ลักษณะการใช้พลังงานบางประการในห้องปลอดเชื้อ

① ห้องคลีนรูมใช้พลังงานปริมาณมาก การใช้พลังงานรวมถึงไฟฟ้า ความร้อน และความเย็นที่ใช้โดยอุปกรณ์การผลิตในห้องคลีนรูม การใช้พลังงาน ความร้อน และภาระการทำความเย็นของระบบปรับอากาศบริสุทธิ์ การใช้พลังงานของหน่วยทำความเย็นและการบำบัดไอเสีย การใช้พลังงานและความร้อนของอุปกรณ์ การใช้พลังงาน ความร้อน และภาระการทำความเย็นของการเตรียมและการขนส่งสารบริสุทธิ์สูงต่างๆ การใช้พลังงาน ความร้อน การทำความเย็น และแสงสว่างของสิ่งอำนวยความสะดวกสาธารณะต่างๆ การใช้พลังงานของห้องคลีนรูมในพื้นที่เดียวกันนั้นมากกว่าอาคารสำนักงานถึง 10 เท่า หรืออาจมากกว่านั้น ห้องคลีนรูมบางแห่งในอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์ต้องการพื้นที่ขนาดใหญ่ ปริมาตรมาก ด้วยการพัฒนาทางวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยี เพื่อตอบสนองความต้องการด้านประสิทธิภาพขนาดใหญ่และความน่าเชื่อถือสูงของการผลิตผลิตภัณฑ์อิเล็กทรอนิกส์ จึงมักใช้อุปกรณ์การผลิตที่มีความแม่นยำขนาดใหญ่ที่รวมกระบวนการหลายอย่างเข้าด้วยกันเพื่อการผลิตอย่างต่อเนื่อง สำหรับวัตถุประสงค์นี้ จำเป็นต้องจัดวางในพื้นที่อาคารขนาดใหญ่ พื้นที่การผลิตที่สะอาด และเทคโนโลยีระดับบนและล่าง "ชั้นลอย" เป็นพื้นที่ขนาดใหญ่และเป็นอาคารห้องปลอดเชื้อขนาดใหญ่ที่รวมอยู่ในพื้นที่เดียวกัน

② ในห้องปลอดเชื้อของอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์ มักมีการติดตั้งท่อส่งและระบบบำบัดไอเสียที่จำเป็น ระบบบำบัดไอเสียเหล่านี้ไม่เพียงแต่ใช้พลังงาน แต่ยังเพิ่มปริมาณอากาศที่ป้อนเข้าสู่ห้องปลอดเชื้ออีกด้วย ห้องปลอดเชื้อสำหรับผลิตภัณฑ์อิเล็กทรอนิกส์ใช้พลังงานมาก ระบบฟอกอากาศที่จำเป็นต่อการสร้างสภาพแวดล้อมการผลิตที่สะอาด รวมถึงระบบปรับอากาศฟอกอากาศและระบบทำความเย็นและทำความร้อน ใช้พลังงานมาก หากข้อกำหนดระดับความสะอาดของอากาศเข้มงวด เนื่องจากปริมาณอากาศสะอาดที่ป้อนเข้าและปริมาณอากาศบริสุทธิ์มีมาก การใช้พลังงานจึงสูง และต้องทำงานอย่างต่อเนื่องทั้งกลางวันและกลางคืนเกือบทุกวันตลอดทั้งปี

