สิ่งที่ควรคำนึงถึงเมื่อออกแบบห้องสะอาด?

รูปแบบการไหลของอากาศและปริมาณอากาศที่จ่ายในห้องสะอาด

1. การออกแบบรูปแบบการไหลของอากาศควรเป็นไปตามหลักเกณฑ์ดังต่อไปนี้

(1) รูปแบบการไหลของอากาศและปริมาณอากาศที่จ่ายของห้องสะอาด (พื้นที่) ควรเป็นไปตามข้อกำหนด เมื่อข้อกำหนดระดับความสะอาดของอากาศเข้มงวดกว่า ISO 4 ควรใช้การไหลแบบทิศทางเดียว เมื่อความสะอาดของอากาศอยู่ระหว่าง ISO 4 ถึง ISO 5 ควรใช้การไหลแบบทิศทางเดียว เมื่อความสะอาดของอากาศอยู่ที่ ISO 6-9 ควรใช้การไหลแบบไม่มีทิศทางเดียว

(2) การกระจายลมในพื้นที่ทำงานของห้องคลีนรูมควรสม่ำเสมอ

(3) ความเร็วการไหลของอากาศในพื้นที่ทำงานของห้องคลีนรูมควรเป็นไปตามข้อกำหนดของกระบวนการผลิต

2. ปริมาณการจ่ายอากาศของห้องคลีนรูมควรมีค่าสูงสุด 3 รายการต่อไปนี้:

(1) ปริมาณอากาศจ่ายที่ตรงตามข้อกำหนดของระดับความสะอาดของอากาศ

(2) ปริมาณการจ่ายอากาศที่กำหนดโดยการคำนวณภาระความร้อนและความชื้น

(3) ผลรวมของปริมาณอากาศบริสุทธิ์ที่จำเป็นเพื่อชดเชยปริมาณอากาศเสียภายในอาคารและรักษาแรงดันบวกภายในอาคาร ตรวจสอบให้แน่ใจว่าการจ่ายอากาศบริสุทธิ์ให้กับแต่ละคนในห้องสะอาดไม่น้อยกว่า 40 ม. ต่อชั่วโมง ³。

3. แผนผังสิ่งอำนวยความสะดวกต่างๆ ในห้องคลีนรูม ควรคำนึงถึงผลกระทบต่อรูปแบบการไหลของอากาศและความสะอาดของอากาศ และควรปฏิบัติตามกฎระเบียบต่อไปนี้

(1) ไม่ควรจัดโต๊ะทำงานที่สะอาดไว้ในห้องปลอดเชื้อที่มีการไหลทิศทางเดียว และช่องระบายอากาศกลับของห้องปลอดเชื้อที่มีการไหลแบบไม่มีทิศทางเดียวควรอยู่ห่างจากโต๊ะทำงานที่สะอาด

(2) ควรจัดอุปกรณ์กระบวนการที่ต้องการการระบายอากาศไว้ที่ด้านใต้ลมของห้องสะอาด

(3) เมื่อมีอุปกรณ์ทำความร้อน ควรดำเนินมาตรการเพื่อลดผลกระทบของการไหลของอากาศร้อนต่อการกระจายลม

(4) ควรจัดวางวาล์วแรงดันตกค้างไว้ที่ด้านลมของกระแสลมที่สะอาด

การบำบัดด้วยการฟอกอากาศ

1. การเลือก การจัด และการติดตั้งตัวกรองอากาศควรเป็นไปตามหลักเกณฑ์ดังต่อไปนี้

(1) การฟอกอากาศควรเลือกตัวกรองอากาศตามระดับความสะอาดของอากาศอย่างสมเหตุสมผล

(2) ปริมาณอากาศในการประมวลผลของตัวกรองอากาศควรน้อยกว่าหรือเท่ากับปริมาณอากาศที่กำหนด

(3) ตัวกรองอากาศขนาดกลางหรือเฮป้าควรมีความเข้มข้นในส่วนแรงดันบวกของกล่องเครื่องปรับอากาศ

(4) เมื่อใช้ตัวกรอง sub hepa และตัวกรอง hepa เป็นตัวกรองขั้นสุดท้าย ควรตั้งค่าไว้ที่ส่วนท้ายของระบบปรับอากาศบริสุทธิ์ ควรติดตั้งตัวกรอง Ultra hepa ที่ส่วนท้ายของระบบปรับอากาศฟอกอากาศ

(5) ประสิทธิภาพการต้านทานของตัวกรองอากาศ hepa (sub hepa, ultra hepa) ที่ติดตั้งในห้องสะอาดเดียวกันควรจะใกล้เคียงกัน

