจับได้

(4) การตรวจจับระยะเวลาการทำความสะอาดตัวเอง การระบุระยะเวลาการทำความสะอาดตัวเองนี้จะช่วยให้สามารถยืนยันความสามารถในการฟื้นฟูความสะอาดเดิมของห้องสะอาดได้เมื่อเกิดการปนเปื้อนภายในห้องสะอาด

(5) การตรวจจับรูปแบบการไหลของอากาศ

(6). การตรวจจับสัญญาณรบกวน

(7) การตรวจจับแสงสว่าง วัตถุประสงค์ของการทดสอบแสงสว่างคือการประเมินระดับแสงสว่างและความสม่ำเสมอของแสงสว่างในห้องสะอาด

(8) การตรวจจับการสั่นสะเทือน วัตถุประสงค์ของการตรวจจับการสั่นสะเทือนคือการกำหนดแอมพลิจูดการสั่นสะเทือนของจอแสดงผลแต่ละจอในห้องสะอาด

(9) การตรวจจับอุณหภูมิและความชื้น วัตถุประสงค์ของการตรวจจับอุณหภูมิและความชื้นคือความสามารถในการปรับอุณหภูมิและความชื้นให้อยู่ในขอบเขตที่กำหนด เนื้อหาประกอบด้วยการตรวจจับอุณหภูมิอากาศขาเข้าของห้องสะอาด การตรวจจับอุณหภูมิอากาศ ณ จุดวัดที่เป็นตัวแทน การตรวจจับอุณหภูมิอากาศ ณ จุดศูนย์กลางของห้องสะอาด การตรวจจับอุณหภูมิอากาศ ณ ส่วนประกอบสำคัญ การตรวจจับอุณหภูมิสัมพัทธ์ของอากาศภายในอาคาร และการตรวจจับอุณหภูมิอากาศขากลับ

(10) การตรวจจับปริมาณอากาศรวมและปริมาณอากาศบริสุทธิ์