จะควบคุมปริมาตรอากาศที่มีความดันต่างกันในห้องคลีนรูมได้อย่างไร?

การควบคุมปริมาตรอากาศที่ความดันต่างกันเป็นสิ่งสำคัญอย่างยิ่งต่อการรักษาความสะอาดของห้องคลีนรูมและป้องกันการแพร่กระจายของสิ่งปนเปื้อน ต่อไปนี้คือขั้นตอนและวิธีการที่ชัดเจนในการควบคุมปริมาตรอากาศที่ความดันต่างกัน

1. วัตถุประสงค์พื้นฐานของการควบคุมปริมาณอากาศความแตกต่างของความดัน

วัตถุประสงค์หลักของการควบคุมปริมาตรอากาศที่แตกต่างกันของแรงดันคือการรักษาความแตกต่างของแรงดันคงที่ระหว่างห้องคลีนรูมและพื้นที่โดยรอบเพื่อให้แน่ใจว่าห้องคลีนรูมสะอาดและป้องกันการแพร่กระจายของสารมลพิษ

2. กลยุทธ์การควบคุมปริมาตรอากาศความแตกต่างของความดัน

(1). กำหนดข้อกำหนดความแตกต่างของแรงดัน

ตามข้อกำหนดการออกแบบและข้อกำหนดกระบวนการผลิตของห้องคลีนรูม ให้พิจารณาว่าความแตกต่างของความดันระหว่างห้องคลีนรูมและพื้นที่โดยรอบควรเป็นบวกหรือลบ ความแตกต่างของความดันระหว่างห้องคลีนรูมที่มีเกรดต่างกัน และระหว่างพื้นที่คลีนรูมและพื้นที่ที่ไม่คลีนรูมไม่ควรน้อยกว่า 5Pa และความแตกต่างของความดันระหว่างพื้นที่คลีนรูมและพื้นที่ภายนอกอาคารไม่ควรน้อยกว่า 10Pa

(2). คำนวณปริมาตรอากาศความดันต่าง

ปริมาณอากาศรั่วไหลสามารถคำนวณได้โดยการประมาณจำนวนครั้งของการเปลี่ยนถ่ายอากาศในห้อง หรือวิธีช่องว่าง วิธีช่องว่างนี้มีความสมเหตุสมผลและแม่นยำกว่า โดยคำนึงถึงความหนาแน่นของอากาศและพื้นที่ช่องว่างของโครงสร้างตู้ด้วย

สูตรการคำนวณ: LC = µP × AP × ΔP × ρ หรือ LC = α × q × l โดยที่ LC คือปริมาตรอากาศความแตกต่างของแรงดันที่ต้องการเพื่อรักษาค่าความแตกต่างของแรงดันของห้องสะอาด µP คือค่าสัมประสิทธิ์การไหล AP คือพื้นที่ช่องว่าง ΔP คือความแตกต่างของแรงดันสถิต ρ คือความหนาแน่นของอากาศ α คือปัจจัยด้านความปลอดภัย q คือปริมาตรอากาศรั่วต่อหน่วยความยาวของช่องว่าง และ l คือความยาวช่องว่าง

วิธีการควบคุมที่ใช้:

① วิธีการควบคุมปริมาณอากาศคงที่ (CAV): ขั้นแรก ให้กำหนดความถี่มาตรฐานการทำงานของระบบปรับอากาศ เพื่อให้แน่ใจว่าปริมาณอากาศที่จ่ายเข้าสอดคล้องกับปริมาณอากาศที่ออกแบบไว้ กำหนดอัตราส่วนอากาศบริสุทธิ์และปรับให้เข้ากับค่าที่ออกแบบไว้ ปรับมุมของแดมเปอร์ลมกลับของทางเดินอากาศสะอาด เพื่อให้แน่ใจว่าความแตกต่างของแรงดันของทางเดินอากาศสะอาดอยู่ในช่วงที่เหมาะสม ซึ่งใช้เป็นเกณฑ์มาตรฐานในการปรับความแตกต่างของแรงดันของห้องอื่นๆ

② วิธีการควบคุมปริมาณอากาศแปรผัน (VAV): ปรับปริมาณอากาศเข้าหรือปริมาณอากาศออกอย่างต่อเนื่องผ่านแดมเปอร์อากาศไฟฟ้าเพื่อรักษาความดันที่ต้องการ วิธีการควบคุมความดันต่างแบบบริสุทธิ์ (OP) ใช้เซ็นเซอร์ความดันต่างเพื่อวัดความแตกต่างของความดันระหว่างห้องและพื้นที่อ้างอิง และเปรียบเทียบกับค่าที่ตั้งไว้ และควบคุมปริมาณอากาศเข้าหรือปริมาณอากาศออกผ่านอัลกอริทึมการปรับ PID

การว่าจ้างและบำรุงรักษาระบบ:

หลังจากติดตั้งระบบแล้ว จะมีการตรวจสอบสมดุลอากาศเพื่อให้แน่ใจว่าปริมาณอากาศที่มีความดันต่าง ๆ เป็นไปตามข้อกำหนดการออกแบบ ตรวจสอบและบำรุงรักษาระบบอย่างสม่ำเสมอ รวมถึงตัวกรอง พัดลม แผ่นปิดช่องลม ฯลฯ เพื่อให้มั่นใจว่าระบบทำงานได้อย่างเสถียร

3. สรุป

การควบคุมปริมาตรอากาศที่ความดันต่างกันเป็นกุญแจสำคัญในการออกแบบและการจัดการห้องคลีนรูม การกำหนดความต้องการความแตกต่างของความดัน การคำนวณปริมาตรอากาศที่ความดันต่างกัน การเลือกใช้วิธีการควบคุมที่เหมาะสม การติดตั้งและบำรุงรักษาระบบ จะช่วยให้มั่นใจได้ถึงความสะอาดและความปลอดภัยของห้องคลีนรูม และป้องกันการแพร่กระจายของสารมลพิษ