หากพบข้อบกพร่องในแผ่นกรอง HEPA และการติดตั้ง เช่น รูเล็กๆ ในแผ่นกรอง หรือรอยแตกเล็กๆ ที่เกิดจากการติดตั้งหลวมๆ ประสิทธิภาพการกรองจะไม่เป็นไปตามที่ต้องการ ดังนั้น หลังจากติดตั้งหรือเปลี่ยนแผ่นกรอง HEPA แล้ว ต้องทำการทดสอบการรั่วซึมของแผ่นกรองและจุดเชื่อมต่อการติดตั้งเสมอ
1. วัตถุประสงค์และขอบเขตของการตรวจจับการรั่วไหล:
วัตถุประสงค์ในการตรวจจับ: โดยการทดสอบการรั่วไหลของแผ่นกรอง HEPA เพื่อค้นหาข้อบกพร่องของแผ่นกรอง HEPA และการติดตั้ง เพื่อดำเนินการแก้ไข
ขอบเขตการตรวจจับ: พื้นที่สะอาด โต๊ะทำงานแบบไหลเวียนอากาศ และตัวกรอง HEPA บนอุปกรณ์ เป็นต้น
2. วิธีการตรวจจับการรั่วไหล:
วิธีการที่ใช้กันทั่วไปมากที่สุดสำหรับการตรวจจับการรั่วไหลคือวิธี DOP (กล่าวคือ ใช้ตัวทำละลาย DOP เป็นแหล่งกำเนิดฝุ่น และใช้เครื่องวัดแสงละอองลอยในการตรวจจับการรั่วไหล) นอกจากนี้ยังสามารถใช้วิธีการสแกนด้วยเครื่องนับอนุภาคฝุ่นในการตรวจจับการรั่วไหลได้ (กล่าวคือ ใช้ฝุ่นในบรรยากาศเป็นแหล่งกำเนิดฝุ่น และใช้เครื่องนับอนุภาคในการตรวจจับการรั่วไหล)
อย่างไรก็ตาม เนื่องจากค่าที่อ่านได้จากเครื่องนับอนุภาคเป็นค่าสะสม จึงไม่เหมาะกับการสแกน และความเร็วในการตรวจสอบก็ช้า นอกจากนี้ ในด้านที่ลมพัดผ่านของแผ่นกรอง HEPA ที่กำลังทดสอบ ความเข้มข้นของฝุ่นในบรรยากาศมักจะต่ำ และจำเป็นต้องใช้ควันเสริมเพื่อตรวจจับการรั่วไหลได้ง่ายขึ้น วิธีการนับอนุภาคจึงถูกนำมาใช้ในการตรวจจับการรั่วไหล วิธี DOP สามารถชดเชยข้อบกพร่องเหล่านี้ได้ ดังนั้นในปัจจุบัน วิธี DOP จึงถูกนำมาใช้กันอย่างแพร่หลายในการตรวจจับการรั่วไหล
3. หลักการทำงานของการตรวจจับการรั่วไหลด้วยวิธี DOP:
ละอองลอย DOP ถูกปล่อยออกมาเป็นแหล่งกำเนิดฝุ่นละอองทางด้านต้นลมของตัวกรองประสิทธิภาพสูงที่กำลังทดสอบ (DOP คือ ไดออกทิลพทาเลต มีน้ำหนักโมเลกุล 390.57 และอนุภาคมีรูปร่างทรงกลมหลังจากฉีดพ่น)
เครื่องวัดละอองลอยแบบใช้แสง (aerosol photometer) ใช้สำหรับเก็บตัวอย่างอากาศทางด้านท้ายลม ตัวอย่างอากาศที่เก็บได้จะผ่านห้องกระจายแสงของเครื่องวัดแสง แสงที่กระเจิงซึ่งเกิดจากก๊าซที่มีฝุ่นละอองผ่านเครื่องวัดแสงจะถูกแปลงเป็นไฟฟ้าโดยปรากฏการณ์โฟโตอิเล็กทริกและการขยายเชิงเส้น และแสดงผลอย่างรวดเร็วโดยไมโครแอมมิเตอร์ ทำให้สามารถวัดความเข้มข้นสัมพัทธ์ของละอองลอยได้ ส่วนการทดสอบ DOP นั้นวัดอัตราการทะลุผ่านของตัวกรอง HEPA นั่นเอง
เครื่องกำเนิด DOP เป็นอุปกรณ์ที่สร้างควัน หลังจากเทตัวทำละลาย DOP ลงในภาชนะบรรจุแล้ว ควันละอองลอยจะถูกสร้างขึ้นภายใต้ความดันหรือสภาวะความร้อนที่กำหนด และถูกส่งไปยังด้านต้นลมของตัวกรองประสิทธิภาพสูง (ของเหลว DOP จะถูกทำให้ร้อนเพื่อสร้างไอน้ำ DOP และไอน้ำจะถูกทำให้ร้อนในสารควบแน่นเฉพาะเพื่อเปลี่ยนเป็นละอองขนาดเล็กภายใต้สภาวะที่กำหนด กำจัดละอองขนาดใหญ่และเล็กเกินไป เหลือเพียงอนุภาคขนาดประมาณ 0.3 ไมครอน และหมอก DOP จะเข้าสู่ท่ออากาศ)