(6) วิธีการติดตั้งตัวกรองอากาศ hepa (sub hepa, ultra hepa) ควรแน่นหนา เรียบง่าย เชื่อถือได้ และง่ายต่อการตรวจจับการรั่วไหลและเปลี่ยน

2. อากาศบริสุทธิ์ของระบบปรับอากาศบริสุทธิ์ในโรงงานสะอาดขนาดใหญ่ควรได้รับการบำบัดจากส่วนกลางเพื่อการฟอกอากาศ

3. การออกแบบระบบปรับอากาศให้บริสุทธิ์ควรใช้อากาศกลับอย่างเหมาะสม

4. พัดลมของระบบปรับอากาศบริสุทธิ์ควรใช้มาตรการการแปลงความถี่

1. ต้องใช้มาตรการป้องกันการแข็งตัวสำหรับระบบอากาศภายนอกอาคารโดยเฉพาะในพื้นที่เย็นและเย็นจัด

การทำความร้อน การระบายอากาศ และการควบคุมควัน

1. ห้องคลีนรูมที่มีความสะอาดของอากาศสูงกว่า ISO 8 จะไม่ได้รับอนุญาตให้ใช้หม้อน้ำเพื่อให้ความร้อน

2. ควรติดตั้งอุปกรณ์ไอเสียในพื้นที่สำหรับอุปกรณ์กระบวนการที่สร้างฝุ่นและก๊าซที่เป็นอันตรายในห้องสะอาด

3. ในสถานการณ์ต่อไปนี้ ควรตั้งค่าระบบไอเสียเฉพาะจุดแยกกัน:

(1) ตัวกลางไอเสียแบบผสมสามารถสร้างหรือทำให้การกัดกร่อน ความเป็นพิษ อันตรายจากการเผาไหม้และการระเบิด และการปนเปื้อนข้ามรุนแรงขึ้น

(2) ตัวกลางไอเสียมีก๊าซพิษ

(3) ตัวกลางไอเสียประกอบด้วยก๊าซไวไฟและระเบิดได้

4. การออกแบบระบบไอเสียของห้องคลีนรูมควรเป็นไปตามข้อกำหนดดังต่อไปนี้:

(1) ควรป้องกันการไหลย้อนกลับของกระแสลมภายนอก

(2) ระบบไอเสียในท้องถิ่นที่มีสารไวไฟและวัตถุระเบิดควรใช้มาตรการป้องกันไฟและการระเบิดที่สอดคล้องกันโดยพิจารณาจากคุณสมบัติทางกายภาพและทางเคมี

(3) เมื่อความเข้มข้นและอัตราการปล่อยสารอันตรายในตัวกลางไอเสียเกินกว่าข้อบังคับระดับชาติหรือระดับภูมิภาคเกี่ยวกับความเข้มข้นและอัตราการปล่อยสารอันตราย ควรดำเนินการบำบัดที่ไม่เป็นอันตราย

(4) สำหรับระบบไอเสียที่มีไอน้ำและสารควบแน่น ควรจัดให้มีทางลาดและทางระบาย

5. ควรมีมาตรการระบายอากาศสำหรับห้องการผลิตเสริม เช่น การเปลี่ยนรองเท้า การจัดเก็บเสื้อผ้า การซักล้าง ห้องน้ำ และห้องอาบน้ำ และค่าความดันคงที่ภายในอาคารควรต่ำกว่าพื้นที่สะอาด

6. ตามข้อกำหนดของกระบวนการผลิตควรติดตั้งระบบไอเสียจากอุบัติเหตุ ระบบไอเสียจากอุบัติเหตุควรติดตั้งสวิตช์ควบคุมแบบอัตโนมัติและแบบแมนนวล และสวิตช์ควบคุมแบบแมนนวลควรแยกจากกันในห้องคลีนรูมและภายนอกเพื่อให้ใช้งานง่าย

7. การติดตั้งเครื่องดูดควันในโรงปฏิบัติงานที่สะอาดควรเป็นไปตามข้อบังคับต่อไปนี้:

(1) ควรติดตั้งสิ่งอำนวยความสะดวกไอเสียควันกลในทางเดินอพยพของโรงปฏิบัติงานที่สะอาด

(2) สิ่งอำนวยความสะดวกไอเสียควันที่ติดตั้งในการประชุมเชิงปฏิบัติการที่สะอาดควรเป็นไปตามข้อกำหนดที่เกี่ยวข้องของมาตรฐานแห่งชาติในปัจจุบัน

