การออกแบบห้องคลีนรูมควรคำนึงถึงอะไรบ้าง?

รูปแบบการไหลของอากาศและปริมาณอากาศที่จ่ายในห้องคลีนรูม

1. การออกแบบรูปแบบการไหลของอากาศควรเป็นไปตามข้อบังคับต่อไปนี้:

(1) รูปแบบการไหลของอากาศและปริมาณอากาศที่จ่ายของห้องสะอาด (พื้นที่) ควรเป็นไปตามข้อกำหนด เมื่อข้อกำหนดระดับความสะอาดของอากาศเข้มงวดกว่า ISO 4 ควรใช้การไหลแบบทิศทางเดียว เมื่อความสะอาดของอากาศอยู่ระหว่าง ISO 4 ถึง ISO 5 ควรใช้การไหลแบบทิศทางเดียว เมื่อความสะอาดของอากาศอยู่ที่ ISO 6-9 ควรใช้การไหลแบบทิศทางเดียว

(2) การกระจายลมในพื้นที่ทำงานห้องคลีนรูมควรสม่ำเสมอ

(3) ความเร็วการไหลของอากาศในพื้นที่ทำงานห้องคลีนรูมควรเป็นไปตามข้อกำหนดของกระบวนการผลิต

2. ปริมาณอากาศที่จ่ายในห้องคลีนรูมควรใช้ค่าสูงสุดของสามรายการต่อไปนี้:

(1) ปริมาณอากาศจ่ายที่ตรงตามข้อกำหนดระดับความสะอาดของอากาศ

(2) ปริมาตรอากาศที่จ่ายถูกกำหนดโดยอาศัยการคำนวณภาระความร้อนและความชื้น

(3) ผลรวมของปริมาณอากาศบริสุทธิ์ที่จำเป็นเพื่อชดเชยปริมาตรอากาศเสียภายในอาคารและรักษาแรงดันบวกภายในอาคาร ให้แน่ใจว่าปริมาณอากาศบริสุทธิ์ที่จ่ายให้แต่ละคนในห้องสะอาดไม่น้อยกว่า 40 ม. ต่อชั่วโมง ³

3. การจัดวางสิ่งอำนวยความสะดวกต่างๆ ในห้องคลีนรูม ควรคำนึงถึงผลกระทบต่อรูปแบบการไหลเวียนของอากาศและความสะอาดของอากาศ และควรเป็นไปตามข้อกำหนดดังต่อไปนี้

(1) ไม่ควรจัดโต๊ะทำงานที่สะอาดไว้ในห้องคลีนรูมที่มีการไหลแบบทิศทางเดียว และช่องระบายอากาศกลับของห้องคลีนรูมที่มีการไหลแบบไม่ทิศทางเดียวควรอยู่ห่างจากโต๊ะทำงานที่สะอาด

(2) อุปกรณ์กระบวนการที่ต้องการการระบายอากาศ ควรจัดวางในตำแหน่งที่ลมพัดผ่านภายในห้องสะอาด

(3) เมื่อมีอุปกรณ์ทำความร้อน ควรใช้มาตรการเพื่อลดผลกระทบของการไหลของอากาศร้อนต่อการกระจายการไหลของอากาศ

(4) ควรติดตั้งวาล์วควบคุมแรงดันตกค้างไว้ที่ด้านท้ายลมของกระแสลมสะอาด

การบำบัดด้วยการฟอกอากาศ

1. การเลือก การจัดเรียง และการติดตั้งแผ่นกรองอากาศ ควรเป็นไปตามข้อกำหนดดังต่อไปนี้:

(1) การบำบัดอากาศควรเลือกตัวกรองอากาศให้เหมาะสมกับระดับความสะอาดของอากาศ

(2) ปริมาณอากาศที่ใช้ในการประมวลผลของตัวกรองอากาศควรจะน้อยกว่าหรือเท่ากับปริมาณอากาศที่ได้รับการจัดอันดับ

(3) ตัวกรองอากาศขนาดกลางหรือ HEPA ควรรวมตัวอยู่ในส่วนแรงดันบวกของกล่องเครื่องปรับอากาศ

(4) เมื่อใช้แผ่นกรอง HEPA ย่อยและแผ่นกรอง HEPA เป็นแผ่นกรองปลาย ควรติดตั้งไว้ที่ปลายสุดของระบบปรับอากาศสำหรับฟอกอากาศ ส่วนแผ่นกรอง Ultra HEPA ควรติดตั้งไว้ที่ปลายสุดของระบบปรับอากาศสำหรับฟอกอากาศ

(5) ประสิทธิภาพความต้านทานของตัวกรองอากาศ HEPA (Sub HEPA, Ultra HEPA) ที่ติดตั้งในห้องคลีนรูมเดียวกันควรจะใกล้เคียงกัน

