ข้อกำหนดที่เกี่ยวข้องกับห้องสะอาด

1. ความสะอาด

ใช้เพื่อระบุลักษณะขนาดและปริมาณของอนุภาคที่มีอยู่ในอากาศต่อหน่วยปริมาตรของพื้นที่ และเป็นมาตรฐานในการแยกแยะความสะอาดของพื้นที่

2. ความเข้มข้นของฝุ่น

จำนวนอนุภาคแขวนลอยต่อหน่วยปริมาตรอากาศ

3. สถานะว่างเปล่า

สิ่งอำนวยความสะดวกในห้องคลีนรูมถูกสร้างขึ้น และไฟฟ้าทั้งหมดเชื่อมต่อและทำงาน แต่ไม่มีอุปกรณ์การผลิต วัสดุ หรือบุคลากร

4. สถานะคงที่

ทั้งหมดสร้างเสร็จพร้อมอุปกรณ์ครบครัน ระบบปรับอากาศฟอกอากาศทำงานได้ตามปกติ และไม่มีบุคลากรประจำพื้นที่ สถานะของห้องปลอดเชื้อที่มีการติดตั้งอุปกรณ์การผลิตแต่ไม่ได้ใช้งาน หรือสภาพห้องสะอาดหลังจากที่อุปกรณ์การผลิตหยุดทำงานและทำความสะอาดตัวเองแล้วตามเวลาที่กำหนด หรือสถานะของห้องคลีนรูมกำลังทำงานในลักษณะที่ทั้งสองฝ่ายตกลงกัน (ผู้สร้างและฝ่ายก่อสร้าง)

5. สถานะไดนามิก

สิ่งอำนวยความสะดวกดำเนินการตามที่ระบุไว้ ระบุบุคลากรที่มีอยู่ และปฏิบัติงานภายใต้เงื่อนไขที่ตกลงกันไว้

6. เวลาทำความสะอาดตัวเอง

หมายถึงเวลาที่ห้องคลีนรูมเริ่มจ่ายอากาศให้กับห้องตามความถี่การแลกเปลี่ยนอากาศที่ออกแบบไว้ และความเข้มข้นของฝุ่นในห้องคลีนรูมถึงระดับความสะอาดที่ออกแบบไว้ สิ่งที่เรากำลังจะดูด้านล่างนี้คือเวลาในการทำความสะอาดตัวเองของห้องสะอาดระดับต่างๆ

1. คลาส 100000: ไม่เกิน 40 นาที (นาที)

②. คลาส 10,000: ไม่เกิน 30 นาที (นาที)

๓. คลาส 1,000: ไม่เกิน 20 นาที (นาที)

④. คลาส 100: ไม่เกิน 3 นาที (นาที)

7.ห้องแอร์ล็อค

ห้องแอร์ล็อคถูกติดตั้งไว้ที่ทางเข้าและทางออกของห้องคลีนรูม เพื่อป้องกันการไหลของอากาศเสียภายนอกหรือในห้องที่อยู่ติดกัน และเพื่อควบคุมความแตกต่างของแรงดัน

8. ฝักบัวลม

ห้องที่บุคลากรได้รับการชำระล้างตามขั้นตอนที่กำหนดก่อนเข้าพื้นที่ทำความสะอาด การติดตั้งพัดลม ตัวกรอง และระบบควบคุมเพื่อไล่อากาศทั่วทั้งร่างกายที่เข้ามาในห้องคลีนรูม ถือเป็นวิธีหนึ่งที่มีประสิทธิภาพในการลดมลภาวะภายนอก

9. ห้องอาบน้ำฝักบัวสินค้า

ห้องที่วัสดุถูกทำให้บริสุทธิ์ตามขั้นตอนบางอย่างก่อนเข้าสู่บริเวณที่สะอาด การติดตั้งพัดลม ตัวกรอง และระบบควบคุมเพื่อไล่วัสดุถือเป็นวิธีหนึ่งที่มีประสิทธิภาพในการลดมลภาวะภายนอก

10.เสื้อผ้าห้องสะอาด

เสื้อผ้าที่สะอาดโดยมีการปล่อยฝุ่นต่ำ ใช้เพื่อลดอนุภาคที่เกิดจากคนงานให้เหลือน้อยที่สุด

11. แผ่นกรอง HEPA

ภายใต้ปริมาณอากาศที่กำหนด ตัวกรองอากาศมีประสิทธิภาพในการดักจับมากกว่า 99.9% สำหรับอนุภาคที่มีขนาดอนุภาค 0.3μm ขึ้นไป และความต้านทานการไหลของอากาศน้อยกว่า 250Pa

12. แผ่นกรองอัลตร้า HEPA

ตัวกรองอากาศที่มีประสิทธิภาพในการดักจับมากกว่า 99.999% สำหรับอนุภาคที่มีขนาดอนุภาค 0.1 ถึง 0.2μm และความต้านทานการไหลของอากาศน้อยกว่า 280Pa ภายใต้ปริมาตรอากาศที่กำหนด