มาตรการอื่นๆ สำหรับการออกแบบห้องคลีนรูม

1. โรงปฏิบัติงานที่สะอาดควรมีห้องและสิ่งอำนวยความสะดวกสำหรับการฟอกบุคลากรและฟอกวัสดุ ตลอดจนห้องนั่งเล่นและห้องอื่น ๆ ตามความจำเป็น

2. การจัดห้องฟอกบุคลากรและห้องนั่งเล่นควรเป็นไปตามหลักเกณฑ์ดังต่อไปนี้

(1) ควรจัดห้องไว้สำหรับฟอกบุคลากร เช่น เก็บอุปกรณ์กันฝน เปลี่ยนรองเท้าและเสื้อโค้ต เปลี่ยนชุดทำงานที่สะอาด

(2) ห้องสุขา ห้องน้ำ ห้องอาบน้ำ ห้องพักผ่อน และห้องนั่งเล่นอื่นๆ รวมถึงห้องอาบน้ำแบบเป่าลม แอร์ล็อค ห้องซักเสื้อผ้าทำงาน และห้องอบแห้ง สามารถติดตั้งได้ตามต้องการ

3. การออกแบบห้องฟอกบุคลากรและห้องนั่งเล่นควรเป็นไปตามหลักเกณฑ์ดังต่อไปนี้

(1) ควรติดตั้งมาตรการทำความสะอาดรองเท้าบริเวณทางเข้าห้องฟอกบุคลากร

(2) ควรจัดห้องสำหรับเก็บเสื้อโค้ทและเปลี่ยนเสื้อผ้าทำงานที่สะอาดแยกกัน

(3) ตู้เก็บของเสื้อผ้าชั้นนอกควรออกแบบให้มีตู้เดียวต่อคน และควรแขวนเสื้อผ้าทำงานที่สะอาดไว้ในตู้ที่สะอาดพร้อมระบบเป่าลมและฝักบัว

(4) ห้องน้ำควรมีสิ่งอำนวยความสะดวกสำหรับล้างมือและเช็ดแห้ง

(5) ห้องอาบน้ำแบบเป่าลมควรตั้งอยู่ตรงทางเข้าบุคลากรในบริเวณที่สะอาดและติดกับห้องเปลี่ยนเสื้อผ้าทำงานที่สะอาด ห้องอาบน้ำเดี่ยวสำหรับแขกทุกๆ 30 คนในจำนวนกะสูงสุด เมื่อมีพนักงานมากกว่า 5 คนในพื้นที่สะอาด ควรติดตั้งประตูบายพาสไว้ที่ด้านหนึ่งของห้องอาบน้ำแอร์

(6) ห้องสะอาดแบบไหลทิศทางเดียวในแนวตั้งที่เข้มงวดกว่า ISO 5 ควรมีล็อคอากาศ

(7) ห้ามใช้ห้องน้ำในบริเวณที่สะอาด ห้องน้ำภายในห้องฟอกบุคลากรควรมีห้องด้านหน้า

4. เส้นทางสัญจรทางเดินเท้าควรเป็นไปตามหลักเกณฑ์ดังต่อไปนี้

(1) เส้นทางเดินเท้าควรหลีกเลี่ยงทางแยกที่สลับไปมา

(2) แผนผังห้องฟอกบุคลากรและห้องนั่งเล่นควรเป็นไปตามขั้นตอนการฟอกบุคลากร

5. ตามระดับความสะอาดของอากาศและจำนวนพนักงานที่แตกต่างกัน ควรกำหนดพื้นที่อาคารของห้องฟอกบุคลากรและห้องนั่งเล่นในเวิร์กช็อปที่สะอาดอย่างสมเหตุสมผล และควรคำนวณตามจำนวนเฉลี่ยของคนในพื้นที่สะอาด การออกแบบตั้งแต่ 2 ตารางเมตร ถึง 4 ตารางเมตร ต่อคน

6. ข้อกำหนดการฟอกอากาศสำหรับห้องเปลี่ยนเสื้อผ้าและห้องซักผ้าที่สะอาดควรถูกกำหนดตามความต้องการกระบวนการผลิตภัณฑ์และระดับความสะอาดของอากาศของห้องสะอาด (พื้นที่) ที่อยู่ติดกัน

7. อุปกรณ์ห้องสะอาดและทางเข้าและออกวัสดุควรติดตั้งห้องฟอกวัสดุและสิ่งอำนวยความสะดวกตามคุณสมบัติ รูปร่าง และลักษณะอื่น ๆ ของอุปกรณ์และวัสดุ แผนผังห้องฟอกวัสดุควรป้องกันการปนเปื้อนของวัสดุบริสุทธิ์ระหว่างการส่งผ่าน