การจ่ายไฟฟ้าและการเดินสายในห้องคลีนรูม

สายไฟฟ้าในพื้นที่สะอาดและพื้นที่ไม่สะอาดควรวางแยกจากกัน สายไฟฟ้าในพื้นที่การผลิตหลักและพื้นที่การผลิตเสริมควรวางแยกจากกัน สายไฟฟ้าในพื้นที่ปนเปื้อนและพื้นที่สะอาดควรวางแยกจากกัน สายไฟฟ้าที่มีข้อกำหนดกระบวนการต่างกันควรวางแยกจากกัน

ท่อร้อยสายไฟฟ้าที่ผ่านกรอบอาคารควรหุ้มและปิดผนึกด้วยวัสดุที่ไม่หดตัวและไม่ติดไฟ ช่องเดินสายไฟฟ้าที่เข้าสู่ห้องปลอดเชื้อควรปิดด้วยวัสดุที่ไม่กัดกร่อน ปราศจากฝุ่น และไม่ติดไฟ ในสภาพแวดล้อมที่มีก๊าซไวไฟและระเบิดได้ ควรใช้สายเคเบิลหุ้มฉนวนแร่และวางแยกต่างหาก ไม่ควรเชื่อมสลักเกลียวยึดสำหรับสายส่งและอุปกรณ์บนโครงสร้างเหล็กของอาคาร สายส่งไฟฟ้าย่อยแบบต่อลงดิน (PE) หรือแบบต่อศูนย์ (PEN) ของสายส่งไฟฟ้าในงานก่อสร้างต้องเชื่อมต่อกับสายหลักที่เกี่ยวข้องทีละเส้น และต้องไม่ต่อแบบอนุกรม

ท่อร้อยสายไฟฟ้าหรือท่อร้อยสายไฟฟ้าที่เดินด้วยลวดโลหะไม่ควรเชื่อมด้วยสายดินแบบจั๊มพ์เปอร์ แต่ควรจั๊มพ์เปอร์ด้วยจุดต่อสายดินเฉพาะ ควรติดตั้งปลอกหุ้มสายเหล็กตรงจุดที่สายดินพาดผ่านเปลือกอาคารและพื้น และปลอกหุ้มสายดินควรต่อลงดิน เมื่อสายดินพาดผ่านรอยต่อของอาคาร ควรมีการชดเชย

ระยะห่างในการติดตั้งระหว่างอุปกรณ์จ่ายไฟที่ต่ำกว่า 100A ที่ใช้ในห้องสะอาดและอุปกรณ์ต่างๆ ไม่ควรน้อยกว่า 0.6 เมตร และไม่ควรน้อยกว่า 1 เมตรเมื่อมากกว่า 100A แผงสวิตช์ แผงแสดงผลการควบคุม และกล่องสวิตช์ของห้องสะอาดควรติดตั้งแบบฝัง ช่องว่างระหว่างแผงสวิตช์และผนังควรทำด้วยโครงสร้างแก๊สและควรสอดคล้องกับการตกแต่งอาคาร ประตูทางเข้าของแผงสวิตช์และตู้ควบคุมไม่ควรเปิดในห้องสะอาด หากจำเป็นต้องติดตั้งในห้องสะอาด ควรติดตั้งประตูแบบปิดสนิทบนแผงและตู้ พื้นผิวด้านในและด้านนอกของตู้ควบคุมควรเรียบ ปราศจากฝุ่น และทำความสะอาดง่าย หากมีประตู ควรปิดประตูให้สนิท

โคมไฟสำหรับห้องคลีนรูมควรติดตั้งบนเพดาน เมื่อติดตั้งฝ้าเพดาน ควรปิดผนึกรูทั้งหมดที่ทะลุผ่านฝ้าเพดานด้วยสารซีลแลนท์ และโครงสร้างของรูควรสามารถป้องกันผลกระทบจากการหดตัวของสารซีลแลนท์ได้ เมื่อติดตั้งแบบฝัง ควรปิดผนึกโคมไฟและแยกออกจากสภาพแวดล้อมที่ไม่สะอาด ห้ามใช้สลักเกลียวหรือสกรูผ่านส่วนล่างของท่อลมสถิตแบบไหลทิศทางเดียว

เครื่องตรวจจับเพลิงไหม้ อุปกรณ์ที่ไวต่ออุณหภูมิและความชื้นของเครื่องปรับอากาศ และอุปกรณ์ไฟฟ้าอื่นๆ ที่ติดตั้งในห้องคลีนรูม ควรสะอาดและปราศจากฝุ่นก่อนเริ่มใช้งานระบบปรับอากาศแบบฟอกอากาศ ชิ้นส่วนเหล่านี้ใช้งานในสภาพแวดล้อมที่ต้องทำความสะอาดหรือฆ่าเชื้อด้วยน้ำบ่อยครั้ง อุปกรณ์ควรใช้มาตรการกันน้ำและป้องกันการกัดกร่อน