ความสำคัญของระบบควบคุมอัตโนมัติของห้องคลีนรูม

ควรติดตั้งระบบควบคุม/อุปกรณ์อัตโนมัติที่ค่อนข้างสมบูรณ์ในห้องคลีนรูม ซึ่งเป็นประโยชน์อย่างมากในการรับประกันการผลิตห้องคลีนรูมตามปกติ และปรับปรุงระดับการดำเนินงานและการจัดการ แต่จำเป็นต้องเพิ่มการลงทุนในการก่อสร้าง 

ห้องคลีนรูมประเภทต่างๆ ได้แก่ การตรวจสอบความสะอาดของอากาศ อุณหภูมิและความชื้น ความแตกต่างของความดัน ก๊าซที่มีความบริสุทธิ์สูงและน้ำบริสุทธิ์ ความบริสุทธิ์ของก๊าซและคุณภาพน้ำบริสุทธิ์ และข้อกำหนดอื่น ๆ และพารามิเตอร์ทางเทคนิคจะแตกต่างกัน และขนาดและพื้นที่ของการทำความสะอาด ห้องในอุตสาหกรรมต่างๆ ก็มีความแตกต่างกันมาก ดังนั้น ควรกำหนดการทำงานของระบบควบคุม/อุปกรณ์อัตโนมัติตามเงื่อนไขเฉพาะของโครงการห้องคลีนรูม และควรออกแบบให้เป็นระบบตรวจสอบและควบคุมประเภทต่างๆห้องคลีนรูมได้รับการออกแบบให้เป็นระบบควบคุมและตรวจสอบคอมพิวเตอร์แบบกระจาย

ระบบควบคุมและตรวจสอบอัตโนมัติของห้องคลีนรูมไฮเทคสมัยใหม่ที่นำเสนอโดยห้องคลีนรูมไมโครอิเล็กทรอนิกส์เป็นระบบที่ครอบคลุมที่รวมเอาเทคโนโลยีไฟฟ้า เครื่องมืออัตโนมัติ เทคโนโลยีคอมพิวเตอร์ และเทคโนโลยีการสื่อสารผ่านเครือข่ายด้วยการใช้เทคโนโลยีต่างๆ อย่างถูกต้องและสมเหตุสมผลเท่านั้น ระบบจึงสามารถตอบสนองข้อกำหนดการควบคุมและการกำกับดูแลที่จำเป็นได้

เพื่อให้มั่นใจถึงข้อกำหนดที่เข้มงวดของห้องสะอาดอิเล็กทรอนิกส์ในการควบคุมสภาพแวดล้อมการผลิต ระบบควบคุมของระบบไฟฟ้าสาธารณะ ระบบปรับอากาศบริสุทธิ์ ฯลฯ ควรมีความน่าเชื่อถือสูงเป็นอันดับแรก

ประการที่สอง สำหรับอุปกรณ์และเครื่องมือควบคุมที่แตกต่างกัน จะต้องเปิดเพื่อให้เป็นไปตามข้อกำหนดเพื่อให้เกิดการควบคุมเครือข่ายของโรงงานทั้งหมดเทคโนโลยีการผลิตผลิตภัณฑ์อิเล็กทรอนิกส์กำลังพัฒนาอย่างรวดเร็ว และการออกแบบระบบควบคุมอัตโนมัติของห้องคลีนรูมอิเล็กทรอนิกส์ควรมีความยืดหยุ่นและขยายได้เพื่อตอบสนองการเปลี่ยนแปลงในข้อกำหนดการควบคุมโครงสร้างเครือข่ายแบบกระจายมีอินเทอร์เฟซการโต้ตอบระหว่างมนุษย์และคอมพิวเตอร์ที่ดี ซึ่งสามารถรับรู้การตรวจจับ การตรวจสอบ และการควบคุมสภาพแวดล้อมการผลิตและอุปกรณ์สาธารณะด้านพลังงานต่างๆ ได้ดียิ่งขึ้น และสามารถนำไปใช้กับการควบคุมห้องคลีนรูมโดยใช้เทคโนโลยีคอมพิวเตอร์ได้เมื่อข้อกำหนดดัชนีพารามิเตอร์ของห้องคลีนรูมไม่เข้มงวดมากนัก อุปกรณ์ทั่วไปก็สามารถใช้เพื่อควบคุมได้เช่นกันแต่ไม่ว่าจะใช้วิธีใด ความแม่นยำในการควบคุมควรเป็นไปตามข้อกำหนดการผลิต และสามารถบรรลุการทำงานที่มั่นคงและเชื่อถือได้ และสามารถตระหนักถึงการประหยัดพลังงานและลดการปล่อยก๊าซเรือนกระจก