วิธีจัดเก็บสารเคมีในห้องปลอดเชื้ออย่างไร?

1. ภายในห้องปลอดเชื้อ ควรจัดตั้งห้องจัดเก็บและกระจายสารเคมีประเภทต่างๆ โดยพิจารณาจากข้อกำหนดของกระบวนการผลิตผลิตภัณฑ์และคุณสมบัติทางกายภาพและเคมีของสารเคมี ควรใช้ท่อส่งเพื่อจัดหาสารเคมีที่จำเป็นให้กับอุปกรณ์การผลิต ห้องจัดเก็บและกระจายสารเคมีภายในห้องปลอดเชื้อโดยทั่วไปจะตั้งอยู่ในพื้นที่การผลิตเสริม ซึ่งมักจะอยู่ชั้นล่างของอาคารชั้นเดียวหรือหลายชั้น ใกล้กับผนังด้านนอก สารเคมีควรจัดเก็บแยกกันตามคุณสมบัติทางกายภาพและเคมี สารเคมีที่ไม่เข้ากันควรจัดเก็บไว้ในห้องจัดเก็บและกระจายสารเคมีที่แยกจากกัน โดยมีผนังกั้นทึบ สารเคมีอันตรายควรจัดเก็บในห้องจัดเก็บหรือกระจายที่แยกต่างหาก ซึ่งมีระดับความทนไฟอย่างน้อย 2 ชั่วโมงระหว่างห้องที่อยู่ติดกัน ห้องเหล่านี้ควรตั้งอยู่ในห้องบนชั้นหนึ่งของอาคารผลิต ใกล้กับผนังด้านนอก

2. ห้องปลอดเชื้อในอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์มักมีห้องจัดเก็บและกระจายสารเคมีที่เป็นกรดและด่าง รวมถึงตัวทำละลายที่ติดไฟได้ ห้องจัดเก็บและกระจายกรดโดยทั่วไปจะมีระบบจัดเก็บและกระจายกรดซัลฟิวริก กรดฟอสฟอริก กรดไฮโดรฟลูออริก และกรดไฮโดรคลอริก ห้องจัดเก็บและกระจายด่างโดยทั่วไปจะมีระบบจัดเก็บและกระจายโซเดียมไฮดรอกไซด์ เค้กไฮดรอกไซด์ แอมโมเนียมไฮดรอกไซด์ และเตตราเมทิลแอมโมเนียมไฮดรอกไซด์ ห้องจัดเก็บและกระจายตัวทำละลายที่ติดไฟได้โดยทั่วไปจะมีระบบจัดเก็บและกระจายตัวทำละลายอินทรีย์ เช่น ไอโซโพรพิลแอลกอฮอล์ (IPA) ห้องปลอดเชื้อในโรงงานผลิตเวเฟอร์วงจรรวมยังมีห้องจัดเก็บและกระจายสารละลายขัดเงาด้วย ห้องจัดเก็บและกระจายสารเคมีมักตั้งอยู่ในพื้นที่การผลิตเสริมหรือพื้นที่สนับสนุนใกล้หรือติดกับพื้นที่การผลิตที่สะอาด โดยทั่วไปจะอยู่บนชั้นหนึ่งและมีทางเข้าออกสู่ภายนอกโดยตรง

3. ห้องจัดเก็บและกระจายสารเคมีต้องติดตั้งถังหรือแท็งก์สำหรับจัดเก็บที่มีความจุแตกต่างกันไปตามประเภท ปริมาณ และลักษณะการใช้งานของสารเคมีที่จำเป็นสำหรับการผลิตผลิตภัณฑ์ ตามมาตรฐานและข้อบังคับ สารเคมีควรได้รับการจัดเก็บแยกกันและจำแนกประเภท ความจุของถังหรือแท็งก์ที่ใช้ควรเพียงพอสำหรับการใช้งานเจ็ดวัน นอกจากนี้ควรจัดเตรียมถังหรือแท็งก์สำรองรายวันที่มีความจุเพียงพอสำหรับการใช้งาน 24 ชั่วโมงของสารเคมีที่จำเป็นสำหรับการผลิตผลิตภัณฑ์ ห้องจัดเก็บและกระจายตัวทำละลายไวไฟและสารเคมีออกซิไดซ์ควรแยกออกจากห้องข้างเคียงด้วยผนังทึบทนไฟที่มีระดับความทนไฟ 3 ชั่วโมง หากตั้งอยู่บนชั้นหนึ่งของอาคารหลายชั้น ควรแยกออกจากพื้นที่อื่น ๆ ด้วยพื้นวัสดุที่ไม่ติดไฟที่มีระดับความทนไฟอย่างน้อย 1.5 ชั่วโมง ห้องควบคุมส่วนกลางสำหรับระบบความปลอดภัยและการตรวจสอบสารเคมีภายในห้องปลอดเชื้อควรตั้งอยู่ในห้องแยกต่างหาก

4. ความสูงของห้องจัดเก็บและกระจายสารเคมีภายในห้องปลอดเชื้อควรพิจารณาจากข้อกำหนดด้านการจัดวางอุปกรณ์และท่อ และโดยทั่วไปไม่ควรต่ำกว่า 4.5 เมตร หากตั้งอยู่ในบริเวณการผลิตเสริมของห้องปลอดเชื้อ ความสูงของห้องจัดเก็บและกระจายสารเคมีควรสอดคล้องกับความสูงของอาคาร