อะไรคือปัจจัยที่มีอิทธิพลต่อองค์กรการไหลของอากาศในห้องสะอาด?

ผลผลิตชิปในอุตสาหกรรมการผลิตชิปมีความสัมพันธ์อย่างใกล้ชิดกับขนาดและจำนวนอนุภาคอากาศที่สะสมอยู่ในชิป องค์กรการไหลของอากาศที่ดีสามารถนำอนุภาคที่เกิดจากแหล่งฝุ่นออกจากห้องพักที่สะอาดและตรวจสอบความสะอาดของห้องทำความสะอาด นั่นคือองค์กรการไหลของอากาศในห้องทำความสะอาดมีบทบาทสำคัญในการให้ผลผลิตของการผลิตชิป เป้าหมายที่จะบรรลุผลในการออกแบบองค์กรการไหลของอากาศในห้องสะอาดคือ: เพื่อลดหรือกำจัดกระแสวนในสนามไหลเพื่อหลีกเลี่ยงการเก็บรักษาอนุภาคที่เป็นอันตราย เพื่อรักษาระดับความดันเชิงบวกที่เหมาะสมเพื่อป้องกันการปนเปื้อนข้าม

ตามหลักการห้องพักที่สะอาดแรงที่กระทำกับอนุภาครวมถึงแรงมวลแรงโมเลกุลแรงดึงดูดระหว่างอนุภาคแรงไหลของอากาศ ฯลฯ

กำลังการไหลของอากาศ: หมายถึงแรงของการไหลเวียนของอากาศที่เกิดจากการไหลเวียนของอากาศและส่งคืนการไหลเวียนของอากาศการไหลเวียนของความร้อนการไหลเวียนของอากาศการกวนเทียมและการไหลเวียนของอากาศอื่น ๆ ที่มีอัตราการไหลบางอย่างเพื่อพกพาอนุภาค สำหรับการควบคุมเทคโนโลยีสิ่งแวดล้อมห้องสะอาดแรงไหลของอากาศเป็นปัจจัยที่สำคัญที่สุด

การทดลองแสดงให้เห็นว่าในการเคลื่อนที่ของการไหลของอากาศอนุภาคจะติดตามการไหลของอากาศด้วยความเร็วเกือบเท่ากัน สภาพของอนุภาคในอากาศจะถูกกำหนดโดยการกระจายอากาศ ผลกระทบหลักของการไหลเวียนของอากาศต่ออนุภาคในร่ม ได้แก่ : การไหลเวียนของอากาศอากาศ (รวมถึงการไหลเวียนของอากาศปฐมภูมิและการไหลเวียนของอากาศทุติยภูมิ) การไหลเวียนของอากาศและการไหลเวียนของอากาศที่เกิดจากผู้คนที่เดินและผลกระทบของการไหลเวียนของอากาศต่ออนุภาคที่เกิดจากการดำเนินงานกระบวนการและอุปกรณ์อุตสาหกรรม วิธีการจัดหาอากาศที่แตกต่างกันการเชื่อมต่อความเร็วผู้ประกอบการและอุปกรณ์อุตสาหกรรมปรากฏการณ์ที่เกิดขึ้น ฯลฯ ในห้องทำความสะอาดเป็นปัจจัยทั้งหมดที่ส่งผลกระทบต่อระดับความสะอาด

1. อิทธิพลของวิธีการจัดหาอากาศ

(1) ความเร็วในการจัดหาอากาศ

เพื่อให้แน่ใจว่าการไหลของอากาศสม่ำเสมอความเร็วในการจัดหาอากาศในห้องสะอาดแบบทิศทางเดียวจะต้องสม่ำเสมอ โซนที่ตายแล้วบนพื้นผิวอากาศจะต้องมีขนาดเล็ก และแรงดันตกภายในตัวกรอง HEPA จะต้องมีความสม่ำเสมอ

ความเร็วในการจ่ายอากาศนั้นสม่ำเสมอ: นั่นคือความไม่สม่ำเสมอของการไหลของอากาศถูกควบคุมภายใน± 20%

มีพื้นที่ตายน้อยกว่าบนพื้นผิวของอากาศ: ไม่เพียง แต่พื้นที่ระนาบของเฟรม HEPA จะลดลง แต่ที่สำคัญกว่านั้นควรใช้ FFU แบบแยกส่วนเพื่อลดความซับซ้อนของเฟรมซ้ำซ้อน

