การกระจายพลังงานและการเดินสายไฟในห้องคลีนรูม

ควรวางสายไฟในบริเวณที่สะอาดและบริเวณที่ไม่สะอาดแยกกัน ควรวางสายไฟฟ้าในพื้นที่การผลิตหลักและพื้นที่การผลิตเสริมแยกกัน ควรวางสายไฟฟ้าในพื้นที่ปนเปื้อนและพื้นที่สะอาดแยกกัน ควรวางสายไฟฟ้าที่มีข้อกำหนดกระบวนการต่างกันแยกกัน

ท่อร้อยสายไฟฟ้าที่ผ่านเปลือกอาคารควรหุ้มและปิดผนึกด้วยวัสดุที่ไม่หดตัวและไม่ติดไฟ ช่องสายไฟเข้าห้องคลีนรูมควรปิดด้วยวัสดุที่ไม่กัดกร่อน ไร้ฝุ่น และไม่ติดไฟ ในสภาพแวดล้อมที่มีก๊าซไวไฟและระเบิดได้ ควรใช้และวางสายเคเบิลหุ้มฉนวนแร่แยกกัน ไม่ควรเชื่อมน็อตยึดสำหรับยึดสายส่งและอุปกรณ์กับโครงสร้างเหล็กอาคาร เส้นแยกสายดิน (PE) หรือการเชื่อมต่อเป็นศูนย์ (PEN) ของสายจำหน่ายการก่อสร้างจะต้องเชื่อมต่อกับสายหลักที่เกี่ยวข้องแยกกันและต้องไม่เชื่อมต่อแบบอนุกรม

ไม่ควรเชื่อมท่อร้อยสายหรือรางสายไฟโลหะด้วยสายกราวด์จัมเปอร์ และควรเชื่อมจัมเปอร์ด้วยจุดกราวด์เฉพาะ ควรเพิ่มปลอกเหล็กในบริเวณที่สายดินผ่านเปลือกอาคารและพื้น และควรต่อสายดินปลอกหุ้ม เมื่อสายดินตัดผ่านรอยต่อที่เสียรูปของอาคาร ควรมีมาตรการชดเชย

ระยะห่างในการติดตั้งระหว่างศูนย์กระจายพลังงานที่ต่ำกว่า 100A ที่ใช้ในห้องสะอาดและอุปกรณ์ไม่ควรน้อยกว่า 0.6 ม. และไม่ควรน้อยกว่า 1 ม. เมื่อมากกว่า 100A ควรติดตั้งแผงสวิตช์ แผงแสดงผลการควบคุม และกล่องสวิตช์ของห้องคลีนรูมแบบฝัง ช่องว่างระหว่างพวกเขากับผนังควรทำจากโครงสร้างแก๊สและควรประสานกับการตกแต่งอาคาร ไม่ควรเปิดประตูทางเข้าของแผงสวิตช์และตู้ควบคุมในห้องสะอาด หากต้องอยู่ในห้องคลีนรูม ควรติดตั้งประตูสุญญากาศบนแผงและตู้ พื้นผิวด้านในและด้านนอกของตู้ควบคุมควรเรียบ ปราศจากฝุ่น และทำความสะอาดง่าย หากมีประตูก็ควรปิดประตูให้แน่น

ควรติดตั้งโคมไฟห้องคลีนรูมบนเพดาน เมื่อติดตั้งเพดาน รูทั้งหมดที่ผ่านเพดานควรปิดผนึกด้วยน้ำยาซีล และโครงสร้างของรูควรจะสามารถเอาชนะผลกระทบของการหดตัวของน้ำยาซีลได้ เมื่อติดตั้งแบบฝัง ควรปิดผนึกโคมไฟและแยกออกจากสภาพแวดล้อมที่ไม่สะอาด ต้องไม่มีสลักเกลียวหรือสกรูที่ลอดผ่านด้านล่างของแผงกั้นคงที่แบบไหลทิศทางเดียว

อุปกรณ์ตรวจจับอัคคีภัย ส่วนประกอบที่ไวต่ออุณหภูมิและความชื้นของเครื่องปรับอากาศ และอุปกรณ์ไฟฟ้าอื่นๆ ที่ติดตั้งในห้องคลีนรูมควรสะอาดและปราศจากฝุ่นก่อนที่จะเริ่มใช้งานระบบปรับอากาศบริสุทธิ์ ชิ้นส่วนเหล่านี้ใช้ในสภาพแวดล้อมที่ต้องทำความสะอาดหรือฆ่าเชื้อด้วยน้ำบ่อยๆ อุปกรณ์ควรใช้มาตรการกันน้ำและป้องกันการกัดกร่อน