บทนำสู่การจำแนกประเภทความสะอาดของห้องคลีนรูม

ห้องคลีนรูมคือห้องที่มีการควบคุมความเข้มข้นของอนุภาคแขวนลอยในอากาศ โครงสร้างและการใช้งานควรช่วยลดการนำเข้า การเกิด และการกักเก็บอนุภาคภายในอาคาร ควรควบคุมพารามิเตอร์อื่นๆ ที่เกี่ยวข้อง เช่น อุณหภูมิ ความชื้น และความดันภายในห้องตามความจำเป็น ห้องคลีนรูมแบ่งตามจำนวนอนุภาคที่มีขนาดอนุภาคที่กำหนดต่อหน่วยปริมาตรอากาศ โดยแบ่งตามความเข้มข้นของอนุภาคแขวนลอยในอากาศ โดยทั่วไป ยิ่งค่าน้อยเท่าใด ระดับการฟอกอากาศก็จะยิ่งสูงขึ้นเท่านั้น นั่นคือ คลาส 10 > คลาส 100 > คลาส 10000 > คลาส 100000

มาตรฐานห้องสะอาดคลาส 100 ครอบคลุมห้องปฏิบัติการ การผลิตยาปลอดเชื้อของอุตสาหกรรมยาเป็นหลัก

จำนวนสูงสุดของอนุภาคที่มีขนาดอนุภาคความสะอาดที่ใหญ่กว่าหรือเท่ากับ 0.1 ไมครอนไม่สามารถมากกว่า 100

ความแตกต่างของความดัน อุณหภูมิ และความชื้นสัมพัทธ์ 22℃±2 ความชื้นสัมพัทธ์ 55%±5 โดยทั่วไปต้องปิดคลุมด้วย FFU และทำพื้นยกสูง มีระบบ MAU+FFU+DC รักษาแรงดันบวก และรับประกันความต่างของแรงดันห้องข้างเคียงให้อยู่ที่ประมาณ 10pa

แสงสว่าง เนื่องจากงานส่วนใหญ่ในห้องปลอดฝุ่นมีข้อกำหนดที่เข้มงวดและเป็นห้องปิด จึงมีความต้องการแสงสว่างสูงมาโดยตลอด แสงสว่างเฉพาะจุด: หมายถึงแสงสว่างที่ติดตั้งเพื่อเพิ่มความสว่างให้กับสถานที่ที่กำหนด อย่างไรก็ตาม โดยทั่วไปแล้ว แสงสว่างเฉพาะจุดจะไม่ถูกนำมาใช้เพียงอย่างเดียวในการให้แสงสว่างภายในอาคาร แสงสว่างแบบผสม: หมายถึงแสงสว่างบนพื้นผิวงานที่ผสมผสานระหว่างแสงสว่างหนึ่งและแสงสว่างเฉพาะจุด โดยแสงสว่างจากแสงสว่างทั่วไปควรคิดเป็น 10%-15% ของแสงสว่างทั้งหมด

มาตรฐานสำหรับห้องคลีนรูมคลาส 1000 คือการควบคุมจำนวนอนุภาคฝุ่นที่มีขนาดอนุภาคน้อยกว่า 0.5 ไมครอนต่อลูกบาศก์เมตร ให้น้อยกว่า 3,500 อนุภาค ซึ่งเป็นไปตามมาตรฐานสากลว่าด้วยการควบคุมฝุ่นระดับ A มาตรฐานการควบคุมฝุ่นที่ใช้ในปัจจุบันในการผลิตและแปรรูปชิประดับชิปมีข้อกำหนดด้านฝุ่นที่สูงกว่าคลาส A มาตรฐานระดับสูงนี้ส่วนใหญ่ใช้ในการผลิตชิประดับสูงบางประเภท จำนวนอนุภาคฝุ่นถูกควบคุมอย่างเข้มงวดให้ไม่เกิน 1,000 อนุภาคต่อลูกบาศก์เมตร ซึ่งโดยทั่วไปเรียกว่าคลาส 1000 ในอุตสาหกรรมห้องคลีนรูม

