ลักษณะการใช้พลังงานบางประการในห้องคลีนรูม

① ห้องคลีนรูมเป็นห้องที่ใช้พลังงานจำนวนมาก การใช้พลังงานประกอบด้วยไฟฟ้า ความร้อน และความเย็นที่อุปกรณ์การผลิตใช้ในห้องคลีนรูม การใช้พลังงาน การใช้พลังงานความร้อน และภาระความเย็นของระบบปรับอากาศฟอกอากาศ การใช้พลังงานของระบบทำความเย็นและการบำบัดไอเสีย การใช้พลังงานและการใช้พลังงานความร้อนของอุปกรณ์ การใช้พลังงาน การใช้พลังงานความร้อน และภาระความเย็นของการเตรียมและขนส่งสารบริสุทธิ์สูงต่างๆ การใช้พลังงาน การใช้พลังงานความร้อน การใช้พลังงานความเย็น และการใช้พลังงานแสงสว่างของสถานที่สาธารณะต่างๆ การใช้พลังงานของห้องคลีนรูมในพื้นที่เดียวกันนั้นสูงกว่าอาคารสำนักงานถึง 10 เท่าหรือมากกว่า ห้องคลีนรูมบางแห่งในอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์ต้องการพื้นที่ขนาดใหญ่ พื้นที่ขนาดใหญ่ และปริมาณมาก ด้วยการพัฒนาทางวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยี เพื่อตอบสนองความต้องการด้านประสิทธิภาพขนาดใหญ่และความน่าเชื่อถือสูงในการผลิตผลิตภัณฑ์อิเล็กทรอนิกส์ จึงมักมีการใช้อุปกรณ์การผลิตที่มีความแม่นยำสูงขนาดใหญ่ที่ผสานรวมกระบวนการต่างๆ เข้าด้วยกันเพื่อการผลิตอย่างต่อเนื่อง เพื่อจุดประสงค์นี้ จำเป็นต้องจัดวางอุปกรณ์ในพื้นที่อาคารขนาดใหญ่ พื้นที่การผลิตที่สะอาด และเทคโนโลยีขั้นสูงและขั้นสูง “ชั้นลอย” คือ พื้นที่ขนาดใหญ่และอาคารห้องคลีนรูมขนาดใหญ่รวมกัน

② ในห้องสะอาดของอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์ มักมีการติดตั้งท่อขนส่งและระบบบำบัดไอเสียที่จำเป็น ระบบบำบัดไอเสียเหล่านี้ไม่เพียงแต่ใช้พลังงานเท่านั้น แต่ยังเพิ่มปริมาณอากาศที่จ่ายเข้าไปในห้องสะอาดอีกด้วย ห้องสะอาดสำหรับผลิตภัณฑ์อิเล็กทรอนิกส์ใช้พลังงานจำนวนมาก ระบบฟอกอากาศที่จำเป็นต่อการผลิตที่สะอาด ซึ่งรวมถึงระบบปรับอากาศสำหรับฟอกอากาศ ระบบทำความเย็นและทำความร้อน ล้วนใช้พลังงานจำนวนมาก หากข้อกำหนดด้านความสะอาดของอากาศเข้มงวด ปริมาณอากาศที่จ่ายเข้าไปและปริมาณอากาศบริสุทธิ์ที่มาก การใช้พลังงานจึงสูงมาก และทำงานอย่างต่อเนื่องทั้งกลางวันและกลางคืนเกือบทุกวันตลอดทั้งปี