(6) วิธีการติดตั้งตัวกรองอากาศ HEPA (Sub HEPA, Ultra HEPA) ควรจะแน่นหนา เรียบง่าย เชื่อถือได้ และตรวจจับรอยรั่วและเปลี่ยนได้ง่าย

2. อากาศบริสุทธิ์จากระบบปรับอากาศฟอกอากาศในโรงงานสะอาดขนาดใหญ่ควรได้รับการบำบัดแบบรวมศูนย์เพื่อการฟอกอากาศ

3. การออกแบบระบบปรับอากาศแบบฟอกอากาศควรใช้ปริมาณอากาศที่ไหลกลับอย่างเหมาะสม

4. พัดลมของระบบปรับอากาศฟอกอากาศควรใช้มาตรการแปลงความถี่

1. จะต้องมีการใช้มาตรการป้องกันการแข็งตัวสำหรับระบบอากาศภายนอกโดยเฉพาะในพื้นที่ที่หนาวเย็นจัด

ระบบทำความร้อน ระบายอากาศ และควบคุมควัน

1.ห้องคลีนรูมที่มีความสะอาดของอากาศสูงกว่า ISO 8 ไม่อนุญาตให้ใช้หม้อน้ำในการทำความร้อน

2. ควรติดตั้งอุปกรณ์ระบายอากาศเฉพาะที่สำหรับอุปกรณ์กระบวนการที่สร้างฝุ่นและก๊าซอันตรายในห้องสะอาด

3. ในสถานการณ์ต่อไปนี้ ควรตั้งค่าระบบไอเสียในพื้นที่แยกกัน:

(1) ไอเสียผสมอาจทำให้เกิดการกัดกร่อน ความเป็นพิษ อันตรายจากการเผาไหม้และการระเบิด และการปนเปื้อนข้ามได้

(2) ไอเสียประกอบด้วยก๊าซพิษ

(3) ไอเสียประกอบด้วยก๊าซไวไฟและระเบิดได้

4. การออกแบบระบบระบายอากาศของห้องคลีนรูมควรเป็นไปตามข้อบังคับดังต่อไปนี้:

(1) ควรป้องกันการไหลย้อนกลับของอากาศภายนอก

(2) ระบบไอเสียในพื้นที่ที่มีสารไวไฟและระเบิดได้ ควรใช้มาตรการป้องกันไฟไหม้และการระเบิดที่สอดคล้องกันโดยพิจารณาจากคุณสมบัติทางกายภาพและทางเคมี

(3) เมื่อความเข้มข้นและอัตราการปล่อยสารอันตรายในไอเสียเกินกว่าข้อกำหนดระดับชาติหรือระดับภูมิภาคเกี่ยวกับความเข้มข้นและอัตราการปล่อยสารอันตราย ควรดำเนินการบำบัดที่ไม่เป็นอันตราย

(4) สำหรับระบบไอเสียที่มีไอน้ำและสารควบแน่น ควรตั้งค่าความลาดเอียงและทางออกการระบาย

5. ควรมีมาตรการระบายอากาศสำหรับห้องผลิตเสริม เช่น ห้องเปลี่ยนรองเท้า ห้องเก็บเสื้อผ้า ห้องซักล้าง ห้องสุขา และห้องอาบน้ำ และค่าแรงดันคงที่ภายในอาคารควรต่ำกว่าบริเวณที่สะอาด

6. ควรติดตั้งระบบระบายอากาศสำหรับอุบัติเหตุตามข้อกำหนดของกระบวนการผลิต ระบบระบายอากาศสำหรับอุบัติเหตุควรติดตั้งสวิตช์ควบคุมทั้งแบบอัตโนมัติและแบบแมนนวล และสวิตช์ควบคุมแบบแมนนวลควรติดตั้งแยกกันทั้งในห้องสะอาดและภายนอกอาคารเพื่อความสะดวกในการใช้งาน

7. การติดตั้งอุปกรณ์ระบายควันในโรงงานที่สะอาดควรเป็นไปตามข้อกำหนดดังต่อไปนี้:

(1) ควรติดตั้งระบบระบายควันแบบกลไกในทางเดินอพยพของโรงงานที่สะอาด

(2) สิ่งอำนวยความสะดวกระบายควันที่ติดตั้งในโรงงานที่สะอาดควรเป็นไปตามบทบัญญัติที่เกี่ยวข้องของมาตรฐานแห่งชาติปัจจุบัน

มาตรการอื่นๆ สำหรับการออกแบบห้องคลีนรูม

1. โรงงานที่สะอาดควรมีห้องและสิ่งอำนวยความสะดวกสำหรับการชำระล้างบุคลากรและการชำระล้างวัสดุ ตลอดจนห้องนั่งเล่นและห้องอื่นๆ ตามความจำเป็น

