ลักษณะโดยรวมของห้องคลีนรูมชิปที่มีความสะอาดสูง

1. ลักษณะการออกแบบ

เนื่องจากข้อกำหนดด้านการทำงาน การจำลองขนาดเล็ก การผสานรวม และความแม่นยำของผลิตภัณฑ์ชิป ข้อกำหนดด้านการออกแบบห้องคลีนรูมสำหรับการผลิตและการผลิตจึงแตกต่างอย่างมากจากโรงงานทั่วไป

(1) ข้อกำหนดด้านความสะอาด: สภาพแวดล้อมการผลิตชิปมีข้อกำหนดการควบคุมสูงสำหรับจำนวนอนุภาคอากาศ

(2) ข้อกำหนดด้านความหนาแน่นของอากาศ: ลดช่องว่างโครงสร้างและเสริมความหนาแน่นของอากาศของโครงสร้างช่องว่างเพื่อลดผลกระทบจากการรั่วไหลของอากาศหรือมลพิษ

(3) ข้อกำหนดของระบบโรงงาน: ระบบไฟฟ้าพิเศษและระบบเครื่องกลไฟฟ้าตอบสนองความต้องการของเครื่องจักรกระบวนการ เช่น ก๊าซพิเศษ สารเคมี น้ำเสียบริสุทธิ์ ฯลฯ

(4) ข้อกำหนดป้องกันการสั่นสะเทือนขนาดเล็ก: การประมวลผลชิปต้องมีความแม่นยำสูง และต้องลดผลกระทบของการสั่นสะเทือนต่ออุปกรณ์

(5) ความต้องการพื้นที่: แผนผังพื้นโรงงานนั้นเรียบง่าย โดยมีการแบ่งส่วนการทำงานที่ชัดเจน ท่อส่งที่ซ่อนอยู่ และการกระจายพื้นที่ที่เหมาะสม ซึ่งช่วยให้มีความยืดหยุ่นในการอัปเดตกระบวนการผลิตและอุปกรณ์

2. การมุ่งเน้นการก่อสร้าง

(1) ระยะเวลาการก่อสร้างที่กระชับขึ้น ตามกฎของมัวร์ ความหนาแน่นของการรวมชิปจะเพิ่มขึ้นเป็นสองเท่าโดยเฉลี่ยทุกๆ 18 ถึง 24 เดือน เมื่อมีการปรับปรุงและทำซ้ำผลิตภัณฑ์อิเล็กทรอนิกส์ ความต้องการโรงงานผลิตก็จะเพิ่มขึ้นตามไปด้วย เนื่องจากการปรับปรุงผลิตภัณฑ์อิเล็กทรอนิกส์อย่างรวดเร็ว อายุการใช้งานจริงของโรงงานอิเล็กทรอนิกส์สะอาดจึงอยู่ที่เพียง 10 ถึง 15 ปีเท่านั้น

(2) ความต้องการการจัดการทรัพยากรที่สูงขึ้น ห้องคลีนรูมอิเล็กทรอนิกส์โดยทั่วไปจะมีปริมาณการก่อสร้างสูง ระยะเวลาก่อสร้างที่จำกัด กระบวนการที่กระจัดกระจายอย่างใกล้ชิด การหมุนเวียนทรัพยากรที่ยาก และการใช้วัสดุหลักที่เข้มข้นขึ้น การจัดการทรัพยากรที่จำกัดเช่นนี้ส่งผลให้เกิดแรงกดดันสูงต่อการจัดการแผนโดยรวมและความต้องการการจัดการทรัพยากรที่สูง ในขั้นตอนฐานรากและขั้นตอนหลัก ความต้องการเหล่านี้ส่วนใหญ่มาจากแรงงาน เหล็กเส้น คอนกรีต วัสดุโครงสร้าง เครื่องจักรยก ฯลฯ ในขั้นตอนระบบไฟฟ้าเครื่องกล การตกแต่ง และการติดตั้งอุปกรณ์ ส่วนใหญ่มาจากข้อกำหนดของสถานที่ ท่อต่างๆ และวัสดุเสริมสำหรับเครื่องจักรก่อสร้าง อุปกรณ์พิเศษ ฯลฯ

(3) ข้อกำหนดด้านคุณภาพการก่อสร้างระดับสูงสะท้อนให้เห็นเป็นหลักในสามด้าน ได้แก่ ความเรียบ ความแน่นหนาของอากาศ และการก่อสร้างที่มีฝุ่นน้อย นอกจากการปกป้องอุปกรณ์ที่มีความแม่นยำสูงจากความเสียหายจากสภาพแวดล้อม การสั่นสะเทือนจากภายนอก และเสียงสะท้อนจากสภาพแวดล้อมแล้ว ความเสถียรของตัวอุปกรณ์ก็มีความสำคัญไม่แพ้กัน ดังนั้น ข้อกำหนดด้านความเรียบของพื้นจึงอยู่ที่ 2 มม./2 ม. การรับรองความแน่นหนาของอากาศมีบทบาทสำคัญในการรักษาความแตกต่างของแรงดันระหว่างพื้นที่สะอาดต่างๆ และควบคุมแหล่งกำเนิดมลพิษ ควรควบคุมการทำความสะอาดห้องสะอาดอย่างเคร่งครัดก่อนการติดตั้งอุปกรณ์กรองอากาศและเครื่องปรับอากาศ และควบคุมจุดเชื่อมต่อที่มีโอกาสเกิดฝุ่นระหว่างการเตรียมการก่อสร้างและการก่อสร้างหลังการติดตั้ง

(4) ความต้องการสูงสำหรับการจัดการและประสานงานสัญญาช่วง กระบวนการก่อสร้างห้องสะอาดอิเล็กทรอนิกส์มีความซับซ้อน มีความเชี่ยวชาญเฉพาะด้านสูง เกี่ยวข้องกับผู้รับเหมาช่วงเฉพาะทางจำนวนมาก และมีการทำงานข้ามสายงานระหว่างสาขาต่างๆ อย่างกว้างขวาง ดังนั้น จึงจำเป็นต้องประสานงานกระบวนการและพื้นผิวการทำงานของแต่ละสาขา ลดการทำงานข้ามสายงาน เข้าใจความต้องการที่แท้จริงของการส่งต่ออินเทอร์เฟซระหว่างสาขาต่างๆ และประสานงานและบริหารจัดการผู้รับเหมาทั่วไปให้มีประสิทธิภาพ