③การใช้งานอุปกรณ์ต่างๆ ที่ใช้พลังงานอย่างต่อเนื่อง เพื่อให้มั่นใจถึงระดับความสะอาดของอากาศในห้องคลีนรูมต่างๆ ความเสถียรของพารามิเตอร์การทำงานภายในอาคาร และความต้องการของกระบวนการผลิตผลิตภัณฑ์ ห้องคลีนรูมจำนวนมากจึงทำงานแบบออนไลน์ ซึ่งปกติจะเปิดให้บริการตลอด 24 ชั่วโมง เนื่องจากห้องคลีนรูมทำงานอย่างต่อเนื่อง จึงต้องวางแผนการจ่ายไฟฟ้า ระบบทำความเย็น ระบบทำความร้อน ฯลฯ ให้สอดคล้องกับข้อกำหนดของกระบวนการผลิตผลิตภัณฑ์หรือแผนการผลิตภายในห้องคลีนรูม และสามารถจัดหาแหล่งพลังงานต่างๆ ได้อย่างทันท่วงที การใช้พลังงานในห้องคลีนรูมแต่ละประเภท นอกจากการจ่ายพลังงานให้กับอุปกรณ์การผลิตผลิตภัณฑ์ น้ำหล่อเย็น สารบริสุทธิ์สูง สารเคมี และก๊าซพิเศษที่เกี่ยวข้องอย่างใกล้ชิดกับชนิดของผลิตภัณฑ์แล้ว การจ่ายพลังงานในห้องคลีนรูมยังเปลี่ยนแปลงไปตามชนิดของผลิตภัณฑ์และกระบวนการผลิตอีกด้วย สัดส่วนการใช้พลังงานโดยรวมส่วนใหญ่มาจากการใช้พลังงานไฟฟ้าและพลังงานความร้อนของเครื่องทำความเย็นและระบบปรับอากาศ

④ ตามความต้องการของกระบวนการผลิตผลิตภัณฑ์และข้อกำหนดด้านการควบคุมสภาพแวดล้อมของห้องคลีนรูม ไม่ว่าจะเป็นในฤดูหนาว ช่วงเปลี่ยนผ่าน หรือฤดูร้อน มักมีความต้องการพลังงานความร้อนระดับต่ำ (Low-Level Thermal Energy) ที่อุณหภูมิต่ำกว่า 60 องศาเซลเซียส ยกตัวอย่างเช่น ระบบปรับอากาศแบบฟอกอากาศจำเป็นต้องใช้น้ำร้อนที่มีอุณหภูมิแตกต่างกันเพื่อให้ความร้อนแก่อากาศบริสุทธิ์ภายนอกในช่วงฤดูหนาวและช่วงเปลี่ยนผ่าน แต่ความร้อนที่จ่ายให้จะแตกต่างกันไปในแต่ละฤดูกาล น้ำบริสุทธิ์จำนวนมากส่วนใหญ่ถูกใช้ในห้องคลีนรูมเพื่อการผลิตผลิตภัณฑ์อิเล็กทรอนิกส์ ปริมาณการใช้น้ำบริสุทธิ์ต่อชั่วโมงในกระบวนการผลิตชิปวงจรรวมและกระบวนการผลิตแผง TFT-LCD สูงถึงหลายร้อยตัน เพื่อให้ได้น้ำบริสุทธิ์ที่มีคุณภาพตามที่ต้องการ มักใช้เทคโนโลยีออสโมซิสย้อนกลับแบบ RO อุปกรณ์ RO ต้องรักษาอุณหภูมิของน้ำไว้ที่ประมาณ 25 องศาเซลเซียส และมักต้องใช้น้ำร้อนที่อุณหภูมิที่กำหนด งานวิจัยของบริษัทบางแห่งแสดงให้เห็นว่าในช่วงไม่กี่ปีที่ผ่านมา พลังงานความร้อนระดับต่ำในห้องคลีนรูม เช่น ความร้อนจากการควบแน่นของเครื่องทำความเย็นแบบชิลเลอร์ ถูกนำมาใช้อย่างแพร่หลายในการผลิตน้ำร้อนอุณหภูมิต่ำประมาณ 40°C แทนที่การใช้ไอน้ำแรงดันต่ำหรือน้ำร้อนอุณหภูมิสูงในการทำความร้อน/อุ่นเครื่อง ซึ่งให้ประโยชน์ด้านการประหยัดพลังงานและเศรษฐกิจอย่างเห็นได้ชัด ดังนั้น ห้องคลีนรูมจึงมีทั้ง "แหล่ง" ของแหล่งความร้อนระดับต่ำและความต้องการพลังงานความร้อนระดับต่ำ นี่เป็นหนึ่งในคุณสมบัติสำคัญของห้องคลีนรูมที่ผสานรวมและใช้ประโยชน์จากพลังงานความร้อนระดับต่ำเพื่อลดการใช้พลังงาน