เพื่อให้แน่ใจว่าการไหลของอากาศเป็นแนวตั้งและทิศทางเดียวการเลือกการลดแรงดันของตัวกรองก็มีความสำคัญเช่นกันและจำเป็นต้องมีการสูญเสียความดันภายในตัวกรองไม่สามารถลำเอียงได้

(2) การเปรียบเทียบระหว่างระบบ FFU และระบบพัดลมไหลตามแนวแกน

FFU เป็นหน่วยจ่ายอากาศที่มีพัดลมและตัวกรอง HEPA อากาศถูกดูดเข้าไปโดยพัดลมแบบแรงเหวี่ยงของ FFU และแปลงแรงดันแบบไดนามิกเป็นแรงดันคงที่ในท่ออากาศ มันถูกเป่าออกมาอย่างสม่ำเสมอโดยตัวกรอง HEPA แรงดันอากาศบนเพดานคือแรงดันลบ วิธีนี้จะไม่มีฝุ่นจะรั่วไหลในห้องที่สะอาดเมื่อเปลี่ยนตัวกรอง การทดลองแสดงให้เห็นว่าระบบ FFU นั้นเหนือกว่าระบบพัดลมไหลตามแนวแกนในแง่ของความสม่ำเสมอของเต้าเสียบอากาศการไหลแบบขนานของอากาศและดัชนีประสิทธิภาพการระบายอากาศ นี่เป็นเพราะการไหลของอากาศแบบขนานของระบบ FFU นั้นดีกว่า การใช้ระบบ FFU สามารถปรับปรุงองค์กรการไหลของอากาศในห้องสะอาด

(3) อิทธิพลของโครงสร้างของ FFU เอง

FFU ส่วนใหญ่ประกอบด้วยพัดลมตัวกรองคู่มือการไหลของอากาศและส่วนประกอบอื่น ๆ ตัวกรอง HEPA เป็นการรับประกันที่สำคัญที่สุดสำหรับห้องพักที่สะอาดเพื่อให้ได้ความสะอาดที่ต้องการโดยการออกแบบ วัสดุของตัวกรองจะส่งผลกระทบต่อความสม่ำเสมอของสนามการไหล เมื่อวัสดุตัวกรองหยาบหรือแผ่นไหลถูกเพิ่มเข้าไปในเต้าเสียบตัวกรองฟิลด์การไหลของทางออกสามารถสร้างได้อย่างง่ายดาย

2. ผลกระทบของอินเทอร์เฟซความเร็วด้วยความสะอาดที่แตกต่างกัน

ในห้องที่สะอาดเดียวกันระหว่างพื้นที่ทำงานและพื้นที่ที่ไม่ทำงานที่มีการไหลของทิศทางเดียวในแนวตั้งเนื่องจากความแตกต่างของความเร็วอากาศที่กล่อง HEPA เอฟเฟกต์กระแสน้ำวนผสมจะเกิดขึ้นที่อินเทอร์เฟซและอินเทอร์เฟซนี้จะกลายเป็นปั่นป่วน โซนการไหลของอากาศ ความเข้มของความปั่นป่วนของอากาศนั้นแข็งแกร่งเป็นพิเศษและอาจส่งอนุภาคไปยังพื้นผิวของเครื่องอุปกรณ์และปนเปื้อนอุปกรณ์และเวเฟอร์

3. ผลกระทบต่อพนักงานและอุปกรณ์

เมื่อห้องสะอาดว่างเปล่าลักษณะการไหลของอากาศในห้องโดยทั่วไปจะตรงตามข้อกำหนดการออกแบบ เมื่ออุปกรณ์เข้าสู่ห้องทำความสะอาดผู้คนย้ายและผลิตภัณฑ์จะถูกขนส่งมีอุปสรรคอย่างหลีกเลี่ยงไม่ได้กับองค์กรการไหลของอากาศเช่นจุดที่คมชัดที่ยื่นออกมาจากเครื่องอุปกรณ์ ที่มุมหรือขอบก๊าซจะเบี่ยงเบนไปเพื่อสร้างพื้นที่ไหลแบบปั่นป่วนและของเหลวในพื้นที่จะไม่ถูกนำไปใช้อย่างง่ายดายโดยก๊าซที่เข้ามาทำให้เกิดมลพิษ

