เรื่องที่ต้องใส่ใจในการปรับปรุงห้องคลีนรูม

1: การเตรียมการก่อสร้าง

1) การตรวจสอบสภาพ ณ สถานที่

① ยืนยันการรื้อถอน การเก็บรักษา และการทำเครื่องหมายของสิ่งอำนวยความสะดวกเดิม หารือถึงวิธีการจัดการและขนส่งวัตถุที่รื้อถอน

② ยืนยันวัตถุที่ได้รับการเปลี่ยนแปลง ถอดประกอบ และคงไว้ในท่อลมและท่อต่างๆ เดิม และทำเครื่องหมายไว้ กำหนดทิศทางของท่อลมและท่อต่างๆ และเน้นย้ำถึงความเหมาะสมในการใช้งานอุปกรณ์เสริมของระบบ ฯลฯ

③ ยืนยันตำแหน่งหลังคาและพื้นของสิ่งอำนวยความสะดวกที่จะปรับปรุงและสิ่งอำนวยความสะดวกขนาดใหญ่ที่จะเพิ่ม และยืนยันความสามารถในการรองรับที่เกี่ยวข้อง ผลกระทบต่อสิ่งแวดล้อมโดยรอบ ฯลฯ เช่น หอคอยหล่อเย็น ตู้เย็น หม้อแปลง อุปกรณ์บำบัดสารอันตราย ฯลฯ

2) การตรวจสอบสถานะโครงการเดิม

① ตรวจสอบระนาบหลักและขนาดเชิงพื้นที่ของโครงการที่มีอยู่ ใช้เครื่องมือที่เกี่ยวข้องเพื่อทำการวัดที่จำเป็น และเปรียบเทียบและตรวจยืนยันกับข้อมูลที่เสร็จสมบูรณ์

② ประเมินปริมาณงานของสิ่งอำนวยความสะดวกและท่อส่งต่างๆ ที่ต้องรื้อถอน รวมถึงมาตรการและปริมาณงานที่ต้องใช้ในการขนส่งและบำบัด

③ ยืนยันแหล่งจ่ายไฟฟ้าและเงื่อนไขอื่นๆ ในระหว่างกระบวนการก่อสร้าง และขอบเขตของการรื้อถอนระบบไฟฟ้าเดิม และทำเครื่องหมายไว้

④ประสานงานขั้นตอนการก่อสร้างปรับปรุงและมาตรการการจัดการความปลอดภัย

3) การเตรียมตัวก่อนเริ่มงาน

① โดยปกติช่วงเวลาการปรับปรุงจะสั้น ดังนั้นควรสั่งซื้ออุปกรณ์และวัสดุล่วงหน้าเพื่อให้แน่ใจว่าการก่อสร้างจะราบรื่นเมื่อเริ่มก่อสร้าง

② วาดเส้นฐาน โดยรวมถึงเส้นฐานของแผงผนังห้องคลีนรูม เพดาน ท่ออากาศหลัก และท่อส่งที่สำคัญ

③ กำหนดสถานที่จัดเก็บวัสดุต่างๆ และสถานที่แปรรูปในสถานที่ที่จำเป็น

④ จัดเตรียมแหล่งจ่ายไฟฟ้า แหล่งน้ำ และแหล่งก๊าซชั่วคราวสำหรับการก่อสร้าง

⑤ จัดเตรียมสิ่งอำนวยความสะดวกในการดับเพลิงและสิ่งอำนวยความสะดวกด้านความปลอดภัยอื่นๆ ที่จำเป็นในสถานที่ก่อสร้าง ดำเนินการให้ความรู้ด้านความปลอดภัยแก่คนงานก่อสร้าง และปฏิบัติตามกฎระเบียบความปลอดภัย ฯลฯ

6. เพื่อให้แน่ใจถึงคุณภาพของการก่อสร้างห้องคลีนรูม เจ้าหน้าที่ก่อสร้างควรได้รับการสอนความรู้ทางเทคนิคเกี่ยวกับห้องคลีนรูม ข้อกำหนดที่เกี่ยวข้องกับความปลอดภัย และข้อกำหนดเฉพาะตามเงื่อนไขเฉพาะของการปรับปรุงห้องคลีนรูม และกำหนดข้อกำหนดและระเบียบข้อบังคับที่จำเป็นสำหรับเครื่องแต่งกาย การติดตั้งเครื่องจักร อุปกรณ์ทำความสะอาด และอุปกรณ์ด้านความปลอดภัยฉุกเฉิน

