ข้อกำหนดการฟอกอากาศของบุคลากรสำหรับห้องสะอาดอิเล็กทรอนิกส์

1. ห้องและสิ่งอำนวยความสะดวกสำหรับการฟอกอากาศของบุคลากรควรจัดวางให้เหมาะสมกับขนาดและระดับความสะอาดของอากาศภายในห้องสะอาด และควรจัดห้องนั่งเล่น

2. ห้องชำระล้างร่างกายของบุคลากรควรจัดให้เหมาะสมกับความต้องการในการเปลี่ยนรองเท้า เปลี่ยนเสื้อผ้าภายนอก ทำความสะอาดเสื้อผ้าทำงาน ฯลฯ ห้องนั่งเล่น เช่น ห้องเก็บชุดกันฝน ห้องน้ำ ห้องซักล้าง ห้องอาบน้ำ และห้องพักผ่อน รวมถึงห้องอื่นๆ เช่น ห้องอาบน้ำแบบปรับอากาศ ห้องปรับอากาศ ห้องซักเสื้อผ้าทำงานสะอาด และห้องอบแห้ง สามารถจัดได้ตามความต้องการ

3. พื้นที่ก่อสร้างห้องฟอกอากาศสำหรับบุคลากรและห้องนั่งเล่นในห้องสะอาด ควรพิจารณาจากขนาดของห้องสะอาด ระดับความสะอาดของอากาศ และจำนวนบุคลากรในห้องสะอาด โดยพิจารณาจากจำนวนบุคลากรเฉลี่ยที่ออกแบบไว้ในห้องสะอาด

4. การจัดห้องฟอกอากาศของบุคลากรและห้องนั่งเล่น ควรเป็นไปตามข้อกำหนดดังต่อไปนี้:

(1) สิ่งอำนวยความสะดวกในการทำความสะอาดรองเท้าควรอยู่บริเวณทางเข้าห้องสะอาด

(2) ห้องเปลี่ยนเสื้อผ้าและห้องเปลี่ยนเสื้อผ้าที่สะอาดไม่ควรจัดไว้ในห้องเดียวกัน

(3) ตู้เก็บเสื้อโค้ทควรจัดวางให้เหมาะสมกับจำนวนคนในห้องคลีนรูมที่ออกแบบไว้

(4) ควรจัดให้มีสถานที่จัดเก็บเสื้อผ้าให้สามารถเก็บเสื้อผ้าทำงานที่สะอาดและมีเครื่องฟอกอากาศ

(5) ควรติดตั้งอุปกรณ์ซักและอบมือแบบเหนี่ยวนำ

(6) ควรติดตั้งห้องน้ำก่อนเข้าห้องชำระล้างร่างกาย หากจำเป็นต้องติดตั้งในห้องชำระล้างร่างกาย ควรจัดห้องด้านหน้าไว้

5. การออกแบบห้องอาบน้ำอากาศในห้องคลีนรูมควรเป็นไปตามข้อกำหนดต่อไปนี้:

① ควรติดตั้งฝักบัวลมที่ทางเข้าห้องสะอาด หากไม่มีฝักบัวลม ควรติดตั้งห้องล็อคลม

② ควรตั้งฝักบัวอาบน้ำในบริเวณใกล้เคียงหลังจากเปลี่ยนเสื้อผ้าทำงานที่สะอาดแล้ว

③ ควรมีห้องอาบน้ำแบบเป่าลมสำหรับ 1 คนต่อ 1 ห้อง ต่อจำนวนคนสูงสุด 30 คน ในกรณีที่มีพนักงานมากกว่า 5 คนในห้องสะอาด ควรติดตั้งประตูบายพาสทางเดียวที่ด้านใดด้านหนึ่งของห้องอาบน้ำแบบเป่าลม

④ทางเข้าและทางออกของฝักบัวลมจะต้องไม่เปิดในเวลาเดียวกัน และควรใช้มาตรการควบคุมโซ่

⑤ สำหรับห้องสะอาดที่มีการไหลแบบทิศทางเดียวแนวตั้งที่มีระดับความสะอาดของอากาศที่ ISO 5 หรือเข้มงวดกว่า ISO 5 ควรติดตั้งห้องแอร์ล็อค

6. ระดับความสะอาดของอากาศในห้องฟอกอากาศของบุคลากรและห้องนั่งเล่นควรได้รับการทำความสะอาดจากภายนอกสู่ภายในอย่างค่อยเป็นค่อยไป และอากาศสะอาดที่ผ่านการกรองด้วยตัวกรองอากาศ HEPA ก็สามารถส่งเข้าสู่ห้องสะอาดได้

ระดับความสะอาดของอากาศในห้องเปลี่ยนเสื้อผ้าทำงานที่สะอาดควรต่ำกว่าระดับความสะอาดของอากาศในห้องสะอาดที่อยู่ติดกัน ในกรณีที่มีห้องซักเสื้อผ้าทำงานที่สะอาด ระดับความสะอาดของอากาศในห้องซักผ้าควรเป็น ISO 8