ในเวลาเดียวกันพื้นผิวของอุปกรณ์เครื่องจักรกลจะได้รับความร้อนเนื่องจากการทำงานอย่างต่อเนื่องและการไล่ระดับอุณหภูมิจะทำให้พื้นที่รีดรู้จักใกล้กับเครื่องซึ่งจะเพิ่มการสะสมของอนุภาคในพื้นที่รีเฟรช ในเวลาเดียวกันอุณหภูมิสูงจะทำให้อนุภาคหลบหนีได้ง่าย เอฟเฟกต์คู่ทวีความรุนแรงมากขึ้นชั้นแนวตั้งโดยรวม ความยากลำบากในการควบคุมความสะอาดของลำธาร ฝุ่นจากผู้ประกอบการในห้องพักสะอาดสามารถยึดติดกับเวเฟอร์ในพื้นที่รีเฟรชเหล่านี้ได้อย่างง่ายดาย

4. อิทธิพลของพื้นอากาศส่งคืน

เมื่อความต้านทานของอากาศส่งคืนผ่านพื้นแตกต่างกันความแตกต่างของความดันจะเกิดขึ้นทำให้อากาศไหลในทิศทางของความต้านทานขนาดเล็กและการไหลของอากาศสม่ำเสมอจะไม่ได้รับ วิธีการออกแบบที่เป็นที่นิยมในปัจจุบันคือการใช้พื้นสูง เมื่ออัตราส่วนการเปิดของพื้นสูงอยู่ที่ 10%ความเร็วการไหลของอากาศสามารถกระจายอย่างสม่ำเสมอที่ความสูงในการทำงานในร่ม นอกจากนี้ควรให้ความสนใจอย่างเข้มงวดในการทำความสะอาดเพื่อลดแหล่งที่มาของมลพิษบนพื้น

5. ปรากฏการณ์การเหนี่ยวนำ

ปรากฏการณ์การเหนี่ยวนำที่เรียกว่าหมายถึงปรากฏการณ์ของการสร้างการไหลเวียนของอากาศในทิศทางตรงกันข้ามกับการไหลแบบสม่ำเสมอทำให้เกิดฝุ่นที่เกิดขึ้นในห้องหรือฝุ่นในพื้นที่ปนเปื้อนที่อยู่ติดกันไปยังด้านลม ปรากฏการณ์ที่เกิดขึ้นเป็นไปได้รวมถึงสิ่งต่อไปนี้:

(1) แผ่นตาบอด

ในห้องสะอาดที่มีการไหลทางเดียวในแนวตั้งเนื่องจากข้อต่อบนผนังมักจะมีแผงตาบอดขนาดใหญ่ที่จะทำให้เกิดการไหลแบบปั่นป่วนและการไหลย้อนกลับในท้องถิ่น

(2) โคมไฟ

การติดตั้งไฟในห้องสะอาดจะมีผลกระทบมากขึ้น เนื่องจากความร้อนของหลอดฟลูออเรสเซนต์ทำให้การไหลเวียนของอากาศเพิ่มขึ้นหลอดฟลูออเรสเซนต์จะไม่กลายเป็นพื้นที่ปั่นป่วน โดยทั่วไปหลอดไฟในห้องสะอาดได้รับการออกแบบในรูปหยดน้ำตาเพื่อลดผลกระทบของหลอดไฟต่อการไหลเวียนของอากาศ

(3) ช่องว่างระหว่างผนัง

เมื่อมีช่องว่างระหว่างผนังพาร์ติชันหรือเพดานที่มีความต้องการความสะอาดที่แตกต่างกันฝุ่นจากพื้นที่ที่มีข้อกำหนดด้านความสะอาดต่ำสามารถถ่ายโอนไปยังพื้นที่ที่อยู่ติดกันซึ่งมีข้อกำหนดด้านความสะอาดสูง

(4) ระยะห่างระหว่างอุปกรณ์เครื่องกลกับพื้นหรือผนัง

หากช่องว่างระหว่างอุปกรณ์เครื่องจักรกลและพื้นหรือผนังมีขนาดเล็กความวุ่นวายในการฟื้นตัวจะเกิดขึ้น ดังนั้นปล่อยช่องว่างระหว่างอุปกรณ์และผนังและยกแพลตฟอร์มเครื่องเพื่อหลีกเลี่ยงการสัมผัสโดยตรงกับพื้นดิน