2. การจัดห้องฟอกอากาศของบุคลากรและห้องนั่งเล่น ควรเป็นไปตามข้อกำหนดดังต่อไปนี้

(1) ควรจัดห้องสำหรับชำระล้างร่างกายของบุคลากร เช่น เก็บชุดกันฝน เปลี่ยนรองเท้าและเสื้อโค้ท และเปลี่ยนเสื้อผ้าทำงานที่สะอาด

(2) ห้องสุขา ห้องน้ำ ห้องอาบน้ำ ห้องพักผ่อน และห้องนั่งเล่นอื่นๆ รวมถึงห้องอาบน้ำแบบแอร์ ห้องล็อคแอร์ ห้องซักเสื้อผ้า และห้องอบผ้า สามารถตั้งค่าได้ตามความต้องการ

3. การออกแบบห้องฟอกอากาศของบุคลากรและห้องนั่งเล่น ควรเป็นไปตามข้อกำหนดดังต่อไปนี้:

(1) ควรติดตั้งมาตรการทำความสะอาดรองเท้าไว้ที่ทางเข้าห้องทำความสะอาดของบุคลากร

(2) ห้องเก็บเสื้อโค้ทและเปลี่ยนเสื้อผ้าทำงานสะอาด ควรจัดแยกไว้ต่างหาก

(3) ตู้เก็บเสื้อผ้าภายนอกควรออกแบบให้มีตู้หนึ่งตู้ต่อคน และเสื้อผ้าทำงานที่สะอาดควรแขวนไว้ในตู้ที่สะอาดพร้อมพัดลมและฝักบัว

(4) ห้องน้ำควรมีอุปกรณ์สำหรับล้างมือและเช็ดตัวให้แห้ง

(5) ห้องอาบน้ำแบบแอร์ควรอยู่บริเวณทางเข้าของบุคลากรในพื้นที่สะอาด และอยู่ติดกับห้องเปลี่ยนเสื้อผ้าทำงานที่สะอาด กำหนดให้มีห้องอาบน้ำแบบแอร์สำหรับ 1 คนต่อ 30 คนในจำนวนกะสูงสุด ในกรณีที่มีพนักงานในพื้นที่สะอาดมากกว่า 5 คน ควรติดตั้งประตูบายพาสที่ด้านใดด้านหนึ่งของห้องอาบน้ำแบบแอร์

(6) ห้องคลีนรูมที่มีการไหลแบบทิศทางเดียวแนวตั้งที่เข้มงวดกว่า ISO 5 ควรมีระบบล็อคอากาศ

(7) ไม่อนุญาตให้ใช้ห้องน้ำในบริเวณที่สะอาด ห้องน้ำภายในห้องชำระล้างร่างกายของบุคลากรควรมีห้องด้านหน้า

4. เส้นทางเดินเท้าควรเป็นไปตามข้อกำหนดดังต่อไปนี้:

(1) เส้นทางเดินเท้าควรหลีกเลี่ยงทางแยกที่สลับไปมา

(2) การจัดวางห้องชำระล้างร่างกายและห้องนั่งเล่นของบุคลากรควรเป็นไปตามขั้นตอนการชำระล้างร่างกายของบุคลากร

5. ตามระดับความสะอาดของอากาศและจำนวนพนักงานที่แตกต่างกัน พื้นที่อาคารห้องฟอกอากาศสำหรับบุคลากรและห้องนั่งเล่นในโรงงานสะอาดควรได้รับการกำหนดอย่างสมเหตุสมผล และควรคำนวณโดยอิงจากจำนวนคนโดยเฉลี่ยในการออกแบบพื้นที่สะอาด ซึ่งอยู่ในช่วงตั้งแต่ 2 ตารางเมตรถึง 4 ตารางเมตรต่อคน

6. ข้อกำหนดการฟอกอากาศสำหรับห้องเปลี่ยนเสื้อผ้าทำงานที่สะอาดและห้องซักผ้า ควรพิจารณาจากข้อกำหนดกระบวนการผลิตและระดับความสะอาดของอากาศในห้อง (พื้นที่) ที่สะอาดที่อยู่ติดกัน

7. อุปกรณ์ห้องสะอาดและทางเข้า-ออกของวัสดุควรมีห้องและอุปกรณ์ฟอกวัสดุให้บริสุทธิ์ตามคุณสมบัติ รูปทรง และลักษณะอื่นๆ ของอุปกรณ์และวัสดุ การจัดวางห้องฟอกวัสดุควรป้องกันการปนเปื้อนของวัสดุที่ฟอกแล้วระหว่างการแพร่เชื้อ