วิธีจัดเก็บสารเคมีในห้องคลีนรูมอย่างไร?

1. ภายในห้องสะอาด ควรจัดห้องจัดเก็บและจ่ายสารเคมีประเภทต่างๆ ตามความต้องการของกระบวนการผลิตผลิตภัณฑ์และคุณสมบัติทางกายภาพและทางเคมีของสารเคมี ควรใช้ท่อส่งสารเคมีที่จำเป็นไปยังอุปกรณ์การผลิต โดยทั่วไปห้องจัดเก็บและจ่ายสารเคมีภายในห้องสะอาดจะตั้งอยู่ในบริเวณพื้นที่การผลิตเสริม ซึ่งโดยทั่วไปจะอยู่ที่ชั้นล่างของอาคารชั้นเดียวหรือหลายชั้น ใกล้กับผนังด้านนอก ควรจัดเก็บสารเคมีแยกกันตามคุณสมบัติทางกายภาพและทางเคมี สารเคมีที่เข้ากันไม่ได้ควรแยกเก็บไว้ในห้องจัดเก็บและจ่ายสารเคมีแยกกัน โดยมีฉากกั้นทึบกั้น สารเคมีอันตรายควรจัดเก็บในห้องจัดเก็บหรือจ่ายสารเคมีแยกกันที่มีระดับความทนไฟอย่างน้อย 2 ชั่วโมงระหว่างห้องที่อยู่ติดกัน ห้องเหล่านี้ควรตั้งอยู่ในห้องบนชั้นหนึ่งของอาคารผลิต ใกล้กับผนังด้านนอก

2. ห้องสะอาดในอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์มักมีห้องจัดเก็บและกระจายสำหรับกรดและด่าง รวมถึงตัวทำละลายไวไฟ ห้องจัดเก็บและกระจายกรดมักมีระบบจัดเก็บและกระจายสำหรับกรดซัลฟิวริก กรดฟอสฟอริก กรดไฮโดรฟลูออริก และกรดไฮโดรคลอริก ห้องจัดเก็บและกระจายสำหรับด่างมักมีระบบจัดเก็บและกระจายสำหรับโซเดียมไฮดรอกไซด์ เค้กไฮดรอกไซด์ แอมโมเนียมไฮดรอกไซด์ และเตตระเมทิลแอมโมเนียมไฮดรอกไซด์ ห้องจัดเก็บและกระจายตัวทำละลายไวไฟมักมีระบบจัดเก็บและกระจายสำหรับตัวทำละลายอินทรีย์ เช่น ไอโซโพรพิลแอลกอฮอล์ (IPA) ห้องสะอาดในโรงงานผลิตแผ่นเวเฟอร์วงจรรวมก็มีห้องจัดเก็บและกระจายสารละลายขัดเงาเช่นกัน ห้องจัดเก็บและกระจายสารเคมีมักตั้งอยู่ในพื้นที่การผลิตเสริมหรือพื้นที่สนับสนุนใกล้หรือติดกับพื้นที่การผลิตที่สะอาด โดยทั่วไปจะอยู่ที่ชั้นหนึ่งซึ่งสามารถเข้าถึงพื้นที่ภายนอกได้โดยตรง

3. ห้องจัดเก็บและจ่ายสารเคมีมีถังหรือถังเก็บสารเคมีที่มีความจุแตกต่างกันตามประเภท ปริมาณ และลักษณะการใช้งานของสารเคมีที่จำเป็นสำหรับการผลิตผลิตภัณฑ์ ตามมาตรฐานและข้อบังคับ สารเคมีควรจัดเก็บแยกและจำแนกประเภท ความจุของถังหรือถังที่ใช้ควรเพียงพอสำหรับการใช้สารเคมีเป็นเวลาเจ็ดวัน ควรมีถังหรือถังเก็บสารเคมีประจำวันที่มีความจุเพียงพอสำหรับการใช้สารเคมีตลอด 24 ชั่วโมงที่จำเป็นสำหรับการผลิตผลิตภัณฑ์ ห้องจัดเก็บและจ่ายสารเคมีสำหรับตัวทำละลายไวไฟและสารเคมีออกซิไดซ์ควรแยกออกจากห้องที่อยู่ติดกันด้วยผนังทึบทนไฟที่มีระดับความทนไฟ 3.0 ชั่วโมง หากตั้งอยู่บนชั้นหนึ่งของอาคารหลายชั้น ควรแยกออกจากพื้นที่อื่นๆ ด้วยพื้นไม่ติดไฟที่มีระดับความทนไฟอย่างน้อย 1.5 ชั่วโมง ห้องควบคุมส่วนกลางสำหรับระบบความปลอดภัยและการตรวจสอบสารเคมีภายในห้องสะอาดควรตั้งอยู่ในห้องแยกต่างหาก

4. ความสูงของห้องเก็บและจ่ายสารเคมีภายในห้องสะอาดควรพิจารณาตามข้อกำหนดของอุปกรณ์และรูปแบบท่อ และโดยทั่วไปไม่ควรต่ำกว่า 4.5 เมตร หากตั้งอยู่ในพื้นที่การผลิตเสริมของห้องสะอาด ความสูงของห้องเก็บและจ่ายสารเคมีควรสอดคล้องกับความสูงของอาคาร