สำหรับโรงงานที่สะอาดและปราศจากฝุ่นส่วนใหญ่ เพื่อป้องกันการบุกรุกจากมลภาวะภายนอก จำเป็นต้องรักษาแรงดันภายใน (แรงดันสถิต) ให้สูงกว่าแรงดันภายนอก (แรงดันสถิต) โดยทั่วไป การรักษาความแตกต่างของแรงดันควรเป็นไปตามหลักการต่อไปนี้: แรงดันของพื้นที่สะอาดควรสูงกว่าพื้นที่ที่ไม่สะอาด แรงดันของพื้นที่ที่มีระดับความสะอาดสูงควรสูงกว่าพื้นที่ที่อยู่ติดกันซึ่งมีระดับความสะอาดต่ำ และควรเปิดประตูระหว่างห้องสะอาดที่เชื่อมต่อกันไปยังห้องที่มีระดับความสะอาดสูง การรักษาความแตกต่างของแรงดันขึ้นอยู่กับปริมาณอากาศบริสุทธิ์ ซึ่งควรจะสามารถชดเชยปริมาณอากาศที่รั่วออกจากช่องว่างภายใต้ความแตกต่างของแรงดันนี้ได้ ดังนั้น ความหมายทางกายภาพของความแตกต่างของแรงดันคือความต้านทานของปริมาณอากาศที่รั่ว (หรือการแทรกซึม) เมื่อผ่านช่องว่างต่างๆ ในห้องสะอาด

ห้องสะอาดคลาส 10000 หมายถึง จำนวนอนุภาคฝุ่นที่มีขนาดใหญ่กว่าหรือเท่ากับ 0.5 ไมโครเมตร มากกว่า 35,000 อนุภาค/ลูกบาศก์เมตร (35 อนุภาค/ลูกบาศก์เมตร) ถึงน้อยกว่าหรือเท่ากับ 35,000 อนุภาค/ลูกบาศก์เมตร (350 อนุภาค/ลูกบาศก์เมตร) และจำนวนอนุภาคฝุ่นที่มีขนาดใหญ่กว่าหรือเท่ากับ 5 ไมโครเมตร มากกว่า 300 อนุภาค/ลูกบาศก์เมตร (0.3 อนุภาค) ถึงน้อยกว่าหรือเท่ากับ 3,000 อนุภาค/ลูกบาศก์เมตร (3 อนุภาค) การควบคุมความแตกต่างของความดันและการควบคุมอุณหภูมิและความชื้น

ระบบควบคุมคอยล์แห้งสำหรับอุณหภูมิและความชื้น กล่องปรับอากาศจะปรับปริมาณน้ำที่ไหลเข้าของคอยล์โดยควบคุมการเปิดวาล์วสามทางผ่านสัญญาณที่ตรวจจับได้

ห้องสะอาดระดับ 100,000 หมายถึง การควบคุมปริมาณอนุภาคต่อลูกบาศก์เมตรในโรงงานทำงานให้อยู่ในเกณฑ์ 100,000 โรงงานผลิตของห้องสะอาดนี้ส่วนใหญ่ใช้ในอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์และอุตสาหกรรมยา การมีโรงงานผลิตระดับ 100,000 ถือเป็นเรื่องที่ดีสำหรับอุตสาหกรรมอาหาร ห้องสะอาดระดับ 100,000 จำเป็นต้องมีการหมุนเวียนอากาศ 15-19 ครั้งต่อชั่วโมง หลังจากระบายอากาศเต็มที่แล้ว เวลาในการฟอกอากาศต้องไม่เกิน 40 นาที

ความแตกต่างของความดันของห้องสะอาดที่มีระดับความสะอาดเท่ากันต้องคงที่ ความแตกต่างของความดันระหว่างห้องสะอาดที่อยู่ติดกันซึ่งมีระดับความสะอาดต่างกันต้องอยู่ที่ 5 ปาสกาล และความแตกต่างของความดันระหว่างห้องสะอาดและห้องที่ไม่สะอาดต้องมากกว่า 10 ปาสกาล

อุณหภูมิและความชื้น หากไม่มีข้อกำหนดพิเศษสำหรับอุณหภูมิและความชื้นในห้องคลีนรูมระดับ 100,000 ขอแนะนำให้สวมใส่เสื้อผ้าทำงานที่สะอาดโดยไม่รู้สึกอึดอัด โดยทั่วไปอุณหภูมิจะควบคุมไว้ที่ 20-22 องศาเซลเซียสในฤดูหนาวและ 24-26 องศาเซลเซียสในฤดูร้อน โดยมีความผันผวน ±2 องศาเซลเซียส ความชื้นของห้องคลีนรูมในฤดูหนาวควบคุมไว้ที่ 30-50% และความชื้นของห้องคลีนรูมในฤดูร้อนควบคุมไว้ที่ 50-70% ค่าความสว่างของห้องผลิตหลักในห้องคลีนรูม (พื้นที่) โดยทั่วไปควรมากกว่า 300 ลักซ์: ค่าความสว่างของสตูดิโอเสริม ห้องฟอกอากาศและวัสดุ ห้องปรับอากาศ ทางเดิน ฯลฯ ควรอยู่ที่ 200-300 ลิตร