③ การใช้งานอย่างต่อเนื่องของอุปกรณ์ที่ใช้พลังงานต่างๆ เพื่อให้มั่นใจถึงความสม่ำเสมอของระดับความสะอาดของอากาศในห้องปลอดเชื้อต่างๆ ความเสถียรของพารามิเตอร์การทำงานภายในอาคารต่างๆ และความต้องการของกระบวนการผลิตผลิตภัณฑ์ ห้องปลอดเชื้อจำนวนมากจึงทำงานอย่างต่อเนื่อง โดยปกติแล้วตลอด 24 ชั่วโมงทั้งกลางวันและกลางคืน เนื่องจากการทำงานอย่างต่อเนื่องของห้องปลอดเชื้อ การจ่ายพลังงาน การทำความเย็น การทำความร้อน ฯลฯ ต้องมีการวางแผนตามความต้องการของกระบวนการผลิตผลิตภัณฑ์หรือแผนการผลิตในห้องปลอดเชื้อ และแหล่งพลังงานต่างๆ สามารถจัดหาได้อย่างทันท่วงที ในการใช้พลังงานของห้องปลอดเชื้อประเภทต่างๆ นอกเหนือจากการจ่ายพลังงานให้กับอุปกรณ์การผลิตผลิตภัณฑ์และน้ำหล่อเย็น สารบริสุทธิ์สูง สารเคมี และก๊าซพิเศษที่เกี่ยวข้องอย่างใกล้ชิดกับความหลากหลายของผลิตภัณฑ์แล้ว การจ่ายพลังงานในห้องปลอดเชื้อจะเปลี่ยนแปลงไปตามความหลากหลายของผลิตภัณฑ์และกระบวนการผลิต สัดส่วนที่มากของการใช้พลังงานทั้งหมดคือการใช้พลังงานไฟฟ้าและพลังงานความเย็น (ความร้อน) ของเครื่องทำความเย็นและระบบปรับอากาศแบบฟอกอากาศ

④ ตามข้อกำหนดของกระบวนการผลิตผลิตภัณฑ์และข้อกำหนดการควบคุมสภาพแวดล้อมของห้องปลอดเชื้อ ไม่ว่าจะเป็นฤดูหนาว ฤดูเปลี่ยนผ่าน หรือฤดูร้อน ก็มีความต้องการพลังงานความร้อนระดับต่ำที่มีอุณหภูมิต่ำกว่า 60 องศาเซลเซียส ตัวอย่างเช่น ระบบปรับอากาศแบบฟอกอากาศต้องการน้ำร้อนที่มีอุณหภูมิต่างกันเพื่อทำความร้อนอากาศบริสุทธิ์จากภายนอกในฤดูหนาวและฤดูเปลี่ยนผ่าน แต่ปริมาณความร้อนที่จ่ายจะแตกต่างกันในแต่ละฤดู น้ำบริสุทธิ์ปริมาณมากส่วนใหญ่ใช้ในห้องปลอดเชื้อสำหรับการผลิตผลิตภัณฑ์อิเล็กทรอนิกส์ ปริมาณการใช้น้ำบริสุทธิ์ต่อชั่วโมงในกระบวนการผลิตชิปวงจรรวมและการผลิตแผง TFT-LCD สูงถึงหลายร้อยตัน เพื่อให้ได้น้ำบริสุทธิ์ที่มีคุณภาพตามต้องการ มักใช้เทคโนโลยี RO (Reverse Osmosis) อุปกรณ์ RO ต้องการรักษาอุณหภูมิของน้ำไว้ที่ประมาณ 25 องศาเซลเซียส และมักต้องการจ่ายน้ำร้อนที่มีอุณหภูมิที่กำหนดไว้ จากการวิจัยในบางบริษัทพบว่า ในช่วงไม่กี่ปีที่ผ่านมา พลังงานความร้อนระดับต่ำในห้องปลอดเชื้อ เช่น ความร้อนจากการควบแน่นของเครื่องทำความเย็น ได้ถูกนำมาใช้ในการผลิตน้ำร้อนอุณหภูมิต่ำประมาณ 40°C อย่างค่อยเป็นค่อยไป แทนที่การใช้ไอน้ำแรงดันต่ำหรือน้ำร้อนอุณหภูมิสูงในการทำความร้อน/อุ่นแบบเดิม และส่งผลให้ประหยัดพลังงานและมีประโยชน์ทางเศรษฐกิจอย่างเห็นได้ชัด ดังนั้น ห้องปลอดเชื้อจึงมีทั้ง "ทรัพยากร" ของแหล่งความร้อนระดับต่ำและความต้องการพลังงานความร้อนระดับต่ำ นี่เป็นหนึ่งในคุณสมบัติที่สำคัญของห้องปลอดเชื้อที่บูรณาการและใช้ประโยชน์จากพลังงานความร้อนระดับต่ำเพื่อลดการใช้พลังงาน