เครื่องวัดความเข้มข้นของละอองลอย (เครื่องมือสำหรับวัดและแสดงความเข้มข้นของละอองลอยควรระบุระยะเวลาความถูกต้องของการสอบเทียบ และสามารถใช้งานได้ก็ต่อเมื่อผ่านการสอบเทียบและอยู่ในช่วงระยะเวลาความถูกต้องเท่านั้น)
4. ขั้นตอนการทำงานของการทดสอบตรวจจับการรั่วไหล:
(1) การเตรียมการตรวจจับการรั่วไหล
เตรียมอุปกรณ์ที่จำเป็นสำหรับการตรวจหารอยรั่ว และแผนผังพื้นของท่อส่งอากาศของระบบฟอกอากาศและปรับอากาศในบริเวณที่จะตรวจสอบ พร้อมทั้งแจ้งบริษัทผู้จัดหาอุปกรณ์ฟอกอากาศและปรับอากาศให้มาที่สถานที่ในวันที่ตรวจหารอยรั่ว เพื่อดำเนินการต่างๆ เช่น การทากาวและการเปลี่ยนแผ่นกรอง HEPA
(2) การดำเนินการตรวจจับการรั่วไหล
①ตรวจสอบว่าระดับของเหลวตัวทำละลาย DOP ในเครื่องพ่นละอองสูงกว่าระดับต่ำสุดหรือไม่ หากมีปริมาณไม่เพียงพอ ควรเติมให้เต็ม
②เชื่อมต่อถังไนโตรเจนเข้ากับเครื่องกำเนิดละอองลอย เปิดสวิตช์ปรับอุณหภูมิของเครื่องกำเนิดละอองลอย และรอจนกว่าไฟสีแดงจะเปลี่ยนเป็นสีเขียว ซึ่งหมายความว่าอุณหภูมิถึงระดับที่ต้องการแล้ว (ประมาณ 390~420℃)
③ต่อปลายด้านหนึ่งของสายยางทดสอบเข้ากับพอร์ตทดสอบความเข้มข้นด้านต้นน้ำของเครื่องวัดแสงละอองลอย และวางปลายอีกด้านหนึ่งไว้ที่ด้านทางเข้าอากาศ (ด้านต้นน้ำ) ของตัวกรอง HEPA ที่กำลังทดสอบ เปิดสวิตช์เครื่องวัดแสงและปรับค่าทดสอบเป็น "100"
④เปิดสวิตช์ไนโตรเจน ควบคุมความดันที่ 0.05~0.15 MPa ค่อยๆ เปิดวาล์วน้ำมันของเครื่องกำเนิดละอองลอย ควบคุมค่าทดสอบของเครื่องวัดแสงที่ 10~20 และป้อนค่าความเข้มข้นที่วัดได้จากต้นทางหลังจากค่าทดสอบคงที่แล้ว ดำเนินการสแกนและตรวจสอบต่อไป
⑤ต่อปลายด้านหนึ่งของสายยางทดสอบเข้ากับพอร์ตทดสอบความเข้มข้นปลายทางของเครื่องวัดแสงละอองลอย และใช้ปลายอีกด้านหนึ่งซึ่งเป็นหัวเก็บตัวอย่าง สแกนด้านทางออกของอากาศของตัวกรองและโครงยึด ระยะห่างระหว่างหัวเก็บตัวอย่างกับตัวกรองประมาณ 3 ถึง 5 เซนติเมตร สแกนไปมาตามกรอบด้านในของตัวกรอง และความเร็วในการตรวจสอบต่ำกว่า 5 เซนติเมตรต่อวินาที
ขอบเขตของการทดสอบรวมถึงวัสดุตัวกรอง การเชื่อมต่อระหว่างวัสดุตัวกรองกับโครง การเชื่อมต่อระหว่างปะเก็นของโครงตัวกรองกับโครงรองรับของกลุ่มตัวกรอง การเชื่อมต่อระหว่างโครงรองรับกับผนังหรือเพดาน เพื่อตรวจสอบรูเล็กๆ และความเสียหายอื่นๆ ในตัวกรอง ซีลของโครง ซีลปะเก็น และการรั่วไหลในโครงตัวกรอง
โดยทั่วไป การตรวจสอบการรั่วซึมของแผ่นกรอง HEPA ในพื้นที่สะอาดที่มีระดับความเข้มงวดสูงกว่า 10000 จะทำปีละครั้ง (ครึ่งปีในพื้นที่ปลอดเชื้อ) และหากพบความผิดปกติอย่างมีนัยสำคัญในจำนวนฝุ่นละออง แบคทีเรียที่ตกตะกอน และความเร็วลมในการตรวจสอบประจำวันในพื้นที่สะอาด ควรทำการตรวจสอบการรั่วซึมด้วยเช่นกัน
วันที่โพสต์: 7 กันยายน 2023