สิ่งที่ควรคำนึงถึงเมื่อออกแบบห้องสะอาด?

รูปแบบการไหลของอากาศและปริมาณอากาศที่จ่ายในห้องสะอาด

1. การออกแบบรูปแบบการไหลของอากาศควรเป็นไปตามหลักเกณฑ์ดังต่อไปนี้

(1) รูปแบบการไหลของอากาศและปริมาณอากาศที่จ่ายของห้องสะอาด (พื้นที่) ควรเป็นไปตามข้อกำหนดเมื่อข้อกำหนดระดับความสะอาดของอากาศเข้มงวดกว่า ISO 4 ควรใช้การไหลแบบทิศทางเดียวเมื่อความสะอาดของอากาศอยู่ระหว่าง ISO 4 ถึง ISO 5 ควรใช้การไหลแบบทิศทางเดียวเมื่อความสะอาดของอากาศอยู่ที่ ISO 6-9 ควรใช้การไหลแบบไม่มีทิศทางเดียว

(2) การกระจายลมในพื้นที่ทำงานของห้องคลีนรูมควรสม่ำเสมอ

(3) ความเร็วการไหลของอากาศในพื้นที่ทำงานของห้องคลีนรูมควรเป็นไปตามข้อกำหนดของกระบวนการผลิต

2. ปริมาณการจ่ายอากาศของห้องคลีนรูมควรมีค่าสูงสุด 3 รายการต่อไปนี้:

(1) ปริมาณอากาศจ่ายที่ตรงตามข้อกำหนดของระดับความสะอาดของอากาศ

(2) ปริมาณการจ่ายอากาศที่กำหนดโดยการคำนวณภาระความร้อนและความชื้น

(3) ผลรวมของปริมาณอากาศบริสุทธิ์ที่จำเป็นเพื่อชดเชยปริมาณอากาศเสียภายในอาคารและรักษาแรงดันบวกภายในอาคารตรวจสอบให้แน่ใจว่าการจ่ายอากาศบริสุทธิ์ให้กับแต่ละคนในห้องสะอาดไม่น้อยกว่า 40 ม. ต่อชั่วโมง ³。

3. แผนผังสิ่งอำนวยความสะดวกต่างๆ ในห้องคลีนรูม ควรคำนึงถึงผลกระทบต่อรูปแบบการไหลของอากาศและความสะอาดของอากาศ และควรปฏิบัติตามกฎระเบียบต่อไปนี้

(1) ไม่ควรจัดโต๊ะทำงานที่สะอาดไว้ในห้องปลอดเชื้อที่มีการไหลทิศทางเดียว และช่องระบายอากาศกลับของห้องปลอดเชื้อที่มีการไหลแบบไม่มีทิศทางเดียวควรอยู่ห่างจากโต๊ะทำงานที่สะอาด

(2) ควรจัดอุปกรณ์กระบวนการที่ต้องการการระบายอากาศไว้ที่ด้านใต้ลมของห้องสะอาด

(3) เมื่อมีอุปกรณ์ทำความร้อน ควรมีมาตรการเพื่อลดผลกระทบของการไหลของอากาศร้อนต่อการกระจายลม

(4) ควรจัดวางวาล์วแรงดันตกค้างไว้ที่ด้านลมของกระแสลมที่สะอาด

การบำบัดด้วยการฟอกอากาศ

1. การเลือก การจัด และการติดตั้งตัวกรองอากาศควรเป็นไปตามหลักเกณฑ์ดังต่อไปนี้

(1) การฟอกอากาศควรเลือกตัวกรองอากาศตามระดับความสะอาดของอากาศอย่างสมเหตุสมผล

(2) ปริมาณอากาศในการประมวลผลของตัวกรองอากาศควรน้อยกว่าหรือเท่ากับปริมาณอากาศที่กำหนด

(3) ตัวกรองอากาศขนาดกลางหรือเฮป้าควรมีความเข้มข้นในส่วนแรงดันบวกของกล่องเครื่องปรับอากาศ

(4) เมื่อใช้ตัวกรอง sub hepa และตัวกรอง hepa เป็นตัวกรองขั้นสุดท้าย ควรตั้งค่าไว้ที่ส่วนท้ายของระบบปรับอากาศบริสุทธิ์ควรติดตั้งตัวกรอง Ultra hepa ที่ส่วนท้ายของระบบปรับอากาศฟอกอากาศ

(5) ประสิทธิภาพการต้านทานของตัวกรองอากาศ hepa (sub hepa, ultra hepa) ที่ติดตั้งในห้องสะอาดเดียวกันควรจะใกล้เคียงกัน

