วิธีการวางท่อไฟฟ้าในห้องคลีนรูม?

ตามการจัดระบบการไหลเวียนของอากาศและการวางท่อต่างๆ รวมถึงข้อกำหนดด้านเค้าโครงของช่องจ่ายและส่งคืนของระบบปรับอากาศสำหรับฟอกอากาศ อุปกรณ์ไฟส่องสว่าง เครื่องตรวจจับสัญญาณเตือน ฯลฯ ห้องสะอาดมักจะถูกตั้งค่าในชั้นลอยทางเทคนิคด้านบน ชั้นลอยทางเทคนิคด้านล่าง ชั้นลอยทางเทคนิค หรือช่องทางเทคนิค

ชั้นลอยทางเทคนิค

ท่อส่งไฟฟ้าในห้องสะอาดควรติดตั้งในชั้นลอยหรืออุโมงค์ทางเทคนิค ควรใช้สายเคเบิลปลอดฮาโลเจนที่มีควันน้อย ท่อร้อยสายไฟฟ้าควรทำจากวัสดุที่ไม่ติดไฟ ท่อส่งไฟฟ้าในพื้นที่การผลิตที่สะอาดควรติดตั้งแบบซ่อน และควรมีมาตรการปิดผนึกที่เชื่อถือได้ที่รอยต่อระหว่างช่องเปิดของท่อส่งไฟฟ้าและอุปกรณ์ไฟฟ้าต่างๆ ที่ติดตั้งบนผนัง วิธีการจ่ายไฟฟ้าส่วนบนในห้องสะอาด: โดยทั่วไปแล้ว สายส่งและสายส่งไฟฟ้าแรงดันต่ำจะใช้สองวิธี คือ การวางสะพานสายเคเบิลเข้ากับกล่องจ่ายไฟ และการวางกล่องจ่ายไฟเข้ากับอุปกรณ์ไฟฟ้า หรือการวางกล่องเสียบปลั๊กแบบปิด (แจ็คจะถูกปิดกั้นเมื่อไม่ใช้งาน) จากกล่องเสียบปลั๊กไปยังกล่องควบคุมไฟฟ้าของอุปกรณ์การผลิตหรือสายการผลิต วิธีการจ่ายไฟฟ้าแบบหลังนี้ใช้เฉพาะในโรงงานอิเล็กทรอนิกส์ การสื่อสาร อุปกรณ์ไฟฟ้า และเครื่องจักรที่มีข้อกำหนดด้านความสะอาดต่ำ วิธีนี้สามารถนำการเปลี่ยนแปลงผลิตภัณฑ์ การปรับปรุงและเปลี่ยนแปลงในสายการผลิต รวมถึงการเลื่อน เพิ่ม และลบอุปกรณ์การผลิตได้ ซึ่งสะดวกอย่างยิ่ง ไม่จำเป็นต้องดัดแปลงอุปกรณ์จ่ายไฟและสายไฟในโรงงาน เพียงย้ายกล่องปลั๊กบัสบาร์หรือใช้กล่องปลั๊กสำรองเพื่อนำสายไฟออก

สายไฟชั้นลอย

การเดินสายแบบลอยทางเทคนิคในห้องคลีนรูม: ควรใช้เมื่อมีชั้นลอยทางเทคนิคอยู่เหนือห้องคลีนรูม หรือเมื่อมีฝ้าเพดานแขวนอยู่เหนือห้องคลีนรูม ฝ้าเพดานแขวนสามารถแบ่งได้เป็นโครงสร้างต่างๆ เช่น คอนกรีตเสริมเหล็กแบบแซนด์วิช และแผ่นผนังโลหะ แผงผนังโลหะและฝ้าเพดานแขวนเป็นที่นิยมใช้ในห้องคลีนรูม

การบำบัดด้วยการปิดผนึก

วิธีการเดินสายของชั้นลอยทางเทคนิคในห้องคลีนรูมไม่ได้แตกต่างจากวิธีการจ่ายไฟฟ้าที่กล่าวถึงข้างต้นมากนัก แต่ควรเน้นย้ำว่าเมื่อสายไฟและท่อส่งเคเบิลลอดผ่านฝ้าเพดาน ควรปิดผนึกเพื่อป้องกันฝุ่นและแบคทีเรียบนฝ้าเพดานไม่ให้เข้าไปในห้องคลีนรูม และรักษาแรงดันบวก (ลบ) ของห้องคลีนรูม สำหรับชั้นลอยชั้นบนของห้องคลีนรูมแบบไหลไม่ทิศทางเดียวที่มีเพียงชั้นลอยทางเทคนิคชั้นบน มักจะติดตั้งท่อระบายอากาศสำหรับเครื่องปรับอากาศ ท่อส่งก๊าซ ท่อส่งน้ำ ท่อส่งไฟฟ้าและสื่อสารแบบกระแสแรงและกระแสอ่อน สะพาน บัสบาร์ ฯลฯ และท่อมักจะไขว้กัน ซึ่งมีความซับซ้อนมาก จำเป็นต้องมีการวางแผนอย่างครอบคลุมในระหว่างการออกแบบ การกำหนด "กฎจราจร" และแบบแปลนหน้าตัดของท่ออย่างละเอียด เพื่อจัดวางท่อต่างๆ ให้เป็นระเบียบเรียบร้อย เอื้อต่อการก่อสร้างและการบำรุงรักษา ภายใต้สถานการณ์ปกติ ถาดวางสายไฟกระแสสูงควรหลีกเลี่ยงท่อเครื่องปรับอากาศ และท่ออื่นๆ ควรหลีกเลี่ยงบัสบาร์แบบปิด เมื่อชั้นลอยบนเพดานห้องคลีนรูมสูง (เช่น 2 เมตรขึ้นไป) จะต้องติดตั้งปลั๊กไฟและเต้ารับไฟฟ้าบนเพดาน และต้องติดตั้งเครื่องตรวจจับสัญญาณเตือนไฟไหม้ตามระเบียบข้อบังคับ

