ลักษณะการใช้พลังงานบางประการในห้องสะอาด

1 ห้องคลีนรูมใช้พลังงานจำนวนมาก การใช้พลังงานประกอบด้วยไฟฟ้า ความร้อน และความเย็นที่ใช้โดยอุปกรณ์การผลิตในห้องปลอดเชื้อ การใช้พลังงาน การใช้ความร้อน และภาระการทำความเย็นของระบบปรับอากาศบริสุทธิ์ การใช้พลังงานของหน่วยทำความเย็น และการบำบัดไอเสีย การใช้พลังงานและการใช้พลังงานความร้อนของอุปกรณ์ การใช้พลังงาน การใช้ความร้อน และภาระการทำความเย็นของการเตรียมและการขนส่งสารที่มีความบริสุทธิ์สูงต่างๆ การใช้พลังงาน การใช้ความร้อน การทำความเย็นและการใช้พลังงานแสงสว่างของสิ่งอำนวยความสะดวกสาธารณะด้านพลังงานต่างๆ การใช้พลังงานของห้องคลีนรูมในบริเวณเดียวกันนั้นมากกว่าอาคารสำนักงานถึง 10 เท่าหรือมากกว่านั้นด้วยซ้ำ ห้องสะอาดในอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์บางแห่งต้องใช้พื้นที่ขนาดใหญ่ พื้นที่ขนาดใหญ่ และปริมาณมาก ด้วยการพัฒนาทางวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยี เพื่อตอบสนองความต้องการด้านประสิทธิภาพขนาดใหญ่และความน่าเชื่อถือสูงของการผลิตผลิตภัณฑ์อิเล็กทรอนิกส์ จึงมักใช้อุปกรณ์การผลิตที่มีความแม่นยำขนาดใหญ่ที่รวมเข้ากับกระบวนการต่างๆ เพื่อการผลิตต่อเนื่อง เพื่อจุดประสงค์นี้จะต้องจัดวางในพื้นที่อาคารขนาดใหญ่ พื้นที่การผลิตที่สะอาด และเทคโนโลยีบนและล่าง "ชั้นลอย" เป็นพื้นที่ขนาดใหญ่และเป็นอาคารห้องคลีนรูมขนาดใหญ่รวมกัน

2. ท่อขนส่งที่สอดคล้องกันและสิ่งอำนวยความสะดวกในการบำบัดไอเสียที่จำเป็นมักถูกติดตั้งไว้ในห้องสะอาดในอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์ อุปกรณ์บำบัดไอเสียเหล่านี้ไม่เพียงแต่ใช้พลังงานเท่านั้น แต่ยังเพิ่มปริมาณการจ่ายอากาศของห้องคลีนรูมอีกด้วย ห้องสะอาดสำหรับผลิตภัณฑ์อิเล็กทรอนิกส์ใช้พลังงานมาก โรงงานฟอกอากาศที่จำเป็นต่อสภาพแวดล้อมการผลิตที่สะอาด รวมถึงระบบปรับอากาศให้บริสุทธิ์ ระบบทำความเย็นและทำความร้อน ใช้พลังงานจำนวนมาก หากข้อกำหนดระดับความสะอาดของอากาศเข้มงวด เนื่องจากปริมาณการจ่ายอากาศสะอาดและปริมาณอากาศบริสุทธิ์จำนวนมาก การใช้พลังงานจึงมีมาก และทำงานอย่างต่อเนื่องทั้งกลางวันและกลางคืนเกือบทุกวันตลอดทั้งปี

