การควบคุมอุณหภูมิและความดันอากาศในห้องสะอาด

การปกป้องสิ่งแวดล้อมได้รับความสนใจมากขึ้นเรื่อย ๆ โดยเฉพาะอย่างยิ่งเมื่อมีสภาพอากาศหมอกควันเพิ่มขึ้น วิศวกรรมห้องพักทำความสะอาดเป็นหนึ่งในมาตรการคุ้มครองสิ่งแวดล้อม วิธีใช้วิศวกรรมห้องพักทำความสะอาดเพื่อทำงานที่ดีในการปกป้องสิ่งแวดล้อม? มาพูดคุยเกี่ยวกับการควบคุมในวิศวกรรมห้องสะอาด

การควบคุมอุณหภูมิและความชื้นในห้องสะอาด

อุณหภูมิและความชื้นของพื้นที่สะอาดส่วนใหญ่จะถูกกำหนดตามข้อกำหนดของกระบวนการ แต่เมื่อความต้องการกระบวนการประชุมควรคำนึงถึงความสะดวกสบายของมนุษย์ ด้วยการปรับปรุงข้อกำหนดด้านความสะอาดของอากาศมีแนวโน้มของความต้องการที่เข้มงวดสำหรับอุณหภูมิและความชื้นในกระบวนการ

ตามหลักการทั่วไปเนื่องจากความแม่นยำที่เพิ่มขึ้นของการประมวลผลข้อกำหนดสำหรับช่วงความผันผวนของอุณหภูมิจะเล็กลงและเล็กลง ตัวอย่างเช่นในการพิมพ์หินและกระบวนการเปิดรับแสงของการผลิตวงจรรวมขนาดใหญ่ความแตกต่างในค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนระหว่างแก้วและเวเฟอร์ซิลิกอนที่ใช้เป็นวัสดุหน้ากากมีขนาดเล็กมากขึ้นเรื่อย ๆ

เวเฟอร์ซิลิคอนที่มีเส้นผ่านศูนย์กลาง 100 μ m ทำให้การขยายตัวเชิงเส้น 0.24 μ m เมื่ออุณหภูมิสูงขึ้น 1 องศา ดังนั้นจึงจำเป็นต้องมีอุณหภูมิคงที่± 0.1 ℃และค่าความชื้นโดยทั่วไปจะต่ำเพราะหลังจากเหงื่อออกแล้วผลิตภัณฑ์จะปนเปื้อนโดยเฉพาะอย่างยิ่งในการประชุมเชิงปฏิบัติการเซมิคอนดักเตอร์ที่กลัวโซเดียม การประชุมเชิงปฏิบัติการประเภทนี้ไม่ควรเกิน 25 ℃

ความชื้นมากเกินไปทำให้เกิดปัญหามากขึ้น เมื่อความชื้นสัมพัทธ์เกิน 55%การควบแน่นจะเกิดขึ้นบนผนังท่อระบายความร้อน หากเกิดขึ้นในอุปกรณ์หรือวงจรที่มีความแม่นยำอาจทำให้เกิดอุบัติเหตุต่าง ๆ เมื่อความชื้นสัมพัทธ์เป็น 50%มันเป็นเรื่องง่ายที่จะเกิดสนิม นอกจากนี้เมื่อความชื้นสูงเกินไปฝุ่นที่ยึดติดกับพื้นผิวของเวเฟอร์ซิลิคอนจะถูกดูดซับทางเคมีบนผิวน้ำผ่านโมเลกุลของน้ำในอากาศซึ่งยากต่อการกำจัด

ยิ่งความชื้นสัมพัทธ์สูงเท่าไหร่ก็ยิ่งยากที่จะกำจัดการยึดเกาะ อย่างไรก็ตามเมื่อความชื้นสัมพัทธ์ต่ำกว่า 30%อนุภาคจะถูกดูดซับบนพื้นผิวได้อย่างง่ายดายเนื่องจากการกระทำของแรงไฟฟ้าสถิตและอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์จำนวนมากมีแนวโน้มที่จะพังทลาย ช่วงอุณหภูมิที่เหมาะสมสำหรับการผลิตเวเฟอร์ซิลิคอนคือ 35-45%

ความดันอากาศควบคุมในห้องสะอาด 

สำหรับพื้นที่ที่สะอาดส่วนใหญ่เพื่อป้องกันมลพิษภายนอกจากการบุกรุกจำเป็นต้องรักษาความดันภายใน (ความดันคงที่) สูงกว่าความดันภายนอก (ความดันคงที่) การบำรุงรักษาความแตกต่างของความดันโดยทั่วไปควรเป็นไปตามหลักการดังต่อไปนี้:

1. ความดันในพื้นที่สะอาดควรสูงกว่าในพื้นที่ที่ไม่สะอาด

2. ความดันในพื้นที่ที่มีระดับความสะอาดสูงควรสูงกว่าในพื้นที่ใกล้เคียงที่มีระดับความสะอาดต่ำ

3. ควรเปิดประตูระหว่างห้องพักที่สะอาดไปยังห้องที่มีระดับความสะอาดสูง

การบำรุงรักษาความแตกต่างของความดันขึ้นอยู่กับปริมาณของอากาศบริสุทธิ์ซึ่งควรจะสามารถชดเชยการรั่วไหลของอากาศจากช่องว่างภายใต้ความแตกต่างของความดันนี้ ดังนั้นความหมายทางกายภาพของความแตกต่างของแรงดันคือความต้านทานของการรั่วไหล (หรือการแทรกซึม) การไหลของอากาศผ่านช่องว่างต่าง ๆ ในห้องสะอาด