ชั้นลอยเทคนิคด้านบนและด้านล่าง

การเดินสายในชั้นลอยทางเทคนิคชั้นล่างของห้องคลีนรูม: ในช่วงไม่กี่ปีที่ผ่านมา ห้องคลีนรูมสำหรับการผลิตชิปวงจรรวมขนาดใหญ่และการผลิตแผง LCD มักใช้ห้องคลีนรูมแบบหลายชั้นที่มีเค้าโครงหลายชั้น และชั้นลอยทางเทคนิคชั้นบนจะตั้งไว้ที่ส่วนบนและส่วนล่างของชั้นการผลิตที่สะอาด ส่วนชั้นลอยทางเทคนิคชั้นล่างนั้น ความสูงของพื้นจะสูงกว่า 4.0 เมตร

ช่องรวมอากาศกลับ

ชั้นลอยเทคนิคด้านล่างมักใช้เป็นช่องลมกลับของระบบปรับอากาศที่ผ่านการกรองแล้ว ตามความต้องการในการออกแบบทางวิศวกรรม สามารถวางท่อไฟฟ้า ถาดสายเคเบิล และบัสบาร์แบบปิดไว้ในช่องลมกลับได้ วิธีการจ่ายไฟฟ้าแรงดันต่ำไม่ได้แตกต่างจากวิธีการเดิมมากนัก ยกเว้นว่าช่องลมกลับเป็นส่วนหนึ่งของระบบห้องสะอาด ท่อ สายเคเบิล และบัสบาร์ที่วางอยู่ในช่องลมคงที่ต้องได้รับการทำความสะอาดล่วงหน้าก่อนการติดตั้งและวาง เพื่อให้สามารถทำความสะอาดได้ทุกวัน วิธีการเดินสายไฟฟ้าแบบชั้นลอยเทคโนโลยีต่ำนี้จะส่งกำลังไฟฟ้าไปยังอุปกรณ์ไฟฟ้าในห้องสะอาด ระยะการส่งสัญญาณสั้น และมีท่อที่โผล่ออกมาน้อยมากหรือไม่มีเลยในห้องสะอาด ซึ่งเป็นประโยชน์ต่อการปรับปรุงความสะอาด

ห้องคลีนรูมแบบอุโมงค์

ชั้นลอยชั้นล่างของห้องสะอาดและสายไฟที่ชั้นบนและชั้นล่างของห้องสะอาดหลายชั้นตั้งอยู่ในห้องสะอาด (Clean Workshop) ซึ่งใช้ห้องสะอาดแบบอุโมงค์หรือห้องสะอาดที่มีทางเดินทางเทคนิคและปล่องทางเทคนิค เนื่องจากห้องสะอาดแบบอุโมงค์มีพื้นที่การผลิตที่สะอาดและพื้นที่อุปกรณ์เสริม และอุปกรณ์เสริมส่วนใหญ่ เช่น ปั๊มสุญญากาศ กล่องควบคุม (ตู้) ท่อส่งไฟฟ้าสาธารณะ ท่อส่งไฟฟ้า ถาดสายเคเบิล บัสบาร์แบบปิด และกล่องจ่ายไฟฟ้า (ตู้) จึงตั้งอยู่ในพื้นที่อุปกรณ์เสริม อุปกรณ์เสริมสามารถเชื่อมต่อสายไฟและสายควบคุมเข้ากับอุปกรณ์ไฟฟ้าในพื้นที่การผลิตที่สะอาดได้ง่ายขึ้น

เพลาเทคนิค

เมื่อห้องสะอาดมีทางเดินทางเทคนิคหรือปล่องเทคนิค การเดินสายไฟสามารถวางในทางเดินทางเทคนิคหรือปล่องเทคนิคที่สอดคล้องกันตามรูปแบบของกระบวนการผลิตได้ แต่ต้องคำนึงถึงพื้นที่ที่จำเป็นสำหรับการติดตั้งและการบำรุงรักษาด้วย ควรพิจารณารูปแบบ การติดตั้ง และพื้นที่บำรุงรักษาของท่ออื่นๆ และอุปกรณ์เสริมต่างๆ ที่อยู่ในอุโมงค์หรือปล่องเทคนิคเดียวกันให้ครบถ้วน ควรมีการวางแผนโดยรวมและการประสานงานอย่างครอบคลุม