(6) วิธีการติดตั้งตัวกรองอากาศ hepa (sub hepa, ultra hepa) ควรแน่นหนา เรียบง่าย เชื่อถือได้ และง่ายต่อการตรวจจับการรั่วไหลและเปลี่ยน

2. อากาศบริสุทธิ์ของระบบปรับอากาศบริสุทธิ์ในโรงงานสะอาดขนาดใหญ่ควรได้รับการบำบัดจากส่วนกลางเพื่อการฟอกอากาศ

3. การออกแบบระบบปรับอากาศให้บริสุทธิ์ควรใช้อากาศกลับอย่างเหมาะสม

4. พัดลมของระบบปรับอากาศบริสุทธิ์ควรใช้มาตรการการแปลงความถี่

1. ต้องใช้มาตรการป้องกันการแข็งตัวสำหรับระบบอากาศภายนอกอาคารโดยเฉพาะในพื้นที่เย็นและเย็นจัด

การทำความร้อน การระบายอากาศ และการควบคุมควัน

1. ห้องคลีนรูมที่มีความสะอาดของอากาศสูงกว่า ISO 8 จะไม่ได้รับอนุญาตให้ใช้หม้อน้ำเพื่อให้ความร้อน

2. ควรติดตั้งอุปกรณ์ไอเสียในพื้นที่สำหรับอุปกรณ์กระบวนการที่สร้างฝุ่นและก๊าซที่เป็นอันตรายในห้องสะอาด

3. ในสถานการณ์ต่อไปนี้ ควรตั้งค่าระบบไอเสียเฉพาะจุดแยกกัน:

(1) ตัวกลางไอเสียแบบผสมสามารถสร้างหรือทำให้การกัดกร่อน ความเป็นพิษ อันตรายจากการเผาไหม้และการระเบิด และการปนเปื้อนข้ามรุนแรงขึ้น

(2) ตัวกลางไอเสียมีก๊าซพิษ

(3) ตัวกลางไอเสียประกอบด้วยก๊าซไวไฟและระเบิดได้

4. การออกแบบระบบไอเสียของห้องคลีนรูมควรเป็นไปตามข้อกำหนดดังต่อไปนี้:

(1) ควรป้องกันการไหลย้อนกลับของกระแสลมภายนอก

(2) ระบบไอเสียในท้องถิ่นที่มีสารไวไฟและวัตถุระเบิดควรใช้มาตรการป้องกันไฟและการระเบิดที่สอดคล้องกันโดยพิจารณาจากคุณสมบัติทางกายภาพและทางเคมี

(3) เมื่อความเข้มข้นและอัตราการปล่อยสารอันตรายในตัวกลางไอเสียเกินกว่าข้อบังคับระดับชาติหรือระดับภูมิภาคเกี่ยวกับความเข้มข้นและอัตราการปล่อยสารอันตราย ควรดำเนินการบำบัดที่ไม่เป็นอันตราย

(4) สำหรับระบบไอเสียที่มีไอน้ำและสารควบแน่น ควรจัดให้มีทางลาดและทางระบาย

5. ควรใช้มาตรการระบายอากาศสำหรับห้องการผลิตเสริม เช่น การเปลี่ยนรองเท้า การจัดเก็บเสื้อผ้า การซักล้าง ห้องน้ำ และห้องอาบน้ำ และค่าความดันคงที่ภายในอาคารควรต่ำกว่าพื้นที่สะอาด

6. ตามข้อกำหนดของกระบวนการผลิตควรติดตั้งระบบไอเสียจากอุบัติเหตุระบบไอเสียจากอุบัติเหตุควรติดตั้งสวิตช์ควบคุมแบบอัตโนมัติและแบบแมนนวล และสวิตช์ควบคุมแบบแมนนวลควรแยกจากกันในห้องคลีนรูมและภายนอกเพื่อให้ใช้งานง่าย

7. การติดตั้งเครื่องดูดควันในโรงปฏิบัติงานที่สะอาดควรเป็นไปตามข้อบังคับต่อไปนี้:

(1) ควรติดตั้งสิ่งอำนวยความสะดวกไอเสียควันกลในทางเดินอพยพของโรงปฏิบัติงานที่สะอาด

(2) สิ่งอำนวยความสะดวกไอเสียควันที่ติดตั้งในการประชุมเชิงปฏิบัติการที่สะอาดควรเป็นไปตามข้อกำหนดที่เกี่ยวข้องของมาตรฐานแห่งชาติในปัจจุบัน