3. การใช้สิ่งอำนวยความสะดวกที่ใช้พลังงานต่างๆ อย่างต่อเนื่อง เพื่อให้มั่นใจถึงความสม่ำเสมอของระดับความสะอาดของอากาศในห้องคลีนรูมต่างๆ ความเสถียรของพารามิเตอร์การทำงานต่างๆ ภายในอาคาร และความต้องการของกระบวนการผลิตผลิตภัณฑ์ ห้องคลีนรูมหลายแห่งดำเนินการออนไลน์ โดยปกติจะเปิดให้บริการตลอด 24 ชั่วโมงทั้งกลางวันและกลางคืน เนื่องจากการทำงานอย่างต่อเนื่องของห้องคลีนรูม จะต้องกำหนดเวลาจ่ายไฟ การทำความเย็น การทำความร้อน ฯลฯ ตามความต้องการกระบวนการผลิตผลิตภัณฑ์หรือการเตรียมแผนการผลิตในห้องคลีนรูม และสามารถจัดหาแหล่งพลังงานต่างๆ ได้ในเวลาที่เหมาะสม ในการใช้พลังงานของห้องคลีนรูมประเภทต่างๆ นอกเหนือจากการจัดหาพลังงานของอุปกรณ์การผลิตผลิตภัณฑ์และน้ำหล่อเย็น สารที่มีความบริสุทธิ์สูง สารเคมี และก๊าซพิเศษที่เกี่ยวข้องอย่างใกล้ชิดกับความหลากหลายของผลิตภัณฑ์ การจัดหาพลังงานในห้องคลีนรูมจะเปลี่ยนไป ด้วยความหลากหลายของผลิตภัณฑ์และกระบวนการผลิต สัดส่วนขนาดใหญ่ของการใช้พลังงานทั้งหมดคือการใช้พลังงานไฟฟ้าและพลังงานความเย็น (ความร้อน) ของเครื่องทำความเย็นและระบบปรับอากาศบริสุทธิ์

④ ตามข้อกำหนดกระบวนการผลิตผลิตภัณฑ์และข้อกำหนดในการควบคุมสิ่งแวดล้อมของห้องปลอดเชื้อ ไม่ว่าจะเป็นในฤดูหนาว ฤดูเปลี่ยนผ่าน หรือฤดูร้อน มีความต้องการที่เรียกว่า "พลังงานความร้อนระดับต่ำ" ที่มีอุณหภูมิต่ำกว่า 60°C ตัวอย่างเช่น ระบบปรับอากาศบริสุทธิ์จำเป็นต้องมีการจ่ายน้ำร้อนที่มีอุณหภูมิต่างกันเพื่อให้ความร้อนกับอากาศบริสุทธิ์ภายนอกในฤดูหนาวและฤดูเปลี่ยนผ่าน แต่การจ่ายความร้อนจะแตกต่างกันในแต่ละฤดูกาล น้ำบริสุทธิ์จำนวนมากส่วนใหญ่จะใช้ในห้องสะอาดเพื่อการผลิตผลิตภัณฑ์อิเล็กทรอนิกส์ ปริมาณการใช้น้ำบริสุทธิ์ต่อชั่วโมงในการผลิตชิปวงจรรวมและกระบวนการผลิตแผง TFT-LCD สูงถึงหลายร้อยตัน เพื่อให้ได้น้ำบริสุทธิ์ที่มีคุณภาพตามที่ต้องการ โดยปกติแล้วจะใช้เทคโนโลยีการรีเวิร์สออสโมซิส RO อุปกรณ์ RO กำหนดให้ต้องรักษาอุณหภูมิของน้ำให้อยู่ที่ประมาณ 25°C และมักจะต้องจ่ายน้ำร้อนถึงอุณหภูมิที่กำหนด การวิจัยในบางบริษัทแสดงให้เห็นว่าในช่วงไม่กี่ปีที่ผ่านมา พลังงานความร้อนระดับต่ำในห้องสะอาด เช่น ความร้อนควบแน่นของเครื่องทำความเย็นแบบแช่เย็น ได้ถูกค่อยๆ ถูกนำมาใช้เพื่อผลิตน้ำร้อนอุณหภูมิต่ำประมาณ 40°C แทนที่การใช้เดิมแบบต่ำ - ไอน้ำแรงดันหรือน้ำร้อนอุณหภูมิสูงสำหรับทำความร้อน/อุ่นเครื่อง และบรรลุประโยชน์ด้านการประหยัดพลังงานและเศรษฐกิจอย่างเห็นได้ชัด ดังนั้นห้องสะอาดจึงมีทั้ง "ทรัพยากร" ของแหล่งความร้อนระดับต่ำและความต้องการพลังงานความร้อนระดับต่ำ นี่เป็นหนึ่งในคุณสมบัติที่สำคัญของห้องปลอดเชื้อที่บูรณาการและใช้พลังงานความร้อนระดับต่ำเพื่อลดการใช้พลังงาน