คำศัพท์ที่เกี่ยวข้องกับห้องคลีนรูม

1. ความสะอาด

ใช้ในการกำหนดลักษณะขนาดและปริมาณของอนุภาคที่มีอยู่ในอากาศต่อหน่วยปริมาตรของพื้นที่ และเป็นมาตรฐานในการแยกแยะความสะอาดของพื้นที่

2. ความเข้มข้นของฝุ่นละออง

จำนวนอนุภาคแขวนลอยต่อหน่วยปริมาตรอากาศ

3. สถานะว่าง

สิ่งอำนวยความสะดวกห้องสะอาดได้รับการสร้างขึ้นแล้วและไฟฟ้าทั้งหมดเชื่อมต่อและทำงานแล้ว แต่ไม่มีอุปกรณ์การผลิต วัสดุ หรือบุคลากร

4. สถานะคงที่

ทุกอย่างเสร็จสมบูรณ์พร้อมอุปกรณ์ครบครัน ระบบปรับอากาศสำหรับฟอกอากาศทำงานได้ตามปกติ และไม่มีบุคลากรประจำหน้างาน สภาพห้องสะอาดที่ติดตั้งอุปกรณ์การผลิตไว้แต่ไม่ได้ใช้งาน หรือ สภาพห้องสะอาดหลังจากอุปกรณ์การผลิตหยุดทำงานและทำความสะอาดตัวเองตามเวลาที่กำหนด หรือ สภาพห้องสะอาดทำงานตามที่ทั้งสองฝ่าย (ผู้ก่อสร้างและฝ่ายก่อสร้างตกลงกัน)

5. สถานะไดนามิก

โรงงานดำเนินการตามที่ระบุ มีบุคลากรที่กำหนดไว้ และดำเนินงานภายใต้เงื่อนไขที่ตกลงกันไว้

6. เวลาทำความสะอาดตัวเอง

หมายถึงเวลาที่ห้องคลีนรูมเริ่มจ่ายอากาศเข้าสู่ห้องตามความถี่การแลกเปลี่ยนอากาศที่ออกแบบไว้ และความเข้มข้นของฝุ่นละอองในห้องคลีนรูมถึงระดับความสะอาดที่ออกแบบไว้ ต่อไปนี้คือระยะเวลาในการทำความสะอาดตัวเองของห้องคลีนรูมแต่ละระดับ

①. ชั้น 100000 : ไม่เกิน 40 นาที

②. ชั้น 10000 : ไม่เกิน 30 นาที ;

③. ชั้น 1000 : ไม่เกิน 20 นาที

4. ชั้น 100 : ไม่เกิน 3 นาที

7. ห้องแอร์ล็อค

ติดตั้งห้องแอร์ล็อคที่ทางเข้าและทางออกของห้องสะอาดเพื่อปิดกั้นการไหลของอากาศเสียออกสู่ภายนอกหรือในห้องที่อยู่ติดกัน และเพื่อควบคุมความแตกต่างของแรงดัน

8. ฝักบัวลม

ห้องที่บุคลากรได้รับการชำระล้างตามขั้นตอนที่กำหนดก่อนเข้าสู่พื้นที่สะอาด การติดตั้งพัดลม ตัวกรอง และระบบควบคุมเพื่อกำจัดบุคลากรทั้งหมดออกจากห้องสะอาด ถือเป็นวิธีหนึ่งที่มีประสิทธิภาพในการลดมลพิษจากภายนอก

9. ฝักบัวอากาศบรรทุกสินค้า

ห้องที่วัสดุต่างๆ ได้รับการชำระล้างตามขั้นตอนที่กำหนดก่อนเข้าสู่พื้นที่สะอาด การติดตั้งพัดลม ตัวกรอง และระบบควบคุมเพื่อกำจัดวัสดุต่างๆ ถือเป็นวิธีหนึ่งที่มีประสิทธิภาพในการลดมลพิษจากภายนอก

10. ชุดห้องคลีนรูม

ใช้เสื้อผ้าที่สะอาดและปล่อยฝุ่นละอองน้อยเพื่อลดอนุภาคที่คนงานสร้างขึ้น

11. แผ่นกรอง HEPA

ภายใต้ปริมาณอากาศที่ได้รับการจัดอันดับ ตัวกรองอากาศจะมีประสิทธิภาพในการเก็บรวบรวมมากกว่า 99.9% สำหรับอนุภาคที่มีขนาดอนุภาค 0.3μm ขึ้นไป และความต้านทานการไหลของอากาศน้อยกว่า 250Pa

12. แผ่นกรอง Ultra HEPA

ตัวกรองอากาศที่มีประสิทธิภาพในการดักจับอนุภาคที่มีขนาดอนุภาค 0.1 ถึง 0.2μm และมีความต้านทานการไหลของอากาศน้อยกว่า 280Pa ต่ำกว่าปริมาตรอากาศที่กำหนด