2: ระยะการก่อสร้าง

1) โครงการรื้อถอน

① พยายามอย่าใช้ปฏิบัติการ "ดับเพลิง" โดยเฉพาะอย่างยิ่งเมื่อต้องรื้อถอนท่อส่งสารไวไฟ วัตถุระเบิด สารกัดกร่อน และสารพิษ รวมถึงท่อระบายไอเสีย หากจำเป็นต้องใช้ปฏิบัติการ "ดับเพลิง" ให้ยืนยันหลังจาก 1 ชั่วโมง เฉพาะเมื่อไม่มีปัญหาใดๆ เกิดขึ้นเท่านั้นจึงจะสามารถเปิดฉากได้

② สำหรับงานรื้อถอนที่อาจเกิดแรงสั่นสะเทือน เสียงดัง ฯลฯ ควรประสานงานกับฝ่ายที่เกี่ยวข้องล่วงหน้าเพื่อกำหนดระยะเวลาก่อสร้าง

③ เมื่อถอดชิ้นส่วนบางส่วนออกแล้วและยังไม่ได้ถอดชิ้นส่วนที่เหลือออกหรือยังคงต้องใช้งาน การตัดการเชื่อมต่อระบบและการทดสอบที่จำเป็น (การไหล แรงดัน ฯลฯ) ก่อนการถอดประกอบควรได้รับการจัดการอย่างเหมาะสม: เมื่อตัดการเชื่อมต่อแหล่งจ่ายไฟ ช่างไฟฟ้าที่ปฏิบัติงานจะต้องอยู่ในสถานที่เพื่อจัดการกับเรื่องที่เกี่ยวข้อง ความปลอดภัย และเรื่องการปฏิบัติงาน

2) การก่อสร้างท่อลม

① ดำเนินการก่อสร้างในสถานที่ให้สอดคล้องกับกฎระเบียบที่เกี่ยวข้องอย่างเคร่งครัด และกำหนดกฎระเบียบการก่อสร้างและความปลอดภัยตามเงื่อนไขจริงของสถานที่ปรับปรุง

② ตรวจสอบและบำรุงรักษาท่อลมที่จะติดตั้งที่ไซต์การเคลื่อนย้ายอย่างถูกต้อง รักษาความสะอาดภายในและภายนอกท่อลม และปิดผนึกทั้งสองด้านด้วยฟิล์มพลาสติก

③ การติดตั้งสลักยึดเต็นท์แบบสลักสำหรับยก อาจเกิดแรงสั่นสะเทือนได้ ดังนั้นควรประสานงานกับเจ้าของเต็นท์และบุคลากรที่เกี่ยวข้องล่วงหน้า ควรลอกฟิล์มซีลออกก่อนยกท่อลม และเช็ดทำความสะอาดภายในก่อนยก ไม่ต้องกังวลว่าชิ้นส่วนเดิมที่เสียหายได้ง่าย (เช่น ท่อพลาสติก ชั้นฉนวน ฯลฯ) จะไม่ถูกกดทับ จึงควรใช้มาตรการป้องกันที่จำเป็น

3) การก่อสร้างท่อและสายไฟ

① งานเชื่อมที่ต้องใช้กับท่อและสายไฟ ควรมีอุปกรณ์ดับเพลิง แผ่นใยหิน ฯลฯ

② ดำเนินการอย่างเคร่งครัดตามข้อกำหนดการยอมรับการก่อสร้างที่เกี่ยวข้องสำหรับระบบท่อและสายไฟ หากไม่อนุญาตให้ทดสอบด้วยระบบไฮดรอลิกใกล้พื้นที่ก่อสร้าง สามารถใช้การทดสอบแรงดันอากาศได้ แต่ควรใช้มาตรการความปลอดภัยที่เกี่ยวข้องตามข้อบังคับ

③ เมื่อทำการเชื่อมต่อกับท่อเดิม ควรมีการกำหนดมาตรการทางเทคนิคด้านความปลอดภัยไว้ล่วงหน้าทั้งก่อนและระหว่างการเชื่อมต่อ โดยเฉพาะอย่างยิ่งสำหรับการเชื่อมต่อท่อส่งก๊าซและของเหลวที่ติดไฟได้และเป็นอันตราย ในระหว่างการปฏิบัติงาน ต้องมีบุคลากรจัดการด้านความปลอดภัยจากฝ่ายที่เกี่ยวข้องอยู่ในสถานที่และจำเป็น เตรียมอุปกรณ์ดับเพลิงไว้เสมอ

④ สำหรับการก่อสร้างท่อขนส่งสื่อที่มีความบริสุทธิ์สูง นอกเหนือจากการปฏิบัติตามกฎระเบียบที่เกี่ยวข้องแล้ว ควรให้ความใส่ใจเป็นพิเศษกับการทำความสะอาด การไล่อากาศ และการทดสอบความบริสุทธิ์เมื่อเชื่อมต่อกับท่อเดิม

4) การก่อสร้างท่อส่งก๊าซพิเศษ

① สำหรับระบบท่อส่งที่ขนส่งสารพิษ ไวไฟ ระเบิด และกัดกร่อน การก่อสร้างที่ปลอดภัยจึงมีความสำคัญอย่างยิ่ง ด้วยเหตุนี้ บทบัญญัติของ "วิศวกรรมการก่อสร้างและขยายท่อส่งก๊าซพิเศษ" ในมาตรฐานแห่งชาติ "มาตรฐานทางเทคนิควิศวกรรมระบบก๊าซพิเศษ" จึงถูกอ้างอิงไว้ด้านล่าง กฎระเบียบเหล่านี้ควรได้รับการบังคับใช้อย่างเคร่งครัด ไม่เพียงแต่กับท่อส่ง "ก๊าซพิเศษ" เท่านั้น แต่ยังรวมถึงระบบท่อส่งทั้งหมดที่ขนส่งสารพิษ ไวไฟ และกัดกร่อนด้วย

② การก่อสร้างโครงการรื้อถอนท่อส่งก๊าซพิเศษต้องเป็นไปตามข้อกำหนดต่อไปนี้ หน่วยงานก่อสร้างต้องจัดทำแผนการก่อสร้างก่อนเริ่มงาน เนื้อหาควรประกอบด้วยส่วนสำคัญ ข้อควรระวังระหว่างการปฏิบัติงาน การติดตามกระบวนการปฏิบัติงานที่เป็นอันตราย แผนฉุกเฉิน หมายเลขโทรศัพท์ติดต่อฉุกเฉิน และบุคลากรผู้รับผิดชอบเฉพาะด้าน บุคลากรก่อสร้างควรได้รับข้อมูลทางเทคนิคโดยละเอียดเกี่ยวกับอันตรายที่อาจเกิดขึ้น แจ้งความจริง

③ ในกรณีที่เกิดเพลิงไหม้ การรั่วไหลของวัสดุอันตราย หรืออุบัติเหตุอื่นๆ ระหว่างการปฏิบัติงาน ต้องปฏิบัติตามคำสั่งรวมและอพยพตามลำดับเส้นทางหนีไฟ เมื่อปฏิบัติงานที่เกี่ยวข้องกับเปลวไฟ เช่น การเชื่อมโลหะในระหว่างการก่อสร้าง จะต้องได้รับใบอนุญาตดับเพลิงและใบอนุญาตใช้อุปกรณ์ป้องกันอัคคีภัยที่ออกโดยหน่วยงานก่อสร้าง

④ ควรมีมาตรการแยกตัวชั่วคราวและติดป้ายเตือนอันตรายระหว่างพื้นที่ผลิตและพื้นที่ก่อสร้าง ห้ามมิให้คนงานก่อสร้างเข้าไปในพื้นที่ที่ไม่เกี่ยวข้องกับการก่อสร้างโดยเด็ดขาด ต้องมีเจ้าหน้าที่เทคนิคจากเจ้าของโครงการและฝ่ายก่อสร้างประจำพื้นที่ก่อสร้าง การเปิด-ปิดประตูตาข่าย การปิด-เปิดไฟฟ้า และการเปลี่ยนแก๊ส จะต้องดำเนินการโดยเจ้าหน้าที่เฉพาะทางภายใต้คำแนะนำของเจ้าหน้าที่เทคนิคของเจ้าของโครงการ ห้ามดำเนินการใดๆ โดยไม่ได้รับอนุญาตโดยเด็ดขาด ในระหว่างการตัดและแปรรูป ต้องมีการกำหนดจุดตัดและจุดตัดท่อทั้งหมดอย่างชัดเจน ต้องมีการยืนยันการทำเครื่องหมายท่อโดยเจ้าของโครงการและเจ้าหน้าที่เทคนิคของฝ่ายก่อสร้าง ณ สถานที่ก่อสร้าง เพื่อป้องกันการทำงานผิดพลาด

5) ก่อนการก่อสร้าง ควรเปลี่ยนก๊าซพิเศษในท่อด้วยไนโตรเจนบริสุทธิ์สูง และทำการระบายก๊าซออกจากระบบท่อ ก๊าซที่เปลี่ยนใหม่จะต้องผ่านกระบวนการบำบัดด้วยอุปกรณ์บำบัดก๊าซไอเสีย และปล่อยออกหลังจากผ่านมาตรฐานแล้ว ท่อที่ปรับปรุงแล้วควรเติมไนโตรเจนความดันต่ำก่อนการตัด และดำเนินการภายใต้แรงดันบวกในท่อ

6. หลังจากการก่อสร้างเสร็จสมบูรณ์และการทดสอบมีคุณสมบัติแล้ว ควรเปลี่ยนอากาศในระบบท่อด้วยไนโตรเจนและอพยพท่อออก

3: การตรวจสอบการก่อสร้าง การยอมรับ และการดำเนินการทดลอง

① การยอมรับการก่อสร้างห้องคลีนรูมที่ได้รับการปรับปรุงเสร็จสมบูรณ์ ขั้นแรก แต่ละส่วนจะต้องได้รับการตรวจสอบและยอมรับตามมาตรฐานและข้อกำหนดที่เกี่ยวข้อง สิ่งที่ต้องเน้นย้ำในที่นี้คือการตรวจสอบและยอมรับส่วนที่เกี่ยวข้องของอาคารและระบบเดิม การตรวจสอบและยอมรับบางส่วนเพียงอย่างเดียวไม่สามารถพิสูจน์ได้ว่าเป็นไปตามข้อกำหนด "เป้าหมายการปรับปรุง" การตรวจสอบและยอมรับบางส่วนยังต้องผ่านการตรวจสอบผ่านการทดลองใช้งานด้วย ดังนั้น การยอมรับการก่อสร้างจึงไม่เพียงแต่ต้องเสร็จสมบูรณ์เท่านั้น แต่ยังต้องให้หน่วยงานก่อสร้างทำงานร่วมกับเจ้าของโครงการเพื่อดำเนินการทดลองใช้งานด้วย

② การทดลองใช้งานห้องสะอาดที่ปรับปรุงแล้ว ระบบ สิ่งอำนวยความสะดวก และอุปกรณ์ที่เกี่ยวข้องทั้งหมดที่เกี่ยวข้องกับการแปลงสภาพควรได้รับการทดสอบทีละระบบตามมาตรฐานและข้อกำหนดที่เกี่ยวข้อง และสอดคล้องกับเงื่อนไขเฉพาะของโครงการ ควรกำหนดแนวทางและข้อกำหนดในการทดลองใช้งาน ในระหว่างการทดลองใช้งาน ควรให้ความสำคัญเป็นพิเศษกับการตรวจสอบส่วนเชื่อมต่อกับระบบเดิม ระบบท่อที่เพิ่มเข้ามาใหม่ต้องไม่ก่อให้เกิดมลภาวะแก่ระบบเดิม ต้องมีการตรวจสอบและทดสอบก่อนการเชื่อมต่อ และควรมีมาตรการป้องกันที่จำเป็นระหว่างการเชื่อมต่อ การทดสอบหลังจากการเชื่อมต่อแล้ว จะต้องตรวจสอบและทดสอบการทำงานอย่างรอบคอบ และการทดลองใช้งานจะเสร็จสมบูรณ์ได้ก็ต่อเมื่อเป็นไปตามข้อกำหนดแล้วเท่านั้น