โดยทั่วไปแล้ว ห้องคลีนรูมจะถูกจัดตั้งขึ้นในชั้นลอยทางเทคนิคชั้นบน ชั้นลอยทางเทคนิคชั้นล่าง ชั้นลอยทางเทคนิค หรือปล่องทางเทคนิค โดยพิจารณาจากการจัดการการไหลเวียนของอากาศและการวางท่อต่างๆ รวมถึงข้อกำหนดด้านการจัดวางระบบปรับอากาศบริสุทธิ์ เช่น ช่องจ่ายและช่องรับอากาศ อุปกรณ์ให้แสงสว่าง อุปกรณ์ตรวจจับสัญญาณเตือนภัย เป็นต้น
ชั้นลอยทางเทคนิค
ท่อร้อยสายไฟฟ้าในห้องปลอดเชื้อควรติดตั้งในชั้นลอยหรืออุโมงค์ทางเทคนิค ควรใช้สายเคเบิลที่มีควันน้อยและปราศจากฮาโลเจน ท่อร้อยสายควรทำจากวัสดุที่ไม่ติดไฟ ท่อร้อยสายไฟฟ้าในพื้นที่การผลิตที่สะอาดควรวางซ่อนไว้ และควรใช้มาตรการปิดผนึกที่เชื่อถือได้ที่ข้อต่อระหว่างช่องเปิดท่อร้อยสายไฟฟ้าและอุปกรณ์ไฟฟ้าต่างๆ ที่ติดตั้งบนผนัง วิธีการจ่ายไฟด้านบนในห้องปลอดเชื้อ: สายส่งและจ่ายไฟแรงดันต่ำโดยทั่วไปใช้สองวิธี ได้แก่ การวางสายเคเบิลข้ามไปยังกล่องจ่ายไฟ และจากกล่องจ่ายไฟไปยังอุปกรณ์ไฟฟ้า หรือการใช้ท่อบัสแบบปิดพร้อมกล่องเสียบปลั๊ก (ปิดแจ็คเมื่อไม่ใช้งาน) จากกล่องเสียบปลั๊กไปยังกล่องควบคุมไฟฟ้าของอุปกรณ์การผลิตหรือสายการผลิต วิธีการจ่ายไฟแบบหลังนี้ใช้เฉพาะในโรงงานอิเล็กทรอนิกส์ การสื่อสาร อุปกรณ์ไฟฟ้า และเครื่องจักรครบวงจรที่มีข้อกำหนดด้านความสะอาดต่ำ ซึ่งสะดวกมากสำหรับการเปลี่ยนแปลงผลิตภัณฑ์ การปรับปรุงและเปลี่ยนแปลงสายการผลิต และการโยกย้าย การเพิ่ม และการลดจำนวนอุปกรณ์การผลิต ไม่จำเป็นต้องดัดแปลงอุปกรณ์จ่ายไฟและสายไฟในโรงงาน คุณเพียงแค่ต้องย้ายกล่องเสียบปลั๊กบัสบาร์ หรือใช้กล่องเสียบปลั๊กสำรองเพื่อเดินสายไฟออกมาเท่านั้น
การเดินสายไฟชั้นลอย
การเดินสายไฟชั้นลอยทางเทคนิคในห้องปลอดเชื้อ: ควรใช้เมื่อมีชั้นลอยทางเทคนิคอยู่เหนือห้องปลอดเชื้อ หรือเมื่อมีฝ้าเพดานแขวนอยู่เหนือห้องปลอดเชื้อ ฝ้าเพดานแขวนสามารถแบ่งออกเป็นโครงสร้างหลายรูปแบบ เช่น คอนกรีตเสริมเหล็กแบบแซนด์วิช และแผ่นผนังโลหะ แผ่นผนังโลหะและฝ้าเพดานแขวนเป็นรูปแบบที่ใช้กันทั่วไปในห้องปลอดเชื้อ
การรักษาปิดผนึก
วิธีการเดินสายไฟของชั้นลอยทางเทคนิคในห้องปลอดเชื้อนั้นไม่แตกต่างจากวิธีการจ่ายไฟที่กล่าวมาข้างต้นมากนัก แต่ควรเน้นย้ำว่าเมื่อสายไฟและท่อสายเคเบิลผ่านเพดาน ควรปิดผนึกเพื่อป้องกันฝุ่นและแบคทีเรียในเพดานเข้าสู่ห้องปลอดเชื้อ และรักษาความดันบวก (ลบ) ของห้องปลอดเชื้อ สำหรับชั้นลอยด้านบนของห้องปลอดเชื้อแบบไหลเวียนไม่สม่ำเสมอ ซึ่งมีเพียงชั้นลอยทางเทคนิคด้านบนเท่านั้น มักจะมีการวางท่อระบายอากาศ ท่อก๊าซ ท่อน้ำ ท่อไฟฟ้าและท่อสื่อสารทั้งกระแสแรงและกระแสอ่อน สะพาน บัสบาร์ ฯลฯ และท่อต่างๆ มักจะไขว้กันไปมา ทำให้มีความซับซ้อนมาก จำเป็นต้องมีการวางแผนอย่างครอบคลุมในระหว่างการออกแบบ กำหนด "กฎจราจร" และต้องมีแบบร่างหน้าตัดของท่ออย่างละเอียดเพื่อจัดเรียงท่อต่างๆ อย่างเป็นระเบียบเพื่ออำนวยความสะดวกในการก่อสร้างและการบำรุงรักษา ภายใต้สถานการณ์ปกติ รางวางสายเคเบิลที่มีกระแสไฟฟ้าแรงสูงควรหลีกเลี่ยงท่อระบายอากาศ และท่ออื่นๆ ควรหลีกเลี่ยงบัสบาร์แบบปิด เมื่อชั้นลอยบนเพดานห้องคลีนรูมสูง (เช่น 2 เมตรขึ้นไป) จะต้องติดตั้งไฟส่องสว่างและปลั๊กไฟสำหรับงานบำรุงรักษาไว้บนเพดาน และต้องติดตั้งอุปกรณ์ตรวจจับสัญญาณเตือนไฟไหม้ตามข้อกำหนดด้วย
ชั้นลอยทางเทคนิคชั้นบนและชั้นล่าง
การเดินสายไฟในชั้นลอยทางเทคนิคชั้นล่างของห้องคลีนรูม: ในช่วงไม่กี่ปีมานี้ ห้องคลีนรูมสำหรับการผลิตชิปวงจรรวมขนาดใหญ่และการผลิตแผง LCD มักใช้ห้องคลีนรูมแบบหลายชั้นที่มีการจัดวางแบบหลายชั้น โดยมีการตั้งชั้นลอยทางเทคนิคชั้นบนไว้ที่ส่วนบนและล่างของชั้นการผลิตคลีนรูม ส่วนชั้นลอยทางเทคนิคชั้นล่างนั้น ความสูงของพื้นจะอยู่ที่ 4.0 เมตรขึ้นไป
ช่องส่งอากาศกลับ
ชั้นลอยทางเทคนิคด้านล่างมักใช้เป็นช่องรับอากาศกลับของระบบปรับอากาศบริสุทธิ์ ตามความต้องการของการออกแบบทางวิศวกรรม ท่อไฟฟ้า รางสายเคเบิล และบัสบาร์แบบปิดสามารถวางไว้ในช่องรับอากาศกลับได้ วิธีการจ่ายไฟแรงดันต่ำไม่แตกต่างจากวิธีการก่อนหน้านี้มากนัก ยกเว้นว่าช่องรับอากาศกลับเป็นส่วนหนึ่งของระบบห้องปลอดเชื้อ ท่อ สายเคเบิล และบัสบาร์ที่วางในช่องรับอากาศกลับจะต้องทำความสะอาดล่วงหน้าก่อนการติดตั้งและใช้งาน เพื่อความสะดวกในการทำความสะอาดประจำวัน วิธีการเดินสายไฟฟ้าในชั้นลอยทางเทคนิคระดับต่ำจะส่งกำลังไฟฟ้าไปยังอุปกรณ์ไฟฟ้าในห้องปลอดเชื้อ ระยะการส่งสั้น และมีท่อที่เปิดโล่งน้อยหรือไม่มีเลยในห้องปลอดเชื้อ ซึ่งเป็นประโยชน์ต่อการปรับปรุงความสะอาด
ห้องคลีนรูมแบบอุโมงค์
ชั้นลอยด้านล่างของห้องคลีนรูมและสายไฟฟ้าระหว่างชั้นบนและชั้นล่างของห้องคลีนรูมหลายชั้นนั้นอยู่ในโรงงานคลีนรูมที่ใช้รูปแบบห้องคลีนรูมแบบอุโมงค์หรือโรงงานคลีนรูมที่มีทางเดินและปล่องทางเทคนิค เนื่องจากห้องคลีนรูมแบบอุโมงค์นั้นจัดวางพื้นที่การผลิตที่สะอาดและพื้นที่อุปกรณ์เสริม และอุปกรณ์เสริมส่วนใหญ่ เช่น ปั๊มสุญญากาศ กล่องควบคุม (ตู้) ท่อส่งไฟฟ้า ท่อสายไฟฟ้า รางสายเคเบิล บัสบาร์แบบปิด และกล่องจ่ายไฟ (ตู้) อยู่ในพื้นที่อุปกรณ์เสริม ทำให้สามารถเชื่อมต่อสายไฟและสายควบคุมเข้ากับอุปกรณ์ไฟฟ้าในพื้นที่การผลิตที่สะอาดได้ง่ายขึ้น
เพลาทางเทคนิค
เมื่อห้องปลอดเชื้อมีทางเดินหรือปล่องทางเทคนิค การเดินสายไฟฟ้าสามารถติดตั้งในทางเดินหรือปล่องทางเทคนิคที่เหมาะสมตามผังการผลิตได้ แต่ควรคำนึงถึงพื้นที่ที่จำเป็นสำหรับการติดตั้งและบำรุงรักษาด้วย ควรพิจารณาพื้นที่สำหรับการจัดวาง ติดตั้ง และบำรุงรักษาท่อและอุปกรณ์อื่นๆ ที่อยู่ในอุโมงค์หรือปล่องทางเทคนิคเดียวกันอย่างครบถ้วน ควรมีการวางแผนโดยรวมและการประสานงานอย่างครอบคลุม
วันที่เผยแพร่: 1 พฤศจิกายน 2023