มาตรการอื่นๆ สำหรับการออกแบบห้องคลีนรูม

1. โรงปฏิบัติงานที่สะอาดควรมีห้องและสิ่งอำนวยความสะดวกสำหรับการฟอกบุคลากรและฟอกวัสดุ ตลอดจนห้องนั่งเล่นและห้องอื่น ๆ ตามความจำเป็น

2. การจัดห้องฟอกบุคลากรและห้องนั่งเล่นควรเป็นไปตามหลักเกณฑ์ดังต่อไปนี้

(1) ควรจัดห้องไว้สำหรับฟอกบุคลากร เช่น เก็บอุปกรณ์กันฝน เปลี่ยนรองเท้าและเสื้อโค้ต เปลี่ยนชุดทำงานที่สะอาด

(2) ห้องสุขา ห้องน้ำ ห้องอาบน้ำ ห้องพักผ่อน และห้องนั่งเล่นอื่นๆ รวมถึงห้องอาบน้ำแบบเป่าลม แอร์ล็อค ห้องซักเสื้อผ้าทำงาน และห้องอบแห้ง สามารถติดตั้งได้ตามต้องการ

3. การออกแบบห้องฟอกบุคลากรและห้องนั่งเล่นควรเป็นไปตามหลักเกณฑ์ดังต่อไปนี้

(1) ควรติดตั้งมาตรการทำความสะอาดรองเท้าบริเวณทางเข้าห้องฟอกบุคลากร

(2) ควรจัดห้องสำหรับเก็บเสื้อโค้ทและเปลี่ยนเสื้อผ้าทำงานที่สะอาดแยกกัน

(3) ตู้เก็บของเสื้อผ้าชั้นนอกควรได้รับการออกแบบให้มีตู้เดียวต่อคน และควรแขวนเสื้อผ้าทำงานที่สะอาดไว้ในตู้ที่สะอาดพร้อมทั้งเป่าลมและอาบน้ำ

(4) ห้องน้ำควรมีสิ่งอำนวยความสะดวกสำหรับล้างมือและเช็ดแห้ง

(5) ห้องอาบน้ำแบบเป่าลมควรตั้งอยู่ตรงทางเข้าบุคลากรในบริเวณที่สะอาดและติดกับห้องเปลี่ยนเสื้อผ้าทำงานที่สะอาดห้องอาบน้ำเดี่ยวสำหรับแขกทุกๆ 30 คนในจำนวนกะสูงสุดเมื่อมีพนักงานมากกว่า 5 คนในพื้นที่สะอาด ควรติดตั้งประตูบายพาสไว้ที่ด้านหนึ่งของห้องอาบน้ำแอร์

(6) ห้องสะอาดแบบไหลทิศทางเดียวในแนวตั้งที่เข้มงวดกว่า ISO 5 ควรมีล็อคอากาศ

(7) ห้ามใช้ห้องน้ำในบริเวณที่สะอาดห้องน้ำภายในห้องฟอกบุคลากรควรมีห้องด้านหน้า

4. เส้นทางสัญจรทางเดินเท้าควรเป็นไปตามหลักเกณฑ์ดังต่อไปนี้

(1) เส้นทางเดินเท้าควรหลีกเลี่ยงทางแยกที่สลับไปมา

(2) แผนผังห้องฟอกบุคลากรและห้องนั่งเล่นควรเป็นไปตามขั้นตอนการฟอกบุคลากร

5. ตามระดับความสะอาดของอากาศและจำนวนพนักงานที่แตกต่างกัน ควรกำหนดพื้นที่อาคารของห้องฟอกบุคลากรและห้องนั่งเล่นในเวิร์กช็อปที่สะอาดอย่างสมเหตุสมผล และควรคำนวณตามจำนวนเฉลี่ยของคนในพื้นที่สะอาด การออกแบบตั้งแต่ 2 ตารางเมตร ถึง 4 ตารางเมตร ต่อคน

6. ข้อกำหนดการฟอกอากาศสำหรับห้องเปลี่ยนเสื้อผ้าและห้องซักผ้าที่สะอาดควรถูกกำหนดตามความต้องการกระบวนการผลิตภัณฑ์และระดับความสะอาดของอากาศของห้องสะอาด (พื้นที่) ที่อยู่ติดกัน

7. อุปกรณ์ห้องสะอาดและทางเข้าและออกวัสดุควรติดตั้งห้องฟอกวัสดุและสิ่งอำนวยความสะดวกตามคุณสมบัติ รูปร่าง และลักษณะอื่น ๆ ของอุปกรณ์และวัสดุแผนผังห้องฟอกวัสดุควรป้องกันการปนเปื้อนของวัสดุบริสุทธิ์ระหว่างการส่งผ่าน