ลักษณะโดยรวมของห้องคลีนรูมสำหรับผลิตชิปที่มีความสะอาดสูง

1. ลักษณะการออกแบบ

เนื่องจากข้อกำหนดด้านการทำงาน การย่อขนาด การรวมระบบ และความแม่นยำของผลิตภัณฑ์ชิป ข้อกำหนดด้านการออกแบบห้องปลอดฝุ่นสำหรับการผลิตชิปจึงแตกต่างอย่างมากจากโรงงานทั่วไป

(1) ข้อกำหนดด้านความสะอาด: สภาพแวดล้อมการผลิตชิปมีข้อกำหนดการควบคุมที่เข้มงวดสำหรับจำนวนอนุภาคในอากาศ

(2) ข้อกำหนดเรื่องความแน่นหนาของอากาศ: ลดช่องว่างโครงสร้างและเสริมความแน่นหนาของอากาศของโครงสร้างช่องว่างเพื่อลดผลกระทบจากการรั่วไหลของอากาศหรือมลพิษให้น้อยที่สุด

(3) ข้อกำหนดของระบบโรงงาน: ระบบพลังงานและระบบไฟฟ้าเครื่องกลพิเศษต้องตอบสนองความต้องการของเครื่องจักรในกระบวนการ เช่น ก๊าซพิเศษ สารเคมี น้ำเสียบริสุทธิ์ เป็นต้น

(4) ข้อกำหนดการป้องกันการสั่นสะเทือนขนาดเล็ก: การประมวลผลชิปต้องการความแม่นยำสูง และจำเป็นต้องลดผลกระทบของการสั่นสะเทือนต่ออุปกรณ์

(5) ข้อกำหนดด้านพื้นที่: แผนผังโรงงานเรียบง่าย มีการแบ่งส่วนการทำงานที่ชัดเจน ท่อส่งที่ซ่อนอยู่ และการจัดสรรพื้นที่ที่เหมาะสม ซึ่งช่วยให้มีความยืดหยุ่นในการปรับปรุงกระบวนการผลิตและอุปกรณ์

2. เน้นด้านการก่อสร้าง

(1) ระยะเวลาก่อสร้างที่กระชับขึ้น ตามกฎของมัวร์ ความหนาแน่นของการรวมชิปจะเพิ่มขึ้นเป็นสองเท่าทุกๆ 18 ถึง 24 เดือนโดยเฉลี่ย ด้วยการอัปเดตและการพัฒนาผลิตภัณฑ์อิเล็กทรอนิกส์ ความต้องการโรงงานผลิตก็จะได้รับการอัปเดตเช่นกัน เนื่องจากผลิตภัณฑ์อิเล็กทรอนิกส์มีการอัปเดตอย่างรวดเร็ว อายุการใช้งานจริงของโรงงานทำความสะอาดอิเล็กทรอนิกส์จึงมีเพียง 10 ถึง 15 ปีเท่านั้น

(2) ข้อกำหนดด้านการจัดการทรัพยากรที่สูงขึ้น ห้องคลีนรูมอิเล็กทรอนิกส์โดยทั่วไปมีปริมาณการก่อสร้างขนาดใหญ่ ระยะเวลาก่อสร้างที่จำกัด กระบวนการที่สลับซับซ้อน การหมุนเวียนทรัพยากรทำได้ยาก และมีการใช้ทรัพยากรหลักที่เข้มข้นมากขึ้น การจัดการทรัพยากรที่เข้มงวดเช่นนี้ส่งผลให้เกิดแรงกดดันสูงต่อการจัดการแผนโดยรวมและข้อกำหนดด้านการจัดการทรัพยากรที่สูง ในขั้นตอนการวางรากฐานและขั้นตอนหลัก ส่วนใหญ่จะสะท้อนให้เห็นในด้านแรงงาน เหล็กเส้น คอนกรีต วัสดุโครงสร้าง เครื่องจักรยก ฯลฯ ในขั้นตอนการติดตั้งระบบไฟฟ้าและเครื่องกล การตกแต่ง และอุปกรณ์ ส่วนใหญ่จะสะท้อนให้เห็นในด้านข้อกำหนดของสถานที่ ท่อต่างๆ และวัสดุเสริมสำหรับเครื่องจักรกลก่อสร้าง อุปกรณ์พิเศษ ฯลฯ

(3) ข้อกำหนดคุณภาพการก่อสร้างที่สูงส่วนใหญ่สะท้อนให้เห็นในสามด้านหลัก ได้แก่ ความเรียบ ความแน่นหนาของอากาศ และการก่อสร้างที่มีฝุ่นน้อย นอกจากการปกป้องอุปกรณ์ที่มีความแม่นยำจากความเสียหายจากสิ่งแวดล้อม การสั่นสะเทือนภายนอก และการสะท้อนของสิ่งแวดล้อมแล้ว ความเสถียรของตัวอุปกรณ์เองก็มีความสำคัญเช่นกัน ดังนั้น ข้อกำหนดความเรียบของพื้นจึงอยู่ที่ 2 มม./2 ม. การรับรองความแน่นหนาของอากาศมีบทบาทสำคัญในการรักษาความแตกต่างของความดันระหว่างพื้นที่สะอาดต่างๆ และควบคุมแหล่งกำเนิดมลพิษ ควบคุมการทำความสะอาดห้องสะอาดอย่างเข้มงวดก่อนติดตั้งอุปกรณ์กรองอากาศและปรับอากาศ และควบคุมจุดที่มีโอกาสเกิดฝุ่นในระหว่างการเตรียมการก่อสร้างและการก่อสร้างหลังการติดตั้ง

(4) ข้อกำหนดที่เข้มงวดสำหรับการจัดการและการประสานงานผู้รับเหมาช่วง กระบวนการก่อสร้างห้องคลีนรูมอิเล็กทรอนิกส์มีความซับซ้อน มีความเชี่ยวชาญสูง เกี่ยวข้องกับผู้รับเหมาช่วงเฉพาะทางจำนวนมาก และมีการดำเนินงานข้ามสาขาที่หลากหลาย ดังนั้นจึงจำเป็นต้องประสานงานกระบวนการและพื้นที่ทำงานของแต่ละสาขา ลดการดำเนินงานข้ามสาขา เข้าใจความต้องการที่แท้จริงของการส่งมอบงานระหว่างสาขา และดำเนินการประสานงานและจัดการที่ดีโดยผู